[發(fā)明專利]具有位置測(cè)量裝置的多個(gè)掃描單元的裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310005111.7
• 申請(qǐng)日: 2013-01-07
• 公開（公告）號(hào): CN103246172A
• 公開（公告）日: 2013-08-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 沃爾夫?qū)せ魻栐召M(fèi)爾;約爾格·德雷謝爾;馬庫(kù)斯·邁斯納;拉爾夫·約爾格爾;伯恩哈德·默施;托馬斯·卡埃爾貝雷爾
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 約翰尼斯海登海恩博士股份有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20;G01B11/00
• 代理公司: 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240
• 代理人: 余剛;李慧

1.一種裝置，具有

-對(duì)象（1；11），所述對(duì)象至少沿兩個(gè)正交的、第一和第二主運(yùn)動(dòng)軸線（y，x）相對(duì)于基準(zhǔn)系統(tǒng)能運(yùn)動(dòng)地布置，和

-用于檢測(cè)所述對(duì)象（1；11）相對(duì)于所述基準(zhǔn)系統(tǒng)的位置的位置測(cè)量裝置，所述位置測(cè)量裝置具有至少兩個(gè)、沿所述第一主運(yùn)動(dòng)軸線（y）布置的、二維量具（2.1，2.2；12.1-12.4）和四個(gè)用于光學(xué)地掃描所述量具（2.1，2.2；12.1-12.4）的掃描單元（1.2a，1.2b，1.2g，1.2h；11.2a；11.2b，11.2g，11.2h），

其特征在于，

所述位置測(cè)量裝置為了檢測(cè)位置而包括至少四個(gè)附加的擴(kuò)展掃描單元（1.2c-1.2f；11.2c-11.2f），所述擴(kuò)展掃描單元沿所述第一主運(yùn)動(dòng)軸線（y）布置在所述四個(gè)掃描單元（1.2a，1.2b，1.2g，1.2h；11.2a；11.2b，11.2g，11.2h）之間。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，外部的所述掃描單元（1.2a，1.2b，1.2g，1.2h；11.2a；11.2b，11.2g，11.2h）沿所述第一主運(yùn)動(dòng)軸線（y）的最大間距（DA_y1）分別相應(yīng)于所述量具（2.1，2.2；12.1-12.4）之一沿所述第一主運(yùn)動(dòng)軸線（y）的長(zhǎng)度（DM_y）。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，內(nèi)部的所述擴(kuò)展掃描單元（1.2c-1.2f；11.2c-11.2f）沿所述第一主運(yùn)動(dòng)軸線（y）的間距（DA_y2）小于外部的所述掃描單元（1.2a，1.2b，1.2g，1.2h；11.2a；11.2b，11.2g，11.2h）沿所述第一主運(yùn)動(dòng)軸線（y）的所述間距（DA_y1）。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述掃描單元（1.2a，1.2b，1.2g，1.2h；11.2a；11.2b，11.2g，11.2h）和所述擴(kuò)展掃描單元（1.2c-1.2f；11.2c-11.2f）沿所述第二主運(yùn)動(dòng)軸線（x）的最大間距（DA_x）等于所述量具（2.1，2.2；12.1-12.4）沿所述第二主運(yùn)動(dòng)軸線（x）的長(zhǎng)度（DM_x）。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，沿所述第一主運(yùn)動(dòng)軸線（y）得出最大移動(dòng)路徑

V＝2·DM_y-DA_y2，

其中，

V：=沿所述第一主運(yùn)動(dòng)軸線的最大移動(dòng)路徑，

DM_y：=所述量具沿所述第一主運(yùn)動(dòng)軸線的長(zhǎng)度，

DA_y2：=所述擴(kuò)展掃描單元沿所述第一主運(yùn)動(dòng)軸線的間距，

其中，沿所述移動(dòng)路徑（V）通過(guò)所述掃描單元（1.2a，1.2b，1.2g，1.2h；11.2a；11.2b，11.2g，11.2h）和所述擴(kuò)展掃描單元（1.2c-1.2f；11.2c-11.2f）能持續(xù)地檢測(cè)位置。

6.根據(jù)前述權(quán)利要求中至少一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，四個(gè)所述掃描單元（1.2a，1.2b，1.2g，1.2h）和四個(gè)所述擴(kuò)展掃描單元（1.2c-1.2f）布置在所述對(duì)象（1）的一側(cè)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，沿所述第二主運(yùn)動(dòng)軸線（x），至少兩個(gè)另外的二維量具（12.3，12.4）相鄰于至少兩個(gè)、沿所述第一主運(yùn)動(dòng)軸線（y）布置的所述二維量具（12.1，12.2）布置。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的裝置，其特征在于，所述掃描單元（11.2a；11.2b，11.2g，11.2h）和所述擴(kuò)展掃描單元（1.2c-1.2f）沿所述第二主運(yùn)動(dòng)軸線（x）的最小間距等于所述二維量具（12.1-12.4）沿所述第二主運(yùn)動(dòng)軸線（x）的間距（d_x）與所述量具（12.1-12.4）沿所述第二主運(yùn)動(dòng)軸線（x）的所述長(zhǎng)度（DM_x）之和。