[發(fā)明專利]帶有空化調(diào)節(jié)的液環(huán)真空泵

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201280061046.3
• 申請日: 2012-12-12
• 公開（公告）號: CN104066994A
• 公開（公告）日: 2014-09-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 海納·克斯特斯;馬蒂亞斯·塔姆;丹尼爾·許策
• 申請（專利權(quán)）人: 斯特林工業(yè)咨詢有限公司
• 主分類號: F04C19/00
• 分類號: F04C19/00;F04C28/28;F04C28/08
• 代理公司: 中原信達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11219
• 代理人: 蔡石蒙;車文

1.一種用于運(yùn)行液體環(huán)真空泵的方法，所述方法具有如下步驟：

a.記錄泵的測量的振動值，并且將測量到的振動值與預(yù)定的空化閾值(26)進(jìn)行比較；

b.記錄表示在被輸送的氣體內(nèi)的液體成分的測量值，且將該測量值與預(yù)定的極限值進(jìn)行比較；

c.使所述液體環(huán)真空泵的轉(zhuǎn)速進(jìn)行如下適配，

i.如果已超過所述預(yù)定的空化閾值(26)且液體成分低于所述預(yù)定的極限值，則降低轉(zhuǎn)速；

ii.如果已超過所述預(yù)定的空化閾值且液體成分高于所述預(yù)定的極限值，則升高轉(zhuǎn)速。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在步驟b中處理來自外部傳感器(27)的測量值。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于，在步驟b中處理在所述泵處記錄的測量值。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，在步驟b中處理測量到的振動值。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，在步驟b中考慮所述測量到的振動值的頻譜。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述空化閾值(26)涉及振動的幅度。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，如果空化不能通過使轉(zhuǎn)速適配消除，則讓空氣進(jìn)入到所述泵的工作空間內(nèi)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述泵在第一方法階段中以低于最小轉(zhuǎn)速的轉(zhuǎn)速運(yùn)行。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，所述泵在第二方法階段中首先在最大轉(zhuǎn)速下運(yùn)行，并且在發(fā)生空化之后降低轉(zhuǎn)速。

10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的方法，其特征在于，所述泵在第三方法階段中以剛剛高于所述最小轉(zhuǎn)速的轉(zhuǎn)速運(yùn)行。

11.一種具有泵殼體(20)的液環(huán)真空泵，其具有偏心地安裝在所述泵殼體(20)內(nèi)的葉輪(14)，并且具有用于記錄所述泵的振動的振動傳感器(22)，其特征在于，所述泵包括邏輯模塊(23)，所述邏輯模塊將所述振動傳感器(22)的測量值與預(yù)定的空化極限值(26)進(jìn)行比較，并且所述邏輯模塊將代表被輸送的氣體的液體成分的測量值與第一極限值進(jìn)行比較，此外，還設(shè)置控制單元，用以使所述泵的轉(zhuǎn)速進(jìn)行如下適配：

i.控制單元設(shè)計(jì)為：如果已超過所述預(yù)定的空化閾值且液體成分低于預(yù)定的極限值，則降低轉(zhuǎn)速；

ii.控制單元設(shè)計(jì)為：如果已超過所述預(yù)定的空化閾值且液體成分高于預(yù)定的極限值，則升高轉(zhuǎn)速。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的液環(huán)真空泵，其特征在于，所述泵殼體(20)具有從外側(cè)延伸到所述泵的內(nèi)部內(nèi)的通道，且所述通道設(shè)有閥(28)。

13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的液環(huán)真空泵，其特征在于，所述閥(28)在超過所述預(yù)定的空化閾值(26)后打開。

14.根據(jù)權(quán)利要求11至13中任一項(xiàng)所述的液環(huán)真空泵，其特征在于，所述泵具有整體構(gòu)造。

15.根據(jù)權(quán)利要求11至14中任一項(xiàng)所述的液環(huán)真空泵，其特征在于，所述振動傳感器(22)被整合到所述控制單元(21)內(nèi)。