[發(fā)明專利]調(diào)制式激光干涉空氣折射率測量方法及裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310004167.0
• 申請日: 2013-01-05
• 公開（公告）號: CN103076304B
• 公開（公告）日: 2013-05-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 嚴(yán)利平;陳本永;劉燕娜;董文鈞
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江理工大學(xué)
• 主分類號: G01N21/45
• 分類號: G01N21/45
• 代理公司: 杭州求是專利事務(wù)所有限公司 33200
• 代理人: 林懷禹

1.一種調(diào)制式激光干涉空氣折射率測量方法，其特征在于：雙頻激光器輸 出波長為λ₁和λ₂的正交線偏振光，射向由分光鏡、參考角錐棱鏡和測量角錐棱 鏡構(gòu)成的邁克爾遜干涉儀，分別形成各自的干涉信號，再經(jīng)分光鏡、偏振分光 鏡分光后由兩個(gè)探測器接收，參考角錐棱鏡固定在直線位移工作臺上，測量角 錐棱鏡固定在壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器上，在測量光路中放置一個(gè)與光線傳播方向平行 的長度為L的石英真空腔；測量空氣折射率前，首先通過直線位移工作臺移動(dòng) 參考角錐棱鏡，檢測λ₁和λ₂的干涉信號的相位差變化2π時(shí)參考角錐棱鏡移動(dòng)的 位移ΔL，即為波長λ₁和λ₂形成的合成波長值λ_S/2；然后，直線位移工作臺不動(dòng)， 通過壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器調(diào)制測量角錐棱鏡在Δl＝0.5μm范圍內(nèi)往返運(yùn)動(dòng)，先將石英 真空腔抽成真空，測得波長λ₁和λ₂的干涉信號相位差為接著將空氣通入石 英真空腔，直至該腔內(nèi)部空氣與外部空氣一致，再測得此時(shí)波長λ₁和λ₂的干涉 信號相位差為最后根據(jù)石英真空腔長度L、合成波長λ_S和波長λ₁和λ₂的干 涉信號的相位差變化量與空氣折射率n的關(guān)系，得到空氣折射率 為：