[發明專利]一種非球面微透鏡陣列的電場誘導壓印方法

有效

• 申請號: 201310006766.6
• 申請日: 2013-01-09
• 公開（公告）號: CN103064137A
• 公開（公告）日: 2013-04-24
• 發明（設計）人: 邵金友;丁玉成;胡鴻;田洪淼;李祥明
• 申請（專利權）人: 西安交通大學
• 主分類號: G02B3/02
• 分類號: G02B3/02;G03F7/00
• 代理公司: 西安智大知識產權代理事務所 61215
• 代理人: 賀建斌

1.一種非球面微透鏡陣列的電場誘導壓印方法，其特征在于，包括以下步驟：

1）壓印模具的制備及處理：在晶圓表面利用光刻和刻蝕工藝加工出所需的圓孔陣列圖形結構，并對其進行表面處理，使其利于壓印后的脫模；

2）基材、電極和聚合物的選擇：基材和電極都采用表面蒸鍍了一層厚度為50nm-300nm的導電納米銦錫金屬化合物的ITO導電玻璃，聚合物采用具有熱塑性的材料，或同時具有熱塑性和紫外可固化的材料；

3）壓印及脫模：利用勻膠機在基材上旋涂一層聚合物，聚合物厚度為10um-50um，以10Mpa的壓力P將處理后的壓印模具壓在基材上，與基材緊密結合，并保證環境溫度在聚合物的玻璃態轉換溫度以上，1-20分鐘后，冷卻至室溫，脫模，在基材上留下聚合物柱狀陣列；

4）施加外電場：利用另一塊ITO導電玻璃作為上電極，與基材組合形成一對平板電極，兩平板電極之間有一層空氣間隙，空氣間隙是柱狀陣列高度的2-4倍，采用直流電源，電壓調節范圍在300-500V，正極連上電極，負極連基材，對形成的聚合物微柱陣列施加外電場；

5）電場誘導再成型：再將環境溫度升至玻璃態轉化溫度以上，調節電壓大小，使電場力大于聚合物表面張力，持續1-20分鐘，直至成型過程結束；

6）聚合物的固化：在保持施加電壓不變的情況下，根據聚合物材料性質，選擇相應的固化方式，最終得到非球面微透鏡陣列。

2.根據權利要求1所述的一種非球面微透鏡陣列的電場誘導壓印方法，其特征在于，所述的聚合物為PMMA、PS或SU-8膠。