[發明專利]臭氧生成系統

有效

• 申請號: 201280069495.2
• 申請日: 2012-08-30
• 公開（公告）號: CN104105659A
• 公開（公告）日: 2014-10-15
• 發明（設計）人: 田畑要一郎;西村真一;中村紀幸;沖原雄二郎
• 申請（專利權）人: 東芝三菱電機產業系統株式會社
• 主分類號: C01B13/11
• 分類號: C01B13/11;B01J35/02
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 劉建

1.一種臭氧生成系統，其特征在于，具備：

氧供給口(2)；

氮供給口(3)；

臭氧產生裝置(1、300)，其從流入的原料氣體產生臭氧；以及

氣體流量調整裝置(7)，其使從所述氧供給口供給的氧及從所述氮供給口供給的氮流入，對所述氧及所述氮的流量進行調整，并將該調整后的所述氧及所述氮作為所述原料氣體而對所述臭氧產生裝置輸出，

所述氣體流量調整裝置具備：

第一氧流量調整器部(71)，其與所述氧供給口連接，對從所述氧供給口供給的所述氧的流量進行調整；

第二氧流量調整部(72)，其與所述氧供給口連接，對從所述氧供給口供給的所述氧的流量進行調整；

氮流量調整部(73、731)，其與所述氮供給口連接，對從所述氮供給口供給的所述氮的流量進行調整；以及

混合氣體流量調整部(75、751)，其對第一混合氣體的流量進行調整，該第一混合氣體由從所述第二氧流量調整部輸出的所述氧和從所述氮流量調整部輸出的所述氮構成，

所述氣體流量調整裝置將第二混合氣體作為所述原料氣體而對所述臭氧產生裝置輸出，該第二混合氣體由從所述第一氧流量調整器輸出的所述氧和從所述混合氣體流量調整器輸出的所述第一混合氣體構成，

所述氣體流量調整裝置通過利用所述第一氧流量調整器部、所述第二氧流量調整部、所述氮流量調整部及所述混合氣體流量調整部，從而生成所述氮相對于所述氧的添加率設定成比0ppm大且為100ppm以下的范圍的所述第二混合氣體。

2.根據權利要求1所述的臭氧生成系統，其特征在于，

所述氣體流量調整裝置還具備對所述第一混合氣體的氣體壓力進行調整的壓力調整部(77)。

3.根據權利要求2所述的臭氧生成系統，其特征在于，

所述氣體流量調整裝置對所述臭氧產生裝置輸出所述氮相對于所述氧的所述添加率為固定的所述第二混合氣體。

4.根據權利要求3所述的臭氧生成系統，其特征在于，

所述氣體流量調整裝置還具備進行該所述氣體流量調整裝置內的流量的控制的控制部(20)，

所述控制部基于所述第一氧流量調整器部中的所述氧的流量值及所述氮流量調整部中的所述氮的流量值，來對所述第二氧流量調整部中的所述氧的流量及所述混合氣體流量調整部中的所述第一混合氣體的流量進行控制，以使所述氣體流量調整裝置生成所述氮相對于所述氧的所述添加率為固定的所述第二混合氣體。

5.根據權利要求3所述的臭氧生成系統，其特征在于，

所述氮流量調整部及所述混合氣體流量調整部分別包括閥(73a、75a)和流量顯示計(73b、75b)，

所述氣體流量調整裝置還具備進行該所述氣體流量調整裝置內的流量的控制的控制部(20)，

所述控制部基于所述第一氧流量調整器部中的所述氧的流量值、所述氮流量調整部中的所述閥調整后的從所述流量顯示計讀取的所述氮的流量值、以及所述混合氣體流量調整部中的所述閥調整后的從所述流量顯示計讀取的所述第一混合氣體的流量值，來對所述第二氧流量調整部中的所述氧的流量進行控制，以使所述氣體流量調整裝置生成所述氮相對于所述氧的所述添加率為固定的所述第二混合氣體。

6.根據權利要求1所述的臭氧生成系統，其特征在于，

所述臭氧產生裝置具備：

第一電極(301a)；

第二電極(301b)，其以與所述第一電極之間形成有間隙的方式與所述第一電極對置配置；以及

光催化劑物質(303)，其以面向所述間隙的方式配置，且具有規定的帶隙，

通過在所述第一電極與所述第二電極之間施加交流電壓，從而在所述間隙內產生放電，通過該放電的放電光和所述光催化劑物質，將向所述間隙內供給的所述第二混合氣體中含有的所述氧解離成氧原子，且通過所述第二混合氣體中含有的所述氧和所述解離后的氧原子的結合來產生臭氧。