[發明專利]多晶硅鑄錠裝置和鑄錠方法

有效

• 申請號: 201310011153.1
• 申請日: 2013-01-11
• 公開（公告）號: CN103014853A
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發明（設計）人: 姜磊;榮丹丹;呂景記;魏文秀;于波
• 申請（專利權）人: 天津英利新能源有限公司
• 主分類號: C30B28/06
• 分類號: C30B28/06;C30B29/06
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 魏曉波

1.一種多晶硅鑄錠裝置，包括容納硅料的坩堝，其特征在于，還包括所述硅料熔化成硅液后向所述硅液中輸送氬氣的送氣管，以及驅動所述送氣管的出氣端進出所述硅液的動力裝置，所述送氣管的進氣端設于所述坩堝的外部，所述動力裝置的動力輸出端與所述送氣管的出氣端固定連接。

2.根據權利要求1所述的多晶硅鑄錠裝置，其特征在于，所述送氣管包括固定段和升降段，所述坩堝的頂部設有加熱器，所述固定段設于所述加熱器的上部，所述升降段的出氣端進出所述硅液。

3.根據權利要求2所述的多晶硅鑄錠裝置，其特征在于，所述固定段為具有盤狀結構的石墨氣管。

4.根據權利要求3所述的多晶硅鑄錠裝置，其特征在于，所述升降段包括陶瓷氣管和石墨連接管，所述固定段的出氣口連接所述石墨連接管的進氣口，所述陶瓷氣管的出氣端進出所述硅料熔液。

5.根據權利要求4所述的多晶硅鑄錠裝置，其特征在于，所述石墨連接管的進氣端和所述石墨氣管的出氣端均具有沿氣流方向漸縮的斜面，兩所述斜面相互配合。

6.根據權利要求5所述的多晶硅鑄錠裝置，其特征在于，所述陶瓷氣管的內外表面均涂有氮化硅溶液。

7.根據權利要求1至6任一項所述的多晶硅鑄錠裝置，其特征在于，所述動力裝置包括伺服電機和絲杠，以及與所述絲杠配合的絲杠螺母，該絲杠螺母與升降段固定連接。

8.根據權利要求7所述的多晶硅鑄錠裝置，其特征在于，還包括控制所述伺服電機啟停的壓力傳感器，該壓力傳感器設于所述升降段和所述絲杠螺母之間。

9.一種多晶硅鑄錠方法，其特征在于，包括以下步驟：

1）將硅料裝入坩堝中，加熱至硅料熔化成硅液；

2）開啟動力裝置，驅動送氣管進入硅液內部，向硅液內輸送氬氣；

3）硅液降溫，驅動送氣管退至硅液外部，停止輸送氬氣；

4）長晶。