[發明專利]襯底-產品襯底-組合以及用于制造襯底-產品襯底-組合的設備和方法

有效

• 申請號: 201280073963.3
• 申請日: 2012-06-12
• 公開（公告）號: CN104662652A
• 公開（公告）日: 2015-05-27
• 發明（設計）人: 埃里希·塔爾納
• 申請（專利權）人: 埃里希·塔爾納
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/68
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 朱君;劉春元

1.一種用于通過將平面襯底(2，2′)的接觸側(2o)與載體襯底(5，5′)的支撐面(5o)對準、接觸和接合來制造襯底-產品襯底-組合的方法，其中，所述襯底(2，2′)在接觸時具有比所述載體襯底(5，5′)的平均直徑d2更大的平均直徑d1。

2.根據權利要求1所述的方法，在其中，所述襯底(2，2′)在所述接觸后被背面減薄，其中，直徑d1通過所述襯底(2，2′)的橫截面的形狀在其周緣輪廓(2u)上減小，尤其是減小至d1≤d2。

3.根據權利要求1或2所述的方法，在其中，所述襯底(2，2′)具有尤其是通過設置邊緣半徑和/或通過所述周緣輪廓(2u)的向后磨削所產生的環狀凸肩(2a，2a′)。

4.根據上述權利要求中任一項所述的方法，在其中，所述凸肩(2a，2a′)的環狀寬度dR大于或等于d1和d2的差。

5.根據權利要求3或4中任一項的方法，在其中，在所述背面減薄時，所述襯底(2，2′)的厚度D₁被一直減小至所述凸肩(2a，2a′)或超出所述凸肩(2a，2a′)。

6.一種用于通過將平面襯底(2，2′)的接觸側(2o)與載體襯底(5，5′)的支撐面(5o)對準、接觸和接合來制造襯底-產品襯底-組合的襯底(2，2′)，其中，所述襯底(2，2′)具有直徑d1，該直徑在背面減薄時可通過所述襯底(2，2′)的橫截面的形狀在其周緣輪廓(2u)上減小。

7.根據權利要求6所述的襯底，在其中，所述襯底(2，2′)具有尤其是通過設置邊緣半徑和/或通過所述周緣輪廓(2u)的向后磨削所產生的環狀凸肩(2a，2a′)。

8.一種將具有平均直徑d1的平面襯底(2)用于與具有平均直徑d2的載體襯底(5)對準和接觸以便對所述平面襯底(2)進行再加工的用法，其中，平均直徑d1大于平均直徑d2。

9.根據權利要求8的用法，在其中，直徑d2小500μm，尤其是小400μm，優選小300μm，再優選小200μm，更優選小100μm。

10.一種用于通過將平面襯底(2，2′)的接觸側(2o)與載體襯底(5，5′)的支撐面(5o)對準、接觸和接合來制造襯底-產品襯底-組合的設備，其中，所述襯底(2，2′)在接觸時具有比所述載體襯底(5，5′)的平均直徑d2更大的平均直徑d1，所述設備具有以下特征：

-用于固定所述襯底(2，2′)的襯底容納部(1)；

-用于固定所述載體襯底(5，5′)的載體襯底容納部(4)；

-用于相對于所述襯底(2，2′)與所述載體襯底(5，5′)的接觸平面至少分段地檢測被固定在所述襯底容納部(1)上的襯底(2，2′)的周緣輪廓(2u)以及至少分段地檢測被固定在所述載體襯底容納部(4)上的載體襯底(5，5′)的周緣輪廓(5u)的檢測裝置(11，13)；

-用于使得所述襯底(2，2′)相對于所述載體襯底(5，5′)對準的對準裝置(6，8)，其中，所述對準裝置(6，8)是通過控制裝置基于由所述檢測裝置(11，13)檢測到的周緣輪廓(2u，5u)來加以控制的；以及

-用于使得相對于所述載體襯底(5)對準的襯底(2)與所述載體襯底(5)接觸的接觸裝置(3)。

11.根據權利要求10所述的設備，其中，所述檢測裝置(11，13)可相對于所述襯底(2，2′)和/或相對于所述載體襯底(5，5′)通過旋轉裝置(6)旋轉和/或可相對于所述襯底(2，2′)和/或相對于所述載體襯底(5，5′)通過移位裝置(8)在X-和/或Y-方向上平行于接觸平面移位。

12.根據權利要求10或11所述的設備，其中，所述檢測裝置(11，13)可安置在載體單元(7)上，所述載體單元(7)可至少分段地布置在所述襯底(2，2′)和/或所述載體襯底(5，5′)的周緣側、尤其是分段地構造為環狀。

13.根據權利要求10至12中至少任一項所述的設備，其中，所述檢測裝置(11，13)構造為在其周緣輪廓(2u)上對所述襯底(2，2′)的橫截面的形狀這樣進行檢測，使得所述襯底(2，2′)的背面減薄可受到控制，從而使直徑d1減小，尤其是減小至d1≤d2。