[發(fā)明專利]一種將石墨烯轉(zhuǎn)移到具有PDMS過渡層硬質(zhì)襯底上的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310015049.X
• 申請日: 2013-01-16
• 公開（公告）號: CN103928296B
• 公開（公告）日: 2017-03-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李鐵;梁晨;王文榮;王躍林
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02;C01B32/184;C01B32/19
• 代理公司: 上海光華專利事務(wù)所31219
• 代理人: 李儀萍

1.一種將石墨烯轉(zhuǎn)移到具有PDMS過渡層的硬質(zhì)襯底上的方法，其特征在于，該方法包括以下步驟：

a)將PDMS膠涂在附著有石墨烯的原襯底上；

b)使所述PDMS膠固化成PDMS過渡層；

c)對該PDMS過渡層與硬質(zhì)襯底進行等離子處理，然后將該PDMS過渡層與硬質(zhì)襯底進行輕壓鍵合；

d)將鍵合后的硬質(zhì)襯底放入腐蝕液中腐蝕掉所述原襯底；

e)用去離子水反復(fù)清洗石墨烯/PDMS過渡層/硬質(zhì)襯底結(jié)合體并吹干，即得到轉(zhuǎn)移到具有PDMS過渡層的硬質(zhì)襯底上的石墨烯。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的將石墨烯轉(zhuǎn)移到具有PDMS過渡層的硬質(zhì)襯底上的方法，其特征在于，所述步驟a）中的原襯底的是指銅箔或電鍍銅。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的將石墨烯轉(zhuǎn)移到具有PDMS過渡層的硬質(zhì)襯底上的方法，其特征在于，所述步驟c）中的硬質(zhì)襯底為玻璃片、氧化硅、硅片或石英片中的一種。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的將石墨烯轉(zhuǎn)移到具有PDMS過渡層的硬質(zhì)襯底上的方法，其特征在于，所述步驟d）中的腐蝕液為三氯化鐵腐蝕液或硫酸雙氧水腐蝕液。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的將石墨烯轉(zhuǎn)移到具有PDMS過渡層的硬質(zhì)襯底上的方法，其特征在于，所述步驟a）和步驟b）之間還包括將涂好PDMS膠的襯底放入真空干燥箱中靜置，去除所述PDMS膠中氣泡的步驟。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的將石墨烯轉(zhuǎn)移到具有PDMS過渡層的硬質(zhì)襯底上的方法，其特征在于，所述步驟b）具體是指采用90℃至120℃的溫度熱烘30至120分鐘使所述PDMS膠固化成PDMS過渡層。