[發(fā)明專利]泵裝置以及其控制方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201280069749.0
• 申請日: 2012-02-16
• 公開（公告）號: CN104114865A
• 公開（公告）日: 2014-10-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 野野村勇治;鈴木佐智惠;絲山龍二;山中秋廣
• 申請（專利權(quán)）人: ULVAC機工株式會社
• 主分類號: F04B49/06
• 分類號: F04B49/06;F04B45/04
• 代理公司: 北京華夏正合知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11017
• 代理人: 韓登營;栗濤

1.一種泵裝置，具有泵主體、溫度傳感器、控制器，其中，

所述泵主體具有吸入口、吐出口、泵室、可動部件、驅(qū)動部，其中，所述泵室能夠與所述吸入口以及所述吐出口分別連通，所述可動部件交替進行所述泵室的吸氣和排氣，所述驅(qū)動部驅(qū)動包括馬達，該馬達驅(qū)動所述可動部件，并能夠根據(jù)轉(zhuǎn)動速度使由所述吐出口吐出的氣體的流量發(fā)生變化，

所述溫度傳感器安裝于所述泵主體上，通過測定由所述吐出口吐出的氣體的溫度或者所述泵主體的溫度，來輸出與所述氣體溫度相關(guān)的溫度信號，

所述控制器具有：輸入部、運算部、輸出部，其中，所述輸入部被輸入用于指定由所述吐出口吐出的所述氣體的標準流量的外部信號，所述運算部基于所述溫度信號運算出由所述吐出口吐出的所述氣體的實際流量，所述輸出部輸出用于校正所述馬達的轉(zhuǎn)動速度的校正信號，以使所述實際流量與所述標準流量一致。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的泵裝置，其特征在于，

所述控制器還具有存儲部，所述存儲部用于存儲包含預(yù)先獲得的所述泵主體的溫度特性的校正系數(shù)，

所述運算部通過將所述校正系數(shù)與基于所述溫度信號算出的氣體流量相乘，運算出所述實際流量。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的泵裝置，其特征在于，

所述校正系數(shù)為所述溫度特性于從第1溫度到比所述第1溫度高的第2溫度的范圍內(nèi)的近似函數(shù)，

所述近似函數(shù)于所述第1溫度與比所述第1溫度高且比所述第2溫度低的第3溫度之間生成使所述馬達的轉(zhuǎn)動速度上升的校正系數(shù)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中的任意一項所述的泵裝置，其特征在于，

還具有第1閥、第2閥、第3閥，其中，

所述第1閥安裝于所述吸入口與所述泵室之間，容許氣體由所述吸入口向所述泵室流動，

所述第2閥安裝于所述泵室與所述吐出口之間，在所述泵室的氣體的壓力在第1壓力以上的情況下，容許所述氣體由所述泵室向所述吐出口流動，

所述第3閥安裝于所述泵主體，在所述吸入口與所述吐出口之間的氣體的壓力在大于所述第1壓力的第2壓力以下的情況下，限制所述氣體由所述吸入口向所述吐出口流動。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的泵裝置，其特征在于，

所述第3閥包括閥部件，所述閥部件的開度根據(jù)所述第1壓力以上第2壓力以下的壓力而連續(xù)變化。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的泵裝置，其特征在于，

所述閥部件具有通孔，所述通孔在所述閥部件完全關(guān)閉時容許規(guī)定流量以下的氣體流動。

7.根據(jù)權(quán)利要求4～6中的任意一項所述的泵裝置，其特征在于，

所述第1閥以及所述第2閥分別具有閥體和限制部件，其中，

所述閥體具有固定于所述泵主體上的第1端部和隨所述氣體的流動而移動的第2端部，所述限制部件與所述閥體隔開間隔而相對配置，并限制所述第2端部的移動量。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的泵裝置，其特征在于，

所述溫度傳感器安裝于所述驅(qū)動部上。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的泵裝置，其特征在于，

所述溫度傳感器安裝于所述泵室。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的泵裝置，其特征在于，

所述泵主體為隔膜泵。

11.一種泵裝置的控制方法，包括，

輸出用使泵主體吐出口吐出標準流量的氣體的轉(zhuǎn)動速度來驅(qū)動馬達的驅(qū)動信號；

通過安裝于所述泵主體上的溫度傳感器測定由所述吐出口吐出的氣體的溫度或者所述泵主體的溫度；

基于所述溫度傳感器的輸出信號所包含的與所述氣體的溫度相關(guān)的溫度信號，運算出由所述吐出口吐出的所述氣體的實際流量；

校正所述驅(qū)動信號，并將校正后的驅(qū)動信號輸出給所述馬達，以使所述實際流量與所述標準流量一致。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的泵裝置的控制方法，其特征在于，

通過將包含預(yù)先獲得的所述泵主體的溫度特性的校正系數(shù)與基于所述溫度信號所算出的氣體流量相乘，從而運算出所述氣體的實際流量。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的泵裝置的控制方法，其特征在于，

所述校正系數(shù)為所述溫度特性的于第1溫度到比所述第1溫度高的第2溫度的范圍內(nèi)的近似函數(shù)，

所述近似函數(shù)生成于所述第1溫度和比所述第1溫度高且比所述第2溫度低的第3溫度之間使所述馬達的轉(zhuǎn)動速度上升的校正系數(shù)。