[發(fā)明專利]微制造的原子磁力儀以及形成方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201280060708.5
• 申請(qǐng)日: 2012-12-07
• 公開（公告）號(hào): CN104335060A
• 公開（公告）日: 2015-02-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: W·弗蘭茨;P·林多弗;P·J·霍波;P·羅茲賓;A·J·韋斯特;B·J·R·舒勒爾
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 德克薩斯儀器股份有限公司
• 主分類號(hào): G01R33/02
• 分類號(hào): G01R33/02
• 代理公司: 北京紀(jì)凱知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11245
• 代理人: 趙蓉民

1.一種磁力儀，其包含：

蒸汽單元管芯，其具有襯底以及接觸所述襯底的蒸汽腔體，所述蒸汽腔體被氣密密封；以及

附連到所述蒸汽單元管芯的基底管芯，所述基底管芯具有襯底、附連到所述基底管芯的所述襯底的激光源以及附連到所述基底管芯的所述襯底的集成電路，所述集成電路電氣連接到所述激光源。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁力儀，其包含附連到所述蒸汽單元管芯的光電檢測(cè)管芯，所述光電檢測(cè)管芯具有襯底以及接觸所述光電檢測(cè)管芯的所述襯底的光電二極管，

所述激光源、所述蒸汽腔體和所述光電二極管被垂直地對(duì)齊。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的磁力儀，其進(jìn)一步包含所述蒸汽腔體內(nèi)的氣體，所述氣體包括堿金屬原子和緩沖原子。

4.根據(jù)權(quán)利要去2所述的磁力儀，其進(jìn)一步包含焊料區(qū)域，所述焊料區(qū)域?qū)⑺稣羝麊卧苄驹谖锢砩虾碗姎馍细竭B到所述光電檢測(cè)管芯。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的磁力儀，其中所述蒸汽單元管芯包括：

具有頂表面和底表面的下部透明結(jié)構(gòu)；

具有頂表面和底表面的蒸汽單元結(jié)構(gòu)，所述蒸汽單元結(jié)構(gòu)的所述底表面鍵合到所述下部透明結(jié)構(gòu)的所述頂表面，所述下部透明結(jié)構(gòu)的所述頂表面形成所述蒸汽腔體的底表面；以及

上部透明結(jié)構(gòu)，其具有被鍵合到所述蒸汽單元結(jié)構(gòu)的頂表面的底表面，所述上部透明結(jié)構(gòu)的所述底表面形成所述蒸汽腔體的頂表面。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的磁力儀，其進(jìn)一步包含附連到所述下部透明結(jié)構(gòu)的光學(xué)封裝件。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的磁力儀，其中所述下部透明結(jié)構(gòu)包括：

玻璃層；

四分之一波長(zhǎng)板材料層，其接觸所述玻璃層；以及

偏振器材料層，其接觸所述四分之一波長(zhǎng)板材料。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的磁力儀，其中所述下部透明結(jié)構(gòu)進(jìn)一步包括衰減器材料層，所述衰減器材料層接觸所述偏振器材料層。

9.一種堆疊晶圓，其包括：

下部透明晶圓，其具有頂表面和底表面；

蒸汽單元晶圓，其具有頂表面、底表面、襯底和接觸所述襯底的蒸汽腔體，所述蒸汽單元晶圓的所述底表面被鍵合到所述下部透明晶圓的所述頂表面，所述下部透明晶圓的所述頂表面形成所述蒸汽腔體的底表面；以及

上部透明晶圓，其具有被鍵合到所述蒸汽單元晶圓的所述頂表面的底表面，所述上部透明層的所述底表面形成所述蒸汽腔體的頂表面。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的堆疊晶圓，其進(jìn)一步包含附連到所述下部透明層的光學(xué)封裝件。

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的堆疊晶圓，其中所述下部透明層包括：

玻璃層；

四分之一波長(zhǎng)板材料層，其接觸所述玻璃層；以及

偏振器材料層，其接觸所述四分之一波長(zhǎng)板材料。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的堆疊晶圓，其中所述下部透明層進(jìn)一步包括接觸所述偏振器材料層的衰減器材料層。

13.一種形成磁力儀的方法，其包括：

形成完全延伸穿過蒸汽單元晶圓的開口；以及

將下部透明晶圓鍵合到所述蒸汽單元晶圓，所述下部透明晶圓具有頂表面，所述頂表面形成所述開口的底表面。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，其進(jìn)一步包含在所述開口中放置物質(zhì)，使該物質(zhì)接觸所述開口的所述底表面。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其進(jìn)一步包含將上部透明晶圓鍵合到所述蒸汽單元晶圓，以關(guān)閉所述開口并且形成具有蒸汽腔體的堆疊晶圓，所述上部透明晶圓具有底表面，所述底表面形成所述蒸汽腔體的頂表面。

16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其進(jìn)一步包含照射所述蒸汽腔體以將所述物質(zhì)分解為氣體，所述氣體具有堿金屬原子和勢(shì)壘原子。

17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其進(jìn)一步包含將光學(xué)封裝件附連到所述下部透明晶圓。

18.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其進(jìn)一步包含切割所述堆疊晶圓，以形成多個(gè)蒸汽單元結(jié)構(gòu)。