[發(fā)明專利]氣體傳輸裝置及其氣體分流裝置的測(cè)試方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310013461.8
• 申請(qǐng)日: 2013-01-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103928284A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-07-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 魏強(qiáng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司
• 主分類號(hào): H01J37/32
• 分類號(hào): H01J37/32;H01J37/244
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司 31002
• 代理人: 王潔

1.一種用于等離子體處理腔室的氣體輸送裝置，其中，所述氣體輸送裝置包括：

至少一氣體源，其提供制程氣體并輸送至氣體分流裝置；

氣體分流裝置，其連接于所述氣體源，將制程氣體分別按照比例分離成至少兩路輸送至至少兩路氣體通道；

壓力計(jì)，其并聯(lián)于所述兩路氣路通道的其中之一；

其中，在每路氣體通道上串聯(lián)一流量限制器，所述流量限制器位于所述腔室的上游，所述氣體通道連接于所述腔室的氣體噴淋頭。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體輸送裝置，其特征在于，每路所述氣體通道上還分別連接有串聯(lián)在一起的若干其他氣體組件，所述若干其他氣體組件位于氣體分流裝置和其對(duì)應(yīng)的所述流量限制器之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氣體輸送裝置，其特征在于，所述若干其他氣體組件包括以下任一項(xiàng)或任多項(xiàng)：閥門、過(guò)濾裝置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體輸送裝置，其特征在于，所述壓力計(jì)位于所述流量限制器的上游。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體輸送裝置，其特征在于，所述氣體輸送裝置具有第一氣體通道和第二氣體通道，所述第一氣體通道輸送氣體至所述等離子體處理腔室內(nèi)的中心區(qū)域，所述第二氣體通道輸送氣體至所述等離子體處理腔室內(nèi)的邊緣區(qū)域。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的氣體輸送裝置，其特征在于，所述第一氣體通道和第二氣體通道輸送氣體量的比例為3~5。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體輸送裝置，其特征在于，所述氣體限制裝置包括限流孔。

8.一種用于等離子體處理腔室的測(cè)試氣體分流裝置的方法，其中，所述等離子體處理腔室具有根據(jù)權(quán)利要求1至7任一項(xiàng)所述的氣體輸送裝置，其特征在于，所述方法包括如下步驟：

設(shè)置一標(biāo)準(zhǔn)壓力值；

氣體源輸出制程氣體，并通過(guò)所述氣體輸送裝置將制程氣體輸送至所述腔室；

利用壓力計(jì)測(cè)量即時(shí)壓力值，若所述即時(shí)壓力值和標(biāo)準(zhǔn)壓力值的差值超過(guò)預(yù)定閾值則應(yīng)當(dāng)更換氣體分流裝置。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，所述方法還包括如下步驟：利用壓力計(jì)測(cè)量即時(shí)壓力值，若所述即時(shí)壓力值和標(biāo)準(zhǔn)壓力值不同則應(yīng)當(dāng)更換氣體分流裝置。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，所述方法還包括如下步驟：在氣體分流裝置處于正常工作狀態(tài)時(shí)，測(cè)得標(biāo)準(zhǔn)壓力值。