[發明專利]電動執行機構

有效

• 申請號: 201310011454.4
• 申請日: 2013-01-11
• 公開（公告）號: CN103206500B
• 公開（公告）日: 2017-08-15
• 發明（設計）人: 深野喜弘;馬門正一;鹽見裕幸
• 申請（專利權）人: SMC株式會社
• 主分類號: F16H25/22
• 分類號: F16H25/22
• 代理公司: 上海市華誠律師事務所31210
• 代理人: 梅高強,崔巍

技術領域

本發明涉及一種電動執行機構，該電動執行機構能夠通過將驅動單元的驅動力經由螺桿軸傳輸到可移動本體以移動該可移動本體。

背景技術

迄今為止，作為運輸工件等等的部件，電動執行機構已經廣泛用于移動運輸工件的滑塊，在該電動執行機構中，絲杠（feed screw）通過例如馬達等等的旋轉驅動源的旋轉驅動力而可旋轉地驅動。例如日本平開專利公報No.2004-156636中公開的這種電動執行機構包括：本體；滾珠螺桿，該滾珠螺桿被可旋轉地布置在本體的內部；螺母，該螺母經由滾珠與滾珠螺桿螺紋接合；和可移動本體，該可移動本體被連接到螺母。通過在電動馬達的驅動作用下旋轉滾珠螺桿，螺母與可移動本體一起沿著軸線方向移動。

在上述電動執行機構用于清潔室中，例如用于執行半導體制造的情況下，因為灰塵、碎屑等等可能由于互相嚙合的滾珠螺桿、滾珠和螺母的摩擦損耗而產生，所以需要防止這種灰塵等等排出到外部。

例如日本平開專利公報No.05-016092中公開的用于防止灰塵等等排出到外部的灰塵收集結構，已知了一種電動執行機構，該電動執行機構具有：滾珠螺桿，該滾珠螺桿被容納在外殼的內部；和灰塵收集管，多個吸入孔被形成在該灰塵收集管中，并且該灰塵收集管布置在縫隙附近，該縫隙在外殼的上部分上敞開。通過向負壓流體提供灰塵收集管，外殼的內部的灰塵等等被吸入孔吸收。

發明內容

然而，利用上述灰塵收集結構，灰塵收集管布置在外殼的外部上，因為灰塵收集結構被構造成通過在外殼上向上敞開的縫隙吸收灰塵等等，所以灰塵等等被暫時排出到外殼的外部。因此，該結構并不適合用于清潔室等等。進一步，利用灰塵收集管，其一端被連接到用作負壓供應源的真空泵，負壓流體從灰塵收集管的一端被供應到另一端。然而，因為多個吸入孔布置成互相分離相等距離，所以通過后端側的另一端的吸入孔吸入的灰塵等等的吸收量小于通過前端側的一端上的吸入孔吸入的吸收量。因此，這樣很難沿著灰塵收集管的軸線方向均勻并一致地吸收灰塵等等，灰塵等等不能從外殼的距離負壓源最遠的后側移除，并且灰塵等等殘留在外殼中。

本發明的目的在于提供一種電動執行機構，該電動執行機構能夠沿著本體的軸線方向均勻并一致地吸收本體的內部中產生的灰塵等等，并且可靠地防止灰塵等等被排出到外部。

本發明的特征在于一種電動執行機構，該電動執行機構包括：本體；驅動單元，該驅動單元在電流的激勵下被可旋轉地驅動；移動機構，該移動機構布置在本體內，并且具有螺桿軸和可移動本體，該螺桿軸通過驅動單元的驅動力而旋轉，該可移動本體與螺桿軸螺紋接合并且沿著本體的軸線方向移動；負壓供應端口，該負壓供應端口形成在本體中，負壓流體被供應到該負壓供應端口；和負壓供應管，該負壓供應管布置在本體的內部，負壓流體被從負壓供應端口供應到該負壓供應管中；其中，負壓供給管包括沿著軸線方向互相分離的至少三個吸入孔，并且相鄰的吸入孔之間的距離被設定成隨著吸入孔與負壓供應端口的距離越遠而逐步越小。

根據本實施例，供應負壓流體所經過的負壓供應管布置在本體的內部，并且負壓流體從形成在本體中的負壓供應端口被供應到負壓供應管。同時，吸入孔沿著負壓供應管的軸線方向互相分離，并且相鄰吸入孔之間的距離被設定成隨著吸入孔距離負壓供應端口越遠而逐步越小，其中，至少三個吸入孔設置在每個負壓供應管中。因此，當本體的內部中的灰塵等等通過多個吸入孔被吸收時，負壓流體可以沿著負壓供應管的軸線方向被均勻并一致地供應到本體的內部，而不論負壓供應端口的距離，并且內部產生的灰塵等等被可靠地并且一致地吸收并移除。

本發明的上述及其他目的、特征和優點通過以下的描述結合附圖將更加明顯，在附圖中本發明的最佳實施例將通過說明性的例子來說明。

附圖說明

圖1是根據本發明的實施例的電動執行機構的局部剖面的外部立體圖；

圖2是沿著圖1中的線II-II的截面圖；

圖3是沿著圖2中的線III-III的截面圖；以及

圖4是布置在電動執行機構中的灰塵收集管的前視圖。

具體實施方式