[發明專利]氣體凈化裝置

無效

• 申請號: 201310008642.1
• 申請日: 2013-01-10
• 公開（公告）號: CN103706192A
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發明（設計）人: 秋淵雄;伊藤孝宏;白根智博
• 申請（專利權）人: 修谷魯電子機器股份有限公司
• 主分類號: B01D46/00
• 分類號: B01D46/00;B01D46/42
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 岳雪蘭

技術領域

本發明涉及例如在有機EL（光致發電）顯示器等的制造工序中所使用的適合的氣體凈化裝置。

背景技術

有機EL元件是通過電壓誘發存在于兩個電極之間的有機材料，并利用其恢復原狀時發光的現象的自然發光式元件。有機EL顯示器是將RGB各發光層的多個有機EL元件配置為矩陣狀而構成的。

該有機EL顯示器具有功耗低、發熱少、厚度薄、重量輕的特性。而且，在有機EL顯示器的畫質方面具有顏色再現性良好、對比度高、動畫響應性高、峰值精度高且不依賴于視角等優異的特性。

有機EL顯示器的有機材料具有遇水氣或氧氣容易劣化的特性。于是，在制造有機EL顯示器時，在真空下或著在氮氣或氬氣等惰性氣體環境下，通過真空蒸鍍，在基板上使RGB各發光層等的金屬電極材料成膜，接著在與空氣隔離的狀態下進行玻璃的接合和密封。

然而，在惰性氣體環境下制造有機EL顯示器的情況下，有時用蓋體覆蓋縱長的整個生產線，并向該蓋體內部充填惰性氣體。但是，有時惰性氣體會被在制造過程中所產生的塵埃或微小物片（以下簡稱為異物）污染，所以一般情況下利用氣體凈化裝置對所述蓋體內的惰性氣體進行凈化，從而除去異物。

在此，作為有關有機EL顯示器制造的現有技術，例如已知專利文獻1，2所述的裝置。

在專利文獻1，2所述的裝置中，都在密閉的容器中收納電動送風機。其中，在專利文獻1中采用了使氣體與冷卻板接觸來進行熱交換，并通過與該冷卻板相連的水冷管進行排熱的結構，而在專利文獻2中，利用電動送風機所產生的風來冷卻送風機的馬達，由此自行進行冷卻。

專利文獻1：（日本）特開2007-198364號公報（圖1~圖3等）

專利文獻2：（日本）特開2008-128224號公報（圖1~圖4等）

在專利文獻1的圖1和圖2所述的裝置及專利文獻2的圖1、圖2和圖4所述的裝置中，因為將惰性氣體與馬達接觸來冷卻馬達，所以惰性氣體中可能會混入異物。

而且，如果送風機構不是氣密結構，則除了異物外可能從送風機構的周圍混入空氣，一旦混入空氣，則有機材料與水氣或氧氣接觸而導致劣化，產生不能發光的稱之為暗斑的缺陷部位，從而存在產品的成品率惡化等問題。

發明內容

本發明是為解決上述問題而提出的，目的在于提供防止異物混入及空氣侵入，并且能夠凈化氣體的氣體凈化裝置。

為了解決上述問題，第一方面的氣體凈化裝置的特征在于，具有密閉送風源，該密閉送風源具有：從外部提供通過過濾器凈化后的氣體的密閉箱、收納于該密閉箱且向所述密閉箱的內部空間釋放所述氣體的送風機、冷卻所述內部空間的冷卻裝置、用來收集通過所述送風機向所述內部空間釋放的氣體并向外部提供的開放收集部。

第二方面的氣體凈化裝置的特征在于，具有：使從外部提供的氣體通過的預濾器、被提供通過了該預濾器的氣體的第一方面所述的密閉送風源、對從該密閉送風源排出的氣體進行冷卻的熱交換器、使被該熱交換器冷卻的氣體通過的HEPA過濾器。

第三方面的氣體凈化裝置在第二方面的氣體凈化裝置的基礎上，優選將所述預濾器、所述密閉送風源、所述熱交換器及所述HEPA過濾器收納在單一的箱體內。

第四方面的氣體凈化裝置的特征在于，具有：使從外部提供的氣體通過的預濾器、被提供通過了該預濾器的氣體的第一方面所述的密閉送風源、使從該密閉送風源排出的氣體通過的HEPA過濾器。

第五方面的氣體凈化裝置在第四方面的氣體凈化裝置的基礎上，優選將所述預濾器、所述密閉送風源及所述HEPA過濾器收納在單一的箱體內。

第六方面的氣體凈化裝置在第四方面的氣體凈化裝置的基礎上，優選將收納有所述預濾器及所述HEPA過濾器的過濾器單元和所述密閉送風源形成為經由氣體流路能夠連接或分離。

根據本發明，能夠提供在回收的氣體中不會混入異物，也不會侵入空氣，并且氣體經過冷卻及凈化后再向外部提供的氣體凈化裝置。

附圖說明

圖1是本發明的氣體凈化裝置所使用的密閉送風源的結構圖；

圖2是本發明第一實施例的氣體凈化裝置的結構圖；

圖3是本發明第二實施例的氣體凈化裝置的結構圖；

圖4是本發明第三實施例的氣體凈化裝置的結構圖；

圖5是本發明第四實施例的氣體凈化裝置的結構圖。

附圖標記說明

100??密閉送風源；

101??密閉箱；

102??送風機；

102a??氣體釋放部；

103??冷卻管；