[發(fā)明專利]ALD反應(yīng)器中的襯底裝載

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201280077254.2
• 申請(qǐng)日: 2012-11-23
• 公開（公告）號(hào): CN104812938A
• 公開（公告）日: 2015-07-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: V·基爾皮;J·科斯塔莫;W-M·李
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 皮考遜公司
• 主分類號(hào): C23C16/455
• 分類號(hào): C23C16/455;C23C16/458
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 陳文平;侯寶光

1.一種方法，其包括：

將多個(gè)襯底裝載到沉積反應(yīng)器的裝載室中的襯底支架內(nèi)，以在所述襯底支架內(nèi)形成水平定向的襯底的垂直堆疊；和

轉(zhuǎn)動(dòng)所述襯底支架以形成垂直定向的襯底的水平堆疊，并且將所述襯底支架下降至所述沉積反應(yīng)器的反應(yīng)室內(nèi)用于沉積。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述裝載包括通過(guò)裝載器將襯底一次一個(gè)地移動(dòng)通過(guò)裝載口進(jìn)入所述裝載室。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2的方法，其包括：

在所述裝載室和所述反應(yīng)室之間提供閘門，所述裝載室位于所述反應(yīng)室的頂部。

4.根據(jù)前述權(quán)利要求任一項(xiàng)的方法，其包括：

通過(guò)裝置前端模塊將所述襯底從襯底存儲(chǔ)載體裝載至裝載設(shè)備拾取和返回站內(nèi)；和

從所述裝載設(shè)備拾取和返回站將所述襯底一次一個(gè)地經(jīng)過(guò)傳送室裝載到所述裝載室內(nèi)。

5.根據(jù)前述權(quán)利要求任一項(xiàng)的方法，其包括通過(guò)旋轉(zhuǎn)移動(dòng)來(lái)轉(zhuǎn)動(dòng)所述襯底支架。

6.根據(jù)前述權(quán)利要求任一項(xiàng)的方法，其包括通過(guò)致動(dòng)器從側(cè)面接入所述襯底支架，并且通過(guò)所述致動(dòng)器轉(zhuǎn)動(dòng)所述襯底支架。

7.根據(jù)前述權(quán)利要求任一項(xiàng)的方法，其包括：

將所述多個(gè)襯底在所述反應(yīng)室內(nèi)暴露于時(shí)間上隔開的前體脈沖，以通過(guò)依次的自飽和表面反應(yīng)將材料沉積在襯底表面上。

8.一種儀器，其中

裝載器構(gòu)造為將多個(gè)襯底裝載到沉積反應(yīng)器的裝載室中的襯底支架內(nèi)以在所述襯底支架內(nèi)形成水平定向的襯底的垂直堆疊，所述儀器包括：

轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)和升降機(jī)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)構(gòu)造為轉(zhuǎn)動(dòng)所述襯底支架以形成垂直定向的襯底的水平堆疊，所述升降機(jī)構(gòu)造為將所述襯底支架下降至所述沉積反應(yīng)器的反應(yīng)室內(nèi)用于沉積。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的儀器，其中所述裝載器構(gòu)造為將襯底一次一個(gè)地移動(dòng)通過(guò)裝載口進(jìn)入所述裝載室。

10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的儀器，其包括：

所述裝載室和所述反應(yīng)室之間的閘門，所述裝載室位于所述反應(yīng)室的頂部。

11.根據(jù)前述權(quán)利要求8-10任一項(xiàng)所述的儀器，其包括：

裝置前端模塊和裝載設(shè)備，所述裝置前端模塊構(gòu)造為將所述襯底從襯底存儲(chǔ)載體裝載至裝載設(shè)備拾取和返回站內(nèi)；并且所述裝載設(shè)備構(gòu)造為將所述襯底從所述裝載設(shè)備拾取和返回站一次一個(gè)地經(jīng)過(guò)傳送室裝載至所述裝載室內(nèi)。

12.根據(jù)前述權(quán)利要求8-11任一項(xiàng)所述的儀器，其中所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)構(gòu)造為通過(guò)旋轉(zhuǎn)移動(dòng)來(lái)轉(zhuǎn)動(dòng)所述襯底支架。

13.根據(jù)前述權(quán)利要求8-12任一項(xiàng)所述的儀器，其中所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)構(gòu)造為從側(cè)面接入所述襯底支架，并且轉(zhuǎn)動(dòng)所述襯底支架。

14.根據(jù)前述權(quán)利要求8-13任一項(xiàng)所述的儀器，其中所述儀器包括多個(gè)相互之間按預(yù)定方式放置的沉積反應(yīng)器，并且所述裝載設(shè)備構(gòu)造為裝載所述沉積反應(yīng)器中的每一個(gè)。