[發(fā)明專利]電編程熔絲結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310007165.7
• 申請日: 2013-01-08
• 公開（公告）號: CN103915411A
• 公開（公告）日: 2014-07-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 廖淼
• 申請（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: H01L23/525
• 分類號: H01L23/525
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 駱蘇華

1.一種電編程熔絲結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：

陽極和陰極；

位于所述陽極和陰極之間的熔絲區(qū)，所述熔絲區(qū)包括多條與所述陽極和陰極連接的熔絲，多條所述熔絲具有不同的寬度。

2.如權(quán)利要求1所述的電編程熔絲結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述熔絲區(qū)包括n塊子熔絲區(qū)，每塊子熔絲區(qū)中各具有m條長度和寬度均相同的熔絲，不同子熔絲區(qū)中的熔絲寬度各不相同；其中，n大于等于2，m大于等于2。

3.如權(quán)利要求2所述的電編程熔絲結(jié)構(gòu)，其特征在于，不同子熔絲區(qū)中的熔絲的長度不同。

4.如權(quán)利要求2所述的電編程熔絲結(jié)構(gòu)，其特征在于，不同子熔絲區(qū)中的熔絲的長寬比相同。

5.如權(quán)利要求1所述的電編程熔絲結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述熔絲的材質(zhì)為多晶硅。

6.如權(quán)利要求1所述的電編程熔絲結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述電編程熔絲結(jié)構(gòu)的材質(zhì)為多晶硅。

7.如權(quán)利要求1所述的電編程熔絲結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述熔絲為長條狀，各熔絲的長寬比成正比關(guān)系。

8.如權(quán)利要求7所述的電編程熔絲結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述熔絲的長寬比范圍為2~8。

9.如權(quán)利要求7所述的電編程熔絲結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述熔絲的長寬比相同。

10.如權(quán)利要求9所述的電編程熔絲結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述陽極或陰極中的某一極緊鄰所述熔絲區(qū)的一側(cè)為平直的邊緣，另一極緊鄰所述熔絲區(qū)的一側(cè)包括多條朝向所述熔絲區(qū)伸出的凸條，各凸條的長度各不相同，以適應(yīng)連接不同長度的熔絲。