[發(fā)明專利]固體攝像裝置及其制造方法、攝像裝置、基板、半導(dǎo)體裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310012734.7
• 申請(qǐng)日: 2013-01-14
• 公開（公告）號(hào): CN103208501B
• 公開（公告）日: 2017-07-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 月村光宏;高澤直裕;竹本良章;菊地廣;齊藤晴久;只木芳隆;五味祐一
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 奧林巴斯株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01L27/146
• 分類號(hào): H01L27/146
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11127
• 代理人: 李輝,于英慧

1.一種固體攝像裝置，其經(jīng)由進(jìn)行電連接的真連接部將在第1半導(dǎo)體晶片上形成的第1基板和在第2半導(dǎo)體晶片上形成的第2基板粘合而成，該固體攝像裝置構(gòu)成為，

所述第1基板具有光電轉(zhuǎn)換部，

所述第2基板具有輸出電路，該輸出電路經(jīng)由所述真連接部取得由所述光電轉(zhuǎn)換部產(chǎn)生的信號(hào)，并輸出該信號(hào)，

在所述第1基板與所述第2基板的至少一方的基板區(qū)域中沒有配置所述真連接部的基板區(qū)域內(nèi)，還配置有虛設(shè)連接部，該虛設(shè)連接部支撐所述粘合的所述第1基板和所述第2基板，

所述虛設(shè)連接部的配置間隔是與所述真連接部的配置間隔相同的間隔，

所述虛設(shè)連接部中的一部分所述虛設(shè)連接部的配置被省略。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固體攝像裝置，其中，

所述虛設(shè)連接部的配置被省略，使得在所述粘合時(shí)要對(duì)所述第1半導(dǎo)體晶片和所述第2半導(dǎo)體晶片施加的壓力減小。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固體攝像裝置，其中，

所述第1基板具有多個(gè)所述光電轉(zhuǎn)換元件，

所述光電轉(zhuǎn)換元件被分到一個(gè)以上的組中的任意一個(gè)組中，

分到同一組的多個(gè)所述光電轉(zhuǎn)換元件構(gòu)成為共用一個(gè)所述真連接部。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固體攝像裝置，其中，

所述虛設(shè)連接部被以沒有所述第1基板與所述第2基板的變形、裂痕、破碎的方式配置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固體攝像裝置，其中，

所述虛設(shè)連接部中的至少一部分所述虛設(shè)連接部的配置間隔比所述光電轉(zhuǎn)換部的配置間隔寬。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固體攝像裝置，其中，

所述虛設(shè)連接部中的至少一部分所述虛設(shè)連接部的配置間隔比所述真連接部的配置間隔寬。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固體攝像裝置，其中，

在與配置有所述光電轉(zhuǎn)換部的區(qū)域不同的周邊電路區(qū)域配置有多個(gè)單位電路，

在多個(gè)所述單位電路之間，共用在構(gòu)成該單位電路的電路要素上配置的所述虛設(shè)連接部的配置位置。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固體攝像裝置，其中，

在與配置有所述光電轉(zhuǎn)換部的區(qū)域不同的周邊電路區(qū)域配置有多個(gè)單位電路，

以抑制多個(gè)所述單位電路的電路特性的偏差的方式配置所述虛設(shè)連接部。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固體攝像裝置，其中，

所述第1基板構(gòu)成為包含周邊電路，

在所述第1基板內(nèi)所包含的周邊電路外的區(qū)域配置所述虛設(shè)連接部。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固體攝像裝置，其中，

所述第2基板構(gòu)成為包含周邊電路，

在所述第2基板內(nèi)所包含的周邊電路外的區(qū)域配置所述虛設(shè)連接部。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固體攝像裝置，其中，

所述第1基板以及所述第2基板構(gòu)成為包含周邊電路，

在所述第1基板內(nèi)所包含的周邊電路外且所述第2基板內(nèi)所包含的周邊電路外的區(qū)域配置所述虛設(shè)連接部。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固體攝像裝置，其中，

所述第2基板具有積蓄電路，該積蓄電路積蓄經(jīng)由所述真連接部取得的信號(hào)，

所述輸出電路輸出所述積蓄電路所積蓄的信號(hào)。

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固體攝像裝置，其中，

在所述第1基板上設(shè)置有接地布線，

所述接地布線與所述虛設(shè)連接部連接。

14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固體攝像裝置，其中，

在所述第2基板上設(shè)置有接地布線，

所述接地布線與所述虛設(shè)連接部連接。

15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固體攝像裝置，其中，

在所述第1基板上設(shè)置有第1接地布線，

在所述第2基板上設(shè)置有第2接地布線，

所述第1接地布線以及所述第2接地布線分別與所述虛設(shè)連接部連接。