[發明專利]具有彈簧和內部支承件的MEMS麥克風

有效

• 申請號: 201280066927.4
• 申請日: 2012-12-05
• 公開（公告）號: CN104137571B
• 公開（公告）日: 2017-10-31
• 發明（設計）人: S.巴拉坦;A.S.亨金;T.D.陳
• 申請（專利權）人: 應美盛股份有限公司
• 主分類號: H04R19/04
• 分類號: H04R19/04;H04R7/20;B81B3/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司72001
• 代理人: 楊美靈,湯春龍

1.一種MEMS麥克風，其包括：

具有多個開口的背板；

與所述背板間隔開且具有外周緣的膜片，所述膜片和背板形成可變電容器；

置于所述背板和所述膜片之間，從所述膜片物理地延伸且永久性地與所述背板連接的柱體，所述柱體在所述膜片的大致質心附近且位置為在所述膜片的兩個相對邊緣之間實質上等距；

將所述柱體緊固到所述膜片的第一組彈簧；以及

將所述外周緣緊固到固定區的第二組彈簧，所述固定區相對于所述背板不可移動。

2.如權利要求1定義的MEMS麥克風，其中所述柱體從所述膜片的所述質心延伸。

3.如權利要求1定義的MEMS麥克風，其中所述第一組彈簧的從所述柱體延伸并延伸到所述膜片。

4.如權利要求1定義的MEMS麥克風，其中所述第一組彈簧包括至少一個拉長彈簧，所述至少一個拉長彈簧形成所述膜片與所述柱體之間的空間。

5.如權利要求1定義的MEMS麥克風，還包括多個附加柱體，所述多個附加柱體在所述膜片與所述背板之間延伸且與所述膜片與所述背板均接觸。

6.如權利要求1定義的MEMS麥克風，其中所述柱體與所述背板和所述膜片其中之一或二者電絕緣。

7.如權利要求1定義的MEMS麥克風，其中所述膜片具有大于1毫米的直徑。

8.如權利要求1定義的MEMS麥克風，其中所述第二組彈簧包括至少一個拉長的彈簧。

9.一種MEMS麥克風，其包括：

具有多個開口的背板；

與所述背板間隔開且具有外周緣的膜片，所述膜片和背板形成可變電容器，所述膜片包括：

固定區，所述固定區相對于所述背板實質上不可響應于當所述可變電容器被供能時入射到所述膜片上的聲音信號而移動，以及

可移動區，所述可移動區相對于所述背板可響應入射聲音信號而移動；

置于所述背板和所述膜片之間，從所述膜片物理地延伸且永久性地與所述背板連接的柱體，所述柱體在所述膜片的大致質心附近且位置為在所述膜片的兩個相對邊緣之間實質上等距；

將所述柱體緊固到所述膜片的第一組彈簧；以及

將所述外周緣緊固到所述固定區的第二組彈簧。

10.如權利要求9定義的MEMS麥克風，其中所述第一組彈簧是拉長的。

11.如權利要求9定義的MEMS麥克風，其中所述柱體與所述膜片電絕緣。

12.如權利要求9定義的MEMS麥克風，其中所述第一組彈簧包括至少一個拉長彈簧，所述至少一個拉長彈簧形成所述膜片與所述柱體之間的空間。

13.如權利要求9定義的MEMS麥克風，其中所述第二組彈簧包括至少一個拉長的彈簧。

14.一種轉換聲音信號的方法，所述方法包括：

提供一種MEMS麥克風，其包括具有多個開口的背板，與所述背板間隔開且具有外周緣的膜片，所述膜片和背板形成可變電容器；以及柱體，所述柱體從所述膜片延伸且實質上永久性地與所述膜片連接，所述柱體垂直偏置以與所述背板分隔開且在所述膜片的大致質心附近以及位置為在所述膜片的兩個相對邊緣之間實質上等距；以及

對所述可變電容器供能以使所述柱體移動而與所述背板接觸并在被供能時保持與所述背板接觸，其中第一組彈簧將所述柱體緊固到所述膜片以及第二組彈簧將所述外周緣緊固到固定區，所述固定區相對于所述背板不可移動。

15.如權利要求14定義的方法，還包括

在所述膜片上接收聲音信號以使所述膜片相對于所述背板移動，所述可變電容器生成表示所述聲音信號的信號，在所述可變電容器生成所述信號時所述柱體保持與所述背板接觸。

16.如權利要求14定義的方法，還包括：將所述可變電容器解除供能以使所述柱體返回其與所述背板間隔開的偏置位置。