[發(fā)明專利]具有多個(gè)插入件的堆疊裸片組件

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201280069303.8
• 申請(qǐng)日: 2012-12-03
• 公開（公告）號(hào): CN104471708A
• 公開（公告）日: 2015-03-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 艾弗倫·C·吳;巴哈瑞·巴尼杰馬利;拉烏那丹·沙威爾
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 吉林克斯公司
• 主分類號(hào): H01L25/065
• 分類號(hào): H01L25/065;H01L23/14;H01L23/498;H01L23/538
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;黃燦

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及集成電路裝置(IC)。更確切地說，本發(fā)明涉及用于包含多個(gè)插入件的IC的堆疊裸片組件。

背景技術(shù)

集成電路已隨時(shí)間推移變得更加“致密”，即，更多的邏輯特征已經(jīng)在IC中得以實(shí)施。最近，堆疊硅互連技術(shù)(“SSIT”)允許將一個(gè)以上半導(dǎo)體裸片放置在單個(gè)封裝中。SSIT?IC可用于解決對(duì)通信帶寬的增大的需求。然而，即使使用SSIT的IC具有一個(gè)以上的裸片，由于銷約束此類IC仍然具有相當(dāng)大的帶寬限制。

因此，期望提供具有較少帶寬限制的SSIT?IC。

發(fā)明內(nèi)容

用于IC的堆疊裸片組件包含：第一插入件、第二插入件、第一集成電路裸片、第二集成電路裸片和多個(gè)部件。第一集成電路裸片互連到第一插入件和第二插入件，并且第二集成電路裸片互連到第二插入件。多個(gè)部件將第一集成電路裸片互連到第一插入件和第二插入件。信號(hào)在第一插入件與第二插入件之間經(jīng)由第一集成電路裸片和多個(gè)部件導(dǎo)引。

在一些示例性組件中，將第一集成電路裸片互連到第一插入件和第二插入件的多個(gè)部件位于第一插入件和第二插入件的互連受限區(qū)域外部，并且信號(hào)是在第一插入件與第二插入件之間經(jīng)由第一集成電路裸片和多個(gè)部件導(dǎo)引的，避開了第一插入件和第二插入件的互連受限區(qū)域。

所述組件也可以包含耦合到第一插入件的第三集成電路裸片，其中第一集成電路裸片提供第二集成電路裸片與第三集成電路裸片之間的通信橋。

第二插入件可以包含多個(gè)導(dǎo)電線路。所述多個(gè)部件可以包含多個(gè)裸片到裸片互連。所述多個(gè)裸片到裸片互連的第一部分可以將第一集成電路裸片互連到第一插入件。所述多個(gè)裸片到裸片互連的第二部分可以將第一集成電路裸片互連到第二插入件。所述多個(gè)裸片到裸片互連的第一部分和第二部分可以設(shè)置在互連受限區(qū)域的相對(duì)側(cè)上。所述多個(gè)裸片到裸片互連的第三部分可以將第二集成電路裸片互連到第二插入件。第二插入件的多個(gè)導(dǎo)電線路的一部分可以耦合到多個(gè)裸片到裸片互連的第二部分和多個(gè)裸片到裸片互連的第三部分以便將第一集成電路裸片互連到第二集成電路裸片。多個(gè)裸片到裸片互連的第二部分可以位于互連受限區(qū)域外部，并且多個(gè)導(dǎo)電線路的部分可以位于與互連受限區(qū)域相關(guān)聯(lián)的第二插入件的偏移區(qū)域外部。

第一插入件的第一邊緣和第二插入件的第二邊緣可以大體上并排放置以彼此鄰接。第一插入件可以包含第一偏移區(qū)域，所述第一偏移區(qū)域與互連受限區(qū)域相關(guān)聯(lián)且具有第一邊界，所述第一邊界與第一邊緣相連。第二插入件可以包含第二偏移區(qū)域，所述第二偏移區(qū)域與所述互連受限區(qū)域相關(guān)聯(lián)且具有第二邊界，所述第二邊界與第二邊緣相連。

互連受限區(qū)域可以不包含用于提供精細(xì)節(jié)距互連的金屬層和通孔層。

第一插入件可以使用第一掩模組形成，而第二插入件可以使用第二掩模組形成。第一掩模組可以大體上不同于第二掩模組，以至少部分響應(yīng)于第二集成電路裸片與第一集成電路裸片相比為用于不同類型的集成電路。

第一插入件的第一高度可以大體上與第二插入件的第二高度相同。第一插入件的第一寬度和第二插入件的第二寬度可以都小于或等于相同的平版印刷最大寬度。

第二集成電路裸片可以包含存儲(chǔ)器裸片的豎直堆疊和用于存儲(chǔ)器裸片的豎直堆疊的介面邏輯。

還描述了一種用于形成組件的方法。所述方法包含：使用多個(gè)部件將第一集成電路裸片互連到第一插入件和第二插入件；使用多個(gè)部件將第二集成電路裸片互連到第二插入件；以及經(jīng)由第一集成電路裸片和多個(gè)部件在第一插入件與第二插入件之間導(dǎo)引信號(hào)。

一些示例性方法還包含保留第一插入件和第二插入件中的每一個(gè)的一部分以提供互連受限區(qū)域。將第一集成電路裸片互連到第一插入件和第二插入件的多個(gè)部件可以位于第一插入件和第二插入件的互連受限區(qū)域外部。在第一插入件與第二插入件之間導(dǎo)引信號(hào)可以包含避開第一插入件和第二插入件的互連受限區(qū)域。

所述方法可以進(jìn)一步包含將第三集成電路裸片互連到第一插入件，其中第一集成電路裸片提供第二集成電路裸片與第三集成電路裸片之間的通信橋。

所述方法可以進(jìn)一步包含使用第一掩模組形成第一插入件以及使用第二掩模組形成第二插入件。第一掩模組可以大體上不同于第二掩模組，以至少部分響應(yīng)于第二集成電路裸片與第一集成電路裸片相比為用于不同類型的集成電路。

第一插入件的第一高度可以大體上與第二插入件的第二高度相同。第一插入件的第一寬度和第二插入件的第二寬度可以都小于或等于相同的平版印刷最大寬度。