[發明專利]用于維護邊緣排除屏蔽件的方法和系統

有效

• 申請號: 201280076987.4
• 申請日: 2012-11-15
• 公開（公告）號: CN104781448B
• 公開（公告）日: 2018-04-03
• 發明（設計）人: R·林德伯格;E·科帕拉
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/04;C23C14/50;B65G49/06;H01L21/67;H01L21/677;C23C16/04;C23C16/44
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司31100
• 代理人: 黃嵩泉

技術領域

本發明的實施例是有關于一種用于從基板處理系統的處理腔體取出遮蔽元件或插入遮蔽元件于處理腔體內的方法。其他實施例是有關于一種遮蔽元件、一種用于傳輸遮蔽元件的鉤起裝置、以及一種包括遮蔽元件及/或鉤起裝置的基板處理系統。更特別是，部分的實施例是有關于一種在基板處理系統中維護邊緣排除遮蔽件，此基板處理系統包括真空處理腔體，用于處理實質上垂直方向的基板。

背景技術

在例如是薄膜晶體管(TFT)金屬化工藝的數種技術應用中，一或數層不同材料是在基板的上方沉積于彼此上。一般來說，此是通過一連串的涂布或沉積工藝來完成，例如是濺鍍工藝，其中其他像是蝕刻或成型(structuring)的工藝可能亦可在各種沉積工藝之前、之間或之后提供。舉例來說，可沉積具有“材料一”-“材料二”-“材料一”的順序的多層堆迭。

為了沉積一多層堆迭，可提供數個處理腔體的配置。舉例來說，可使用串聯式(in-line)配置的沉積腔體和群集式(cluster)配置的沉積腔體。典型的群集式配置包括中央搬運腔體及連接于中央搬運腔體的數個處理或沉積腔體。涂布腔體可裝配以執行相同或不同的工藝。典型的串聯式系統包括數個接續的處理腔體，其中處理步驟是在一個接著一個的腔體內進行，使得數個基板可以串聯式系統連續地或類似連續地進行處理。

在例如是用于顯示器的玻璃基板涂布的技術應用中，基板的邊緣在涂布工藝期間受到保護，涂布工藝例如是濺鍍沉積工藝。邊緣排除遮蔽件用于保護邊緣。在涂布工藝期間，不僅是基板接收涂布，邊緣排除遮蔽件也接收涂布。當在邊緣排除遮蔽件上的涂布變得較厚時，越來越多的粒子可能從邊緣排除遮蔽件再散發(re-emit)出去，且讓基板涂布的品質下降。已沉積于邊緣排除遮蔽件上的厚層可能具有遮蔽效應(shadowing effect)，所以基板涂布的均勻度可能變糟。

若此情況發生，沉積腔體開啟且邊緣排除遮蔽件進行更換。此程序可能不僅讓更換邊緣排除遮蔽件成為必要，且亦讓更換例如是額外的遮蔽件、陽極等的工藝套組的其他元件成為必要。在濺鍍基板處理系統中，靶材壽命可能遠長于邊緣排除遮蔽件需進行更替之后的時間區段。靶材的最佳化壽命可能因而無法完全的實現。再者，直到可繼續進行制造的恢復時間可能非常的長。舉例來說，在腔體內重新建立真空以及其他設置程序可能花費難以預測的長時間。因此，基板處理系統的整體產量受到負面的影響。

因此，存在進行改善的需求。

發明內容

有鑒于上述內容，提供了根據獨立權利要求的方法與裝置。更進一步的細節可在從屬權利要求、說明書、及附圖中得到。

根據一實施例，提供了一種用于從基板處理系統的處理腔體取出遮蔽元件或插入遮蔽元件至處理腔體中的方法?；逄幚硐到y包括處理腔體、第一遮蔽元件、及基板傳輸系統，第一遮蔽元件用于排除材料應用于基板的數個部分上，基板傳輸系統用于傳輸基板或數個基板載體至處理腔體中及處理腔體外。此方法包括通過基板傳輸系統傳輸第一遮蔽元件。

根據另一實施例，提供了一種用于排除材料應用于基板的數個部分上的遮蔽元件。遮蔽元件包括遮蔽部，用以遮蔽基板的數個邊緣。于第一選擇中，遮蔽元件包括卡合部，用于從遮蔽框內的位置傳輸遮蔽元件到基板處理系統的基板傳輸系統，以于基板傳輸系統中進行傳輸。于第二選擇中，遮蔽元件包括卡合部，用于鉤起遮蔽元件至鉤起裝置，以在基板處理系統的基板傳輸系統中共同傳輸。

根據其他實施例，遮蔽框或鉤起裝置可額外地提供。遮蔽框可包括機械式傳輸部，適用于卡合卡合部，以從遮蔽框內的位置傳輸遮蔽元件至基板傳輸系統。鉤起裝置可包括框部及鉤起部，框部配置以載入至基板處理系統的基板傳輸系統中，鉤起部用以卡合遮蔽元件的卡合部以鉤起且支承遮蔽元件，以在基板傳輸系統中共同傳輸。于其他實施例中，基板處理系統可提供。基板處理系統可包括處理腔體及基板傳輸系統，基板傳輸系統用以傳輸數個基板或數個基板載體至處理腔體內及處理腔體外?；逄幚硐到y還可包括根據此處所述的任何實施例的遮蔽元件、遮蔽框及/或鉤起裝置。遮蔽元件或鉤起裝置的框部可配置以于基板傳輸系統中傳輸，以傳輸遮蔽元件至處理腔體內或處理腔體外。

本揭露亦有關于用于執行所揭露的方法的設備，包括用于執行此方法的各所說明部份的設備元件。此些方法部分可通過硬件元件、透過適當軟件編程的電腦、通過此二者的任何結合或以任何其他方式來執行。再者，本發明亦有關于通過所述的設備進行操作或制造所述的設備的方法。它包括用于執行此設備的各功能的方法。

附圖簡述