[發(fā)明專利]晶圓片雙面刷洗機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310010378.5
• 申請(qǐng)日: 2013-01-11
• 公開（公告）號(hào): CN103008301A
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李繼忠
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 常州市科沛達(dá)超聲工程設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): B08B7/04
• 分類號(hào): B08B7/04;B08B3/02;B08B1/04;B08B13/00
• 代理公司: 常州市科誼專利代理事務(wù)所 32225
• 代理人: 孫彬

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種晶圓片雙面刷洗機(jī)。

背景技術(shù)

晶圓片作為LED的主要原材料，其表面潔凈度要求很高，如果殘留的臟物顆粒過多，會(huì)嚴(yán)重影響到下道芯片制作的合格率。

目前，在晶圓片的制造過程中，眾所皆知的是，在加工過程中所遺留在晶片表面的不必要?dú)埩舯仨毤右郧逑础４税愕闹圃觳僮鞣独ㄓ械入x子體蝕刻和化學(xué)機(jī)械拋光法。若不必要的殘留物質(zhì)和微粒在連續(xù)的制造操作過程中遺留在晶片的表面，這些殘留物質(zhì)和微粒將會(huì)造成如晶片表面刮傷和金屬化特征間的不適當(dāng)?shù)慕换プ饔玫辱Υ谩Ｔ谝恍┌咐校税汨Υ每赡軐?dǎo)致晶片上的裝置變得無法運(yùn)作。欲避免由于丟棄具有無法運(yùn)作的裝置的晶片而所造成的額外費(fèi)用，因此，當(dāng)在晶片表面上遺留不必要的殘余物的制造操作程序之后，必須適當(dāng)并有效率地清洗晶片。在化學(xué)機(jī)械拋光工藝后實(shí)施的清洗步驟可以是：利用旋轉(zhuǎn)的清潔刷在刷洗機(jī)內(nèi)清洗晶片表面，利用清潔刷的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作和清潔刷施加在晶片的壓力，幫助剩余漿料從晶片表面上移除。

但是，公知化學(xué)機(jī)械拋光后晶片清洗設(shè)備多是單面刷，清洗工藝復(fù)雜，無法達(dá)到令人滿意的清潔效率，沿著晶片表面的邊緣可以看見剩余漿料和大量缺陷，另外，對(duì)晶圓片的二次污染也很嚴(yán)重，自動(dòng)化率也不高，因此，產(chǎn)業(yè)上還需要一種晶圓片雙面刷洗機(jī)，來解決上述問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種晶圓片雙面刷洗機(jī)，它自動(dòng)化程度高，對(duì)晶圓片的正反面同步進(jìn)行刷洗，刷洗效果好，節(jié)省了清洗工藝，避免了在流轉(zhuǎn)過程中對(duì)晶圓片的二次污染。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的技術(shù)方案是：一種晶圓片雙面刷洗機(jī)，它包括機(jī)架和控制系統(tǒng)；還包括輸送裝置，輸送裝置依次包括噴霧清洗段輸送機(jī)構(gòu)、雙面刷洗段輸送機(jī)構(gòu)、沖洗段輸送機(jī)構(gòu)和可垂直翻轉(zhuǎn)的翻轉(zhuǎn)橋段輸送機(jī)構(gòu)；還包括上料裝置，上料裝置上裝有上料晶圓片盒，上料裝置位于輸送裝置的起始側(cè)；還包括與上料裝置配合將上料晶圓片盒內(nèi)的晶圓片推送至輸送裝置上的推片裝置，推片裝置位于上料裝置的左側(cè)；還包括噴霧清洗裝置，噴霧清洗裝置位于噴霧清洗段輸送機(jī)構(gòu)的上方；還包括具有若干噴頭的噴淋沖洗裝置，若干噴頭分別位于沖洗段輸送機(jī)構(gòu)的上、下兩側(cè)；還包括位于雙面刷洗段輸送機(jī)構(gòu)尾端的雙面刷洗裝置，雙面刷洗裝置包括刷洗支座、兩個(gè)可從內(nèi)部噴液的毛刷、兩根同步轉(zhuǎn)動(dòng)的刷洗軸組件和驅(qū)動(dòng)刷洗軸組件旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)組件，刷洗軸組件可旋轉(zhuǎn)地支承在刷洗支座上，刷洗支座安裝在機(jī)架上，毛刷分別套裝在相應(yīng)的刷洗軸組件上，兩個(gè)毛刷分別位于待測(cè)晶圓片的兩側(cè)；還包括使位于雙面刷洗裝置內(nèi)的晶圓片旋轉(zhuǎn)的晶圓片旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置；還包括下料裝置，下料裝置上裝有下料晶圓片盒，下料裝置位于輸送裝置的尾側(cè)；還包括將沖洗段輸送機(jī)構(gòu)上的晶圓片推送至下料晶圓片盒上的卸片裝置。

進(jìn)一步，所述的機(jī)架上安裝有與噴霧清洗段輸送機(jī)構(gòu)配合壓緊晶圓片的毛刷壓緊裝置，毛刷壓緊裝置位于噴霧清洗段輸送機(jī)構(gòu)的上方，毛刷壓緊裝置包括毛刷座和壓緊毛刷，毛刷座固定連接在機(jī)架上，壓緊毛刷可旋轉(zhuǎn)地支承在毛刷座上。

進(jìn)一步，所述的推片裝置包括推片連接板、推頭以及固定連接在機(jī)架上的推片氣缸和支撐組件，推片連接板的一端安裝在推片氣缸上，推片連接板的另一端與推頭固定連接，并且推片連接板的該端抵接在支撐組件上。

進(jìn)一步，所述的上料裝置和下料裝置均包括電動(dòng)執(zhí)行器連接板、固定晶圓片盒的裝片盒組件以及使電動(dòng)執(zhí)行器連接板上下移動(dòng)的電動(dòng)執(zhí)行器，電動(dòng)執(zhí)行器安裝在機(jī)架上，電動(dòng)執(zhí)行器連接板的一端安裝在電動(dòng)執(zhí)行器上，另一端與裝片盒組件固定連接。

進(jìn)一步，所述的裝片盒組件包括立板、底板、安裝板和可在機(jī)架上滾動(dòng)的滾輪組，所述的立板的一端與電動(dòng)執(zhí)行器連接板固定連接，另一端與底板固定連接，滾輪組安裝在立板與底板之間，安裝板安裝在底板上。

進(jìn)一步，所述的晶圓片旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置包括旋轉(zhuǎn)臂、驅(qū)動(dòng)軸、螺紋齒輪、從動(dòng)齒輪、從動(dòng)軸、帶輪副、輥軸和驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)軸旋轉(zhuǎn)的動(dòng)力組件以及可緊貼雙面刷洗段輸送機(jī)構(gòu)上的晶圓片并使其旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)輥，驅(qū)動(dòng)軸可旋轉(zhuǎn)地支承在支架上，螺紋齒輪套裝在驅(qū)動(dòng)軸上，從動(dòng)齒輪套裝在從動(dòng)軸上，從動(dòng)軸可旋轉(zhuǎn)地支承在機(jī)架上，旋轉(zhuǎn)臂可旋轉(zhuǎn)地支承在從動(dòng)軸上，從動(dòng)軸通過帶輪副與輥軸連接，輥軸可旋轉(zhuǎn)地支承在旋轉(zhuǎn)臂上，旋轉(zhuǎn)輥固定連接在輥軸的端頭，螺紋齒輪與從動(dòng)齒輪嚙合。