[發(fā)明專利]焊料、接點結構及接點結構的制作方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310008305.2
• 申請日: 2013-01-09
• 公開（公告）號: CN103811447A
• 公開（公告）日: 2014-05-21
• 發(fā)明（設計）人: 高國書;張道智;陳文志
• 申請（專利權）人: 財團法人工業(yè)技術研究院
• 主分類號: H01L23/488
• 分類號: H01L23/488;H01L21/48
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 陳小雯

1.一種焊料，包括：

鋅基金屬層，具有表面；

銅金屬膜，完全覆蓋該鋅基金屬層的該表面；以及

貴金屬膜，完全包覆該銅金屬膜。

2.如權利要求1所述的焊料，其中該鋅基金屬層的材料包括鋅、鋅錫合金、鋅鋁合金或鋅鋁銅合金，且在該鋅基金屬層中，鋅占的比例大于90wt%。

3.如權利要求1所述的焊料，其中該貴金屬膜的材料包括金、銀或鈀。

4.一種接點結構，包括：

鋅基金屬層，具有表面；以及

介金屬層，由鋅與貴金屬所組成，該介金屬層完全覆蓋該鋅基金屬層的該表面。

5.如權利要求4所述的接點結構，其中該鋅基金屬層的材料包括鋅、鋅錫合金、鋅鋁合金或鋅鋁銅合金，且在該鋅基金屬層中，鋅占的比例大于90wt%。

6.如權利要求4所述的接點結構，其中該貴金屬包括金、銀或鈀。

7.如權利要求4所述的接點結構，其中該介金屬層的材料包括AuZn、AuZn₃、AuZn₈、Au₅Zn₃、Au₃Zn₇、AuZn₂、AuZn₇、AuZn₄、AgZn、AgZn₃、Ag₅Zn₈、PdZn、Pd₂Zn、PdZn₂、Pd₂Zn₈。

8.如權利要求4所述的接點結構，還包括高熔點金屬層，配置于該介金屬層的四周圍。

9.一種接點結構的制作方法，包括：

提供焊料，該焊料包括：

鋅基金屬層，具有表面；

銅金屬膜，完全覆蓋該鋅基金屬層的該表面；以及

貴金屬膜，完全包覆該銅金屬膜；以及

加熱該焊料，使該銅金屬膜所含的銅擴散進入該鋅基金屬層，且使該貴金屬膜所含的貴金屬與該鋅基金屬層所含的鋅反應，而由該貴金屬與鋅形成完全包覆該鋅基金屬層的介金屬層。

10.如權利要求9所述的接點結構的制作方法，其中該鋅基金屬層的材料包括鋅、鋅錫合金、鋅鋁合金或鋅鋁銅合金，且在該鋅基金屬層中，鋅占的比例大于90wt%。

11.如權利要求9所述的接點結構的制作方法，其中該貴金屬膜的材料包括金、銀或鈀。

12.如權利要求9所述的接點結構的制作方法，其中該介金屬層的材料包括AuZn、AuZn₃、AuZn₈、Au₅Zn₃、Au₃Zn₇、AuZn₂、AuZn₇、AuZn₄、AgZn、AgZn₃、Ag₅Zn₈、PdZn、Pd₂Zn、PdZn₂、Pd₂Zn₈。