[發明專利]分選器以及檢查裝置

有效

• 申請號: 201310013946.7
• 申請日: 2013-01-15
• 公開（公告）號: CN103203329B
• 公開（公告）日: 2017-06-20
• 發明（設計）人: 塩澤雅邦;宮澤修;西村義輝
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: B07C5/344
• 分類號: B07C5/344;B07C5/02;B07C5/36
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司11227
• 代理人: 王軼,李洋

技術領域

本發明涉及分選器以及檢查裝置。

背景技術

以往，公知有例如對IC芯片等電子元件的電特性進行檢查的檢查裝置（參照對比文件1）。

在專利文獻1的檢查裝置中，將電子元件從供給托盤向檢查部供給，并對被供給到檢查部的電子元件進行電特性的檢查，在該檢查結束后，將電子元件從檢查用插口回收到回收托盤。而且，在專利文獻1的檢查裝置中，利用檢查用機器人來進行電子元件的從供給托盤向檢查部的移動、從檢查部向回收托盤的移動。

檢查裝置大致劃分為分選器（有時也稱為IC測試分選器）和檢查部（有時也稱為IC測試器）。分選器是把持IC等元件并將其向規定的位置輸送的裝置，是由正交機器人、元件把持部等機構部件構成的產品。

此處，隨著近年來的電子元件的小型化、高集成化，其外部端子的間距的微細化也在發展。因此，為了使設置于檢查部的探針與電子元件的外部端子準確地接觸，要求在將電子元件向檢查部供給時的高精度的定位。因此，檢查用機器人形成為能夠相對于檢查部而對電子元件進行高精度的定位的結構。

具體而言，檢查部具有能夠相對于支承體而沿水平方向（X方向以及Y方向）移動的滑動軌道承受件、和能夠相對于滑動軌道承受件而繞Z軸轉動的轉動修正部，分別對滑動軌道承受件相對于支承體的位置和轉動修正部相對于滑動軌道承受件的角度進行控制，由此能夠高精度地進行電子元件相對于檢查部的定位。

然而，在專利文獻1的檢查用機器人中，利用馬達來使滑動軌道承受件同時進行相對于支承體的X軸方向上的移動以及Y軸方向上的移動，并且還利用馬達來使轉動修正部進行相對于滑動軌道承受件的轉動。馬達本身比較大，除此之外，為了改變驅動軸（轉動軸）的朝向還另外需要齒條齒輪、小齒輪等結構。因此，在專利文獻1的檢查裝置中，存在導致檢查用機器人的大型化，特別是導致保持電子元件的部分的大型化這樣的問題。

另外，若檢查用機器人變得大型化，則能夠在單位區域內配置的電子元件的數量會減少。因此存在如下問題：在包括向檢查部供給電子元件、向回收托盤回收該電子元件的步驟的一次的檢查工序中，能夠檢查的電子元件的數量減少。

專利文獻1：日本特開2010-91348號公報

發明內容

本發明的目的在于提供能夠實現小型化的分選器以及具備該分選器的檢查裝置。

本發明是為了解決上述課題的至少一部分而完成的，能夠以下述方式或者作為下下述應用例而實現。

（應用例1）

本發明的分選器的特征在于，具有：

基體部；

保持部件的保持部；以及

變更機構部，該變更機構部的至少一部分設置于上述基體部以及上述保持部之間，將保持于上述保持部的上述部件的相對于上述基體部的位置改變，

上述位置變更機構部具有：設置成能夠沿規定方向移動的二維移動部；設置成相對于上述二維移動部能夠轉動的轉動部；以及使上述二維移動部相對于上述基體部移動的壓電促動器。

由此，能夠提供小型的分選器。具體而言，若使用壓電促動器作為使二維移動部移動的驅動源，則壓電促動器與現有的作為驅動源的馬達相比形成為薄型（小型），并且由于不經由其他部件而直接驅動轉動部，因此相對于現有的結構能夠實現裝置的小型化。另外，由于通過使用壓電促動器而增大了其配置的自由度，因此能夠使分選器的設計的自由度增大，并且能夠實現分選器的小型化。

（應用例2）

優選地，在本發明的分選器中，上述二維移動部具有：設置成相對于上述基體部能夠沿第一方向移動的第一移動部；以及設置成能夠沿與上述第一方向交叉的第二方向移動的第二移動部。

由此，能夠對部件的定位進行二維修正，因此對部件的定位精度進一步提高。

（應用例3）

優選地，在本發明的分選器中，上述位置變更機構部具有：使上述第一移動部相對于上述基體部移動的第一壓電促動器；以及使上述第二移動部相對于上述第一移動部移動的第二壓電促動器。

由此，能夠利用小型的驅動源來使第一移動部以及第二移動部移動，從而能夠實現分選器的小型化。

（應用例4）

優選地，在本發明的分選器中，上述第一壓電促動器以及上述第二壓電促動器沿著上述二維移動部的側面而設置。

由此，能夠抑制第一、第二壓電促動器朝外側的過度突出，從而能夠實現分選器的進一步的小型化。

（應用例5）

優選地，在本發明的分選器中，將上述第一壓電促動器固定于上述第一移動部。