[發明專利]被測量物特性測量裝置

有效

• 申請號: 201280063121.X
• 申請日: 2012-12-14
• 公開（公告）號: CN104024846A
• 公開（公告）日: 2014-09-03
• 發明（設計）人: 吉村直之;谷津田博美
• 申請（專利權）人: 日本無線株式會社
• 主分類號: G01N29/02
• 分類號: G01N29/02
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 余剛;吳孟秋

1.一種被測量物特性測量裝置，其特征在于，具備彈性表面波元件，所述彈性表明波元件具備：

梳形電極，其形成于壓電基板上的第一面，激勵彈性波，并接收基于所述彈性波的反射；

反射部，其具有第三面和第四面，所述第三面形成在所述梳形電極和與所述彈性波的傳播方向上的所述壓電基板的所述第一面正交的第二面之間、在所述第一面的法線方向上與所述第一面不同的位置，所述第四面在所述第一面的法線方向上垂直地形成，并連結所述第一面的端部和所述第三面；

反應場，其形成于所述梳形電極和所述反射部之間并負荷被測量物；以及

傳播部，其形成于所述反射部和所述第二面之間，

所述被測量物特性測量裝置將從所述梳形電極在所述反應場傳播、由所述反射部的所述第四面反射、并由所述梳形電極接收的所述彈性波中所含有的在所述壓電基板的表面傳播的彈性表面波從由所述壓電基板的所述第二面反射、并由所述梳形電極接收的所述彈性波中所含有的在所述壓電基板的內部傳播的體波中分離并提取出，基于提取出的所述彈性表面波求出所述被測量物的特性。

2.根據權利要求1所述的被測量物特性測量裝置，其特征在于，

從所述壓電基板的所述表面向所述壓電基板的內部的方向上的所述反射部所具有的壁的高度d是滿足下式的關系的值：

λ/2≦d≦H/2

λ：所述彈性波的波長

H：所述壓電基板的厚度。

3.根據權利要求1或2所述的被測量物特性測量裝置，其特征在于，

所述梳形電極具備N(N為1以上的整數)對多個電極指，

從所述反射部的所述第四面到所述壓電基板的所述端部為止的距離L2是滿足下式的關系的值：

L2≧N×λ/2

λ：所述彈性波的波長

N：構成所述梳形電極的多個電極指的對數。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的被測量物特性測量裝置，其特征在于，

所述反射部具有的所述第三面相對所述壓電基板的所述第一面平行。

5.根據權利要求1至3中任一項所述的被測量物特性測量裝置，其特征在于，

所述反射部具有的所述第三面的至少一部分是曲面。

6.根據權利要求1至3、5中任一項所述的被測量物特性測量裝置，其特征在于，

所述反射部具有的所述第三面的至少一部分是相對所述壓電基板的所述第一面的法線方向傾斜規定角度而形成的斜面。

7.根據權利要求1至6中任一項所述的被測量物特性測量裝置，其特征在于，

在所述反射部，在不從所述壓電基板的所述第一面突出的范圍內填充樹脂。

8.根據權利要求1至7中任一項所述的被測量物特性測量裝置，其特征在于，

在所述壓電基板上，沿相對所述彈性波的傳播方向垂直的方向形成多個所述梳形電極，并在各所述梳形電極和所述反射部的所述第三面之間，形成與所述各梳形電極對應的多個所述反應場。