[發明專利]OLED玻璃基板蒸鍍機有效
| 申請號: | 201310001192.3 | 申請日: | 2013-01-04 |
| 公開(公告)號: | CN103014620A | 公開(公告)日: | 2013-04-03 |
| 發明(設計)人: | 南一虎;金鉉東;趙芳 | 申請(專利權)人: | 四川虹視顯示技術有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/04 | 分類號: | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司: | 成都虹橋專利事務所(普通合伙) 51124 | 代理人: | 劉世平 |
| 地址: | 611731 四川*** | 國省代碼: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | oled 玻璃 基板蒸鍍機 | ||
【權利要求書】:
1.OLED玻璃基板蒸鍍機,包括主擋板(1)和位于所述主擋板(1)下方的第一點蒸發源(2)和第二點蒸發源(3),玻璃基板(4)設置于所述主擋板(1)上方,所述第一點蒸發源(2)和第二點蒸發源(3)在玻璃基板(4)上的蒸鍍范圍存在重合區域(6),其特征在于:還包括子擋板(5),所述子擋板(5)設置于所述玻璃基板(4)下方,且能夠遮擋所述重合區域(6)。
2.根據權利要求1所述的OLED玻璃基板蒸鍍機,其特征在于:所述子擋板(5)的幾何中心與所述玻璃基板(4)的幾何中心在豎直方向上共軸。
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