[發明專利]外觀檢查設備和外觀檢查方法有效
| 申請號： | 201280065630.6 | 申請日： | 2012-12-28 |
| 公開（公告）號： | CN104040324A | 公開（公告）日： | 2014-09-10 |
| 發明（設計）人： | 助川哲也 | 申請（專利權）人： | 株式會社普利司通 |
| 主分類號： | G01N21/95 | 分類號： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 劉新宇 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 外觀 檢查 設備 方法 | ||
1.一種外觀檢查設備，包括：
第一投光部件，用于將波長彼此不同的三種光中的具有中間波長的狹縫光照射至被檢體表面上；
第一攝像部件，用于通過接收所述狹縫光的反射光，來獲取被檢體表面的反射亮度數據；
第二投光部件，用于將除所述中間波長以外的波長不同的兩個光從不同方向以彼此重疊的方式照射至被檢體表面上的與所述狹縫光所照射的位置不同的位置；
第二攝像部件，用于通過接收來自所述兩個光彼此重疊的部分的反射光，來獲取被檢體表面的表面數據；
凹凸缺陷檢測部件，用于根據所述表面數據中所包含的所述兩個光的強度之間的比率，來檢測被檢體表面的凹凸的有無；
顏色異常缺陷檢測部件，用于通過將所述反射亮度數據和所述表面數據進行合成，來檢測被檢體表面的色調的變化；以及
光澤缺陷檢測部件，用于基于所述凹凸的有無和所述色調的變化，來檢測被檢體表面的光澤。
2.根據權利要求1所述的外觀檢查設備，其中，具有所述中間波長的所述狹縫光是相對于被檢體表面而傾斜照射的。
3.根據權利要求1或2所述的外觀檢查設備，其中，具有所述中間波長的所述狹縫光是由多個所述第一投光部件形成的。
4.一種外觀檢查方法，包括以下步驟：
通過將波長彼此不同的三種光中的具有中間波長的狹縫光照射至被攝體表面上、并且利用第一攝像部件接收所述狹縫光的反射光，來獲取被檢體表面的反射亮度數據；
通過將除所述中間波長以外的波長不同的兩個光從不同方向以彼此重疊的方式照射至被檢體表面上的與所述狹縫光所照射的位置不同的位置、并且利用第二攝像部件接收來自所述兩個光彼此重疊的部分的反射光，來獲取被檢體表面的表面數據；
根據所述第二攝像部件所獲得的所述表面數據中所包含的所述兩個光的強度之間的比率，來檢測被檢體表面的凹凸的有無；
通過將所述表面數據和所述第一攝像部件所獲得的所述反射亮度數據進行合成，來檢測被檢體表面的色調的變化；以及
基于所述凹凸的有無和所述色調的變化，來檢測被檢體表面的光澤。
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