[發明專利]微鏡

有效

• 申請號: 201280063913.7
• 申請日: 2012-10-23
• 公開（公告）號: CN104011583B
• 公開（公告）日: 2018-02-23
• 發明（設計）人: H·尼切;F·恩吉卡姆恩吉蒙齊;W·朔克;Z·萊什詹;J·穆霍;H·格魯茨埃克
• 申請（專利權）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08;G02B26/10;G02B7/182
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司72002
• 代理人: 郭毅

1.一種微鏡，其具有第一層(200)和第二層(300)，所述第一層具有第一主延伸層面，所述第二層具有第二主延伸層面，

其中，所述第一主延伸層面與所述第二主延伸層面相互平行地設置；

其中，所述第一層(200)與所述第二層(300)通過至少一個連接區域(23)局部地相互連接；

其中，在所述第一層(200)中構造有至少一個彈簧元件(202)；

其中，在所述第二層(300)中構造有可移動地懸掛的鏡板(305)；

其中，所述鏡板(305)在平行于所述主延伸層面的第一側(30)上具有鏡面并且在相對置的第二側(20)上通過所述連接區域(23)與所述彈簧元件(202)的固定部(210)連接，所述固定部構造在第一層中，且從垂直于第一和第二主延伸層面的方向看，與鏡板耦合的固定部的寬度大于彈簧元件在遠離固定部的位置處的寬度，以最小化鏡板處的力矩；

其中，所述彈簧元件(202)的一部分能夠相對于所述鏡板(305)移動地設置在所述鏡板(305)的第二側(20)上。

2.根據權利要求1所述的微鏡，其特征在于，所述連接區域(23)由所述第一層(200)與所述第二層(300)之間的中間層構成。

3.根據權利要求1所述的微鏡，其特征在于，所述連接區域(23)由所述第一層(200)的和/或所述第二層(300)的經結構化的部分區域構成。

4.根據以上權利要求中任一項所述的微鏡，其特征在于，所述固定部(210)設置在所述鏡板(305)的面重心下方。

5.根據權利要求1-3中任一項所述的微鏡，其特征在于，所述彈簧元件(202)具有垂直于所述第一主延伸層面的第一延展和平行于所述第一主延伸層面的第二延展，其中，所述第一延展以因數2大于所述第二延展。

6.根據權利要求1-3中任一項所述的微鏡，其特征在于，所述彈簧元件(202)的主要部分能夠相對于所述鏡板(305)移動地設置所述鏡板(305)的第二側(20)上。

7.根據權利要求1-3中任一項所述的微鏡，其特征在于，所述鏡板(305)能夠圍繞轉動軸線(50)運動并且所述彈簧元件(202)具有至少一個接板(202a，b，c)，所述至少一個接板平行于所述轉動軸線(50)設置。

8.根據權利要求7所述的微鏡，其特征在于，所述彈簧元件(202)具有至少三個接板(202a，b，c)，所述至少三個接板平行于所述轉動軸線(50)設置。

9.根據權利要求1-3、8中任一項所述的微鏡，其特征在于，所述微鏡具有至少兩個彈簧元件(202)，它們與一個共同的固定部(210)連接。

10.根據權利要求1-3、8中任一項所述的微鏡，其特征在于，所述微鏡具有至少兩個彈簧元件(202)，它們分別與自身的固定部(210)連接。

11.根據權利要求1-3、8中任一項所述的微鏡，其特征在于，在所述第一層(200)中構造有第一框(205)并且所述彈簧元件(202)與所述第一框連接。

12.根據權利要求11所述的微鏡，其特征在于，在所述第二層(300)中構造有第二框，所述第二框通過所述連接區域(23)與所述第一框(205)連接。

13.根據權利要求1所述的微鏡，其特征在于，所述至少一個連接區域是直接連接到第一層和第二層的中間層。

14.根據權利要求5所述的微鏡，其特征在于，所述第一延展以因數10大于所述第二延展。

15.一種2鏡系統，其具有第一鏡(500)并且至少具有根據以上權利要求中任一項所述的微鏡(400)，其中，所述2鏡系統是2D掃描儀，其中，所述第一鏡具有第一轉動軸線x并且所述微鏡(400)具有第二轉動軸線y，所述第二轉動軸線垂直于所述第一鏡的第一轉動軸線，其中，所述微鏡相對于所述第一鏡(500)如此設置，使得照射兩個鏡(400，500)的激光射束(100)能夠在兩個方向上偏轉。