[發明專利]用于激光打印設備的掃描反光鏡及其制作方法

無效

• 申請號: 201310014798.0
• 申請日: 2008-01-25
• 公開（公告）號: CN103105674A
• 公開（公告）日: 2013-05-15
• 發明（設計）人: 楊曉;威廉·斯潘塞·沃利三世;東敏·陳;王葉
• 申請（專利權）人: 明銳有限公司
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08;G02B26/10
• 代理公司: 北京東方億思知識產權代理有限責任公司 11258
• 代理人: 李曉冬

1.一種用于激光打印設備的掃描反光鏡，所述掃描反光鏡包括：

框架；

一對固定電極指狀物組，其連接到所述框架，所述固定電極指狀物組中的每個包括多個固定電極；

一組扭轉鉸鏈，其連接到所述框架；

反光鏡板，其連接到所述扭轉鉸鏈；以及

一對可動電極指狀物組，其連接到所述反光鏡板，所述可動電極指狀物組中的每一者包括多個可動指狀物，其中所述多個可動指狀物被構造為與所述多個固定指狀物相交錯。

2.根據權利要求1的掃描反光鏡，其中：

所述多個固定指狀物的特征在于第一組的相對面具有比所述多個固定指狀物的其他面更大的表面面積；

所述多個可移動指的特征在于第二組的相對面具有比所述多個可動指狀物的其他面更大的表面面積；以及

當交錯時，所述第一組的相對面與所述第二組的相對面相平行。

3.根據權利要求1所述的掃描反光鏡，其中，所述框架和所述一對固定電極指狀物組包括單晶硅材料。

4.根據權利要求1所述的掃描反光鏡，其中，所述一對可動指狀物組包括單晶硅材料。

5.根據權利要求1所述的掃描反光鏡，其中，所述反光鏡板與所述一對可動電極指狀物組的表面共面。

6.根據權利要求1所述的掃描反光鏡，其中，所述一組扭轉鉸鏈與所述一對可動電極指狀物組共面。

7.一種制作用于激光打印設備的掃描反光鏡的方法，所述方法包括：

提供SOI襯底，其包括第一硅層、與所述第一硅層鄰接的氧化硅層以及與所述氧化硅層鄰接的第二硅層；

從所述第二硅層的第一部分形成一對可動電極指狀物組；

從所述第二硅層的第二部分形成反光鏡板；

從所述第一硅層的第一部分形成一對固定電極指狀物組；

從所述第一硅層的第二部分形成反光鏡旋轉區域；

移除所述氧化硅層以形成反光鏡結構；以及

將所述反光鏡結構安裝到電極襯底上。

8.根據權利要求7所述的方法，其中，所述第一硅層包括單晶硅材料。

9.根據權利要求7所述的方法，其中，所述第二硅層包括單晶硅材料。

10.根據權利要求7所述的方法，其中，與所述氧化硅層鄰接的所述第二硅層的表面限定了所述一對可動指狀物組的表面和所述反光鏡板的表面。

11.根據權利要求7所述的方法，其中，移除所述氧化硅層包括執行化學蝕刻處理。