[發(fā)明專利]鎖定減少的基于MEMS的環(huán)形激光陀螺儀

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201280058124.4
• 申請日: 2012-09-28
• 公開（公告）號: CN103959013A
• 公開（公告）日: 2014-07-30
• 發(fā)明（設計）人: D·A·M·科哈利爾;K·H·莫哈默德阿梅德;A·S·舍布爾薩勒姆;M·阿拉耶德;F·阿爾杰克赫達布
• 申請（專利權）人: 斯維爾系統(tǒng);阿卜杜勒阿齊茲國王科技城
• 主分類號: G01C19/66
• 分類號: G01C19/66;G01C19/70
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 王茂華

1.一種環(huán)形激光陀螺儀，包括：

主動增益介質，用于產生第一和第二光束；

閉合光路，所述第一和第二光束通過所述閉合光路反向傳播；

第一和第二可動鏡，在所述閉合光路內；和

微機電系統(tǒng)(MEMS)致動器，被耦合到所述第一和第二可動鏡以引起其各自的位移，所述位移引起所述第一和第二光束相對于彼此的相位調制，從而對應于虛擬轉動在所述第一和第二光束之間建立光程差，以減少所述鎖定。

2.根據(jù)權利要求1所述的環(huán)形激光陀螺儀，其中所述閉合光路具有幾何配置。

3.根據(jù)權利要求2所述的環(huán)形激光陀螺儀，其中所述幾何配置為圓形配置、三角形配置、矩形配置或另一種幾何學閉環(huán)配置。

4.根據(jù)權利要求1所述的環(huán)形激光陀螺儀，其中所述主動增益介質包括半導體光學放大器。

5.根據(jù)權利要求1所述的環(huán)形激光陀螺儀，其中所述主動增益介質包括光纖放大器。

6.根據(jù)權利要求1所述的環(huán)形激光陀螺儀，其中所述第一鏡和所述第二鏡的至少一個為金屬鏡。

7.根據(jù)權利要求1所述的環(huán)形激光陀螺儀，其中所述第一鏡和所述第二鏡的至少一個為電介質鏡。

8.根據(jù)權利要求1所述的環(huán)形激光陀螺儀，還包括：

襯底，其中所述第一和第二鏡以及所述MEMS致動器通過光刻對準工藝自對準地在所述襯底上單片制造。

9.根據(jù)權利要求8所述的環(huán)形激光陀螺儀，其中所述主動增益介質被進一步制造在所述襯底上。

10.根據(jù)權利要求8所述的環(huán)形激光陀螺儀，還包括：

附加襯底，其中所述主動增益介質被制造在所述附加襯底上。

11.根據(jù)權利要求10所述的環(huán)形激光陀螺儀，其中所述閉合光路包括被耦合在所述襯底和所述附加襯底之間的光纖。

12.根據(jù)權利要求1所述的環(huán)形激光陀螺儀，其中所述MEMS致動器包括：

第一MEMS致動器，被耦合到所述第一鏡以引起其第一位移；和

第二者MEMS致動器，被耦合到所述第二鏡以引起其第二位移。

13.根據(jù)權利要求1所述的環(huán)形激光陀螺儀，其中所述第一鏡和所述第二鏡被以其之間的任意相移同時移位。

14.根據(jù)權利要求1所述的環(huán)形激光陀螺儀，其中所述第一鏡和第二鏡在相反方向上移位。

15.根據(jù)權利要求1所述的環(huán)形激光陀螺儀，其中所述閉合光路包括至少一個附加鏡，以沿著所述閉合光路引導所述第一和第二光束。

16.根據(jù)權利要求1所述的環(huán)形激光陀螺儀，其中所述第一鏡和第二鏡為立方角鏡。

17.根據(jù)權利要求1所述的環(huán)形激光陀螺儀，還包括：

檢測器，被耦合到所述閉合光路，以檢測由反向傳播通過所述閉合光路的所述第一和第二光束引起的差拍圖案；和

處理器，被耦合到所述檢測器，以基于所述差拍圖案確定角轉動速度。

18.根據(jù)權利要求17所述的環(huán)形激光陀螺儀，還包括：

在所述閉合光路內的附加鏡，所述附加鏡至少部分透射，以引導所述第一和第二光束朝向所述檢測器。

19.根據(jù)權利要求17所述的環(huán)形激光陀螺儀，還包括：

在所述閉合光路內的耦合器，用于將所述第一和第二光束分開，以便所述第一光束在所述耦合器中的第一方向上傳播而所述第二光束在所述耦合器中的第二方向上傳播，所述耦合器還用于在所述檢測器處重新結合所述第一和所述第二光束，以在其上產生干涉圖案。

20.根據(jù)權利要求19所述的環(huán)形激光陀螺儀，其中所述耦合器包括棱鏡耦合器或分束器，其被單片制造在具有所述第一和第二可動鏡和所述MEMS致動器的襯底上，并且通過光刻對準工藝與所述第一和第二可動鏡和所述MEMS致動器自對準。