[發(fā)明專(zhuān)利]一種電容式濕度傳感器有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201310002232.6 | 申請(qǐng)日： | 2013-01-04 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN103018289A | 公開(kāi)（公告）日： | 2013-04-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 黃見(jiàn)秋;任青穎;黃慶安 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 東南大學(xué) |
| 主分類(lèi)號(hào)： | G01N27/22 | 分類(lèi)號(hào)： | G01N27/22;B81B3/00 |
| 代理公司： | 南京天翼專(zhuān)利代理有限責(zé)任公司 32112 | 代理人： | 王玉梅;王鵬翔 |
| 地址： | 211189 江蘇*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 電容 濕度 傳感器 | ||
1.一種電容式濕度傳感器，其特征在于，包括由襯底（1）、介質(zhì)層（2）和金屬電極層（3）構(gòu)成的檢測(cè)電容；所述檢測(cè)電容呈懸臂梁結(jié)構(gòu)狀，其中，所述介質(zhì)層（2）設(shè)在襯底（1）上，金屬電極層（3）位于介質(zhì)層（2）上；所述金屬電極層（3）上還設(shè)有濕度敏感應(yīng)變層（4）。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容式濕度傳感器，其特征在于，所述介質(zhì)層（2）為固體彈性電介質(zhì)層。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電容式濕度傳感器，其特征在于，所述固體彈性電介質(zhì)層為二氧化硅層、氮化硅層或二氧化硅與氮化硅的復(fù)合介質(zhì)層。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容式濕度傳感器，其特征在于，所述濕度敏感應(yīng)變層（4）為聚酰亞胺感濕層。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容式濕度傳感器，其特征在于，所述金屬電極層（3）為鋁電極層。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容式濕度傳感器，其特征在于，所述襯底（1）為N型重?fù)诫s硅襯底。
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