[發明專利]用于平版印刷加工的旋涂碳組合物

有效

• 申請號: 201280060464.0
• 申請日: 2012-10-10
• 公開（公告）號: CN103975418A
• 公開（公告）日: 2014-08-06
• 發明（設計）人: V·克里西那莫西;D·M·蘇利文;王玉寶;林沁;S·西蒙斯
• 申請（專利權）人: 布魯爾科技公司
• 主分類號: H01L21/20
• 分類號: H01L21/20;H01L21/027;H01L21/205
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 郭輝

1.一種形成微電子結構的方法，所述方法包括：

提供具有表面的基片；

任選的在所述基片表面上形成一種或更多種中間層，如果存在一種或更多種中間層，那么在所述基片表面上有最上的中間層；

如果存在中間層則把一種組合物施涂到所述最上的中間層，或者，如果不存在中間層則施涂至所述基片表面，所述組合物包含溶解或分散在溶劑體系中的聚酰胺酸；

加熱所述組合物來形成富碳層，所述富碳層是可溶于顯影劑的，且在約400℃的溫度下保持約10分鐘時具有小于約10％的重量損失。

2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，在所述基片表面上有至少一種中間層。

3.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法還包括在所述富碳層上形成成像層。

4.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法還包括在所述富碳層上形成至少一種額外的中間層。

5.如權利要求4所述的方法，其特征在于，所述方法還包括在所述至少一種額外的中間層上形成成像層。

6.如權利要求1所述的方法，其特征在于，以所述組合物中固體的重量作為100重量％為基準計，所述組合物包括大于約50重量％碳。

7.如權利要求1所述的方法，其特征在于，以所述組合物中所有固體的總重量作為100重量％為基準計，所述組合物包括小于約10重量％氫。

8.如權利要求1所述的方法，其特征在于，以所述層的重量作為100重量％為基準計，所述富碳層包括大于約50重量％碳。

9.如權利要求1所述的方法，其特征在于，以所述層的總重量作為100重量％為基準計，所述富碳層包括小于約10重量％氫。

10.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述聚酰胺酸包括具有下述通式的重復單體

和

其中和各自獨立地選自下組：脂肪族基團和芳基。

11.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述聚酰胺酸是二酸酐和二胺的共聚物，其中：

所述二酸酐選自下組：5-(2,5-二氧四氫呋喃)-3-甲基-3-環己烯-1,2-二羧酸酸酐、環丁烷四羧酸二酸酐、1,2,3,4-環戊烷四羧酸二酸酐、四氫呋喃-2,3,4,5-四羧酸二酸酐、4-(2,5-二氧四氫呋喃-3-基)-1,2,3,4-四氫萘-1,2-二羧酸酸酐、雙環(2,2,2)辛-7-烯-2,3,5,6-四羧酸二酸酐、3,3',4,4'-二苯甲酮四羧酸二酐、均苯四酸二酐、3,3',4,4'-聯苯四羧酸二酐、2,2'-雙-(3,4-二羧基苯基)六氟丙烷二酐、4,4'-氧雙鄰苯二甲酸酐、3,3',4,4'-二苯基砜四羧酸二酐、4,4'-雙酚A二酐、氫醌雙鄰苯二甲酸酸酐、3,4,9,10-苝-四羧酸二酐、1,4,5,8-萘四羧酸二酐和乙二醇二(偏苯三酸酐)；以及

所述二胺選自下組：1,3-二(氨基甲基)環己烷、1,4-二(氨基甲基)-環己烷、4,4'-亞甲基二(環己胺)、4,4'-亞甲基二(2-甲基環己基)胺、3-氨基芐胺、1,3-雙(3-氨基苯氧基)-苯、1,3-雙(4-氨基苯氧基)-苯、1,4-雙(4-氨基苯氧基)苯、4,4'-雙(4-氨基苯氧基)聯苯、2,2-雙[4-4-氨基苯氧基)-苯基]六氟丙烷、雙[4-(4-氨基苯氧基)-苯基]丙烷、雙[4-(4-氨基苯氧基)苯基]砜、雙[4-(4-氨基苯氧基)苯基]砜、1,1'-雙(4-氨基苯基)-環己烷、9,9'-雙(4-氨基苯基)-芴、2,2'-雙(4-氨基苯基)六氟丙烷、雙(2-氨基苯基)硫醚、雙(4-氨基苯基)硫醚、雙(3-氨基苯基)砜、雙(4-氨基苯基)砜、4,4'-二氨基-3,3'-二甲基二苯基甲烷、3,4'-二氨基二苯基醚、4,4'-二氨基二苯基醚、3,3'-二氨基二苯基甲烷、3,4'-二氨基二苯基甲烷、2,7-二氨基芴、1,5-二氨基萘、4,4'-二氨基八氟聯苯、2,5-二甲基-1,4-苯二胺、4,4'-乙烯雙苯胺、1,3-苯二胺、1,4-苯二胺、2,3,5,6-四甲基-1,4-苯二胺、間-苯二甲胺和對-苯二甲胺。

12.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述聚酰胺酸的重均分子量小于約15,000道爾頓。

13.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述組合物還包括交聯劑。