[發(fā)明專利]電子發(fā)射冷陰極器件

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201280057923.X
• 申請日: 2012-11-26
• 公開（公告）號: CN104246960B
• 公開（公告）日: 2016-11-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 賈科莫·烏利塞;弗朗西斯卡·布魯內(nèi)蒂;阿爾多·迪卡洛;費(fèi)迪南多·里奇;菲利波·杰瑪;安娜·瑪麗亞·菲奧雷洛;馬西米利亞諾·迪斯彭扎;羅伯塔·布蒂廖內(nèi)
• 申請（專利權(quán)）人: 塞萊斯ES股份有限公司
• 主分類號: H01J1/304
• 分類號: H01J1/304;H01J9/02;H01J21/10;H01J21/20;H01J19/24;H01J19/38;H01J29/04
• 代理公司: 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240
• 代理人: 余剛;吳孟秋

1.一種電子發(fā)射冷陰極器件(11,21)，包括陰電極(14)，所述陰電極(14)位于陰極平面上并且在有源區(qū)(11a)中包括陰極指狀結(jié)構(gòu)(14a)，所述陰極指狀結(jié)構(gòu)(14a)包括一個或多個陰極直指狀端子(14b)，每個所述陰極直指狀端子(14b)具有平行于第一參考方向(z)的相應(yīng)主延伸方向；

所述器件(11,21)進(jìn)一步包括針對每個陰極直指狀端子(14b)的一個或多個相應(yīng)電子發(fā)射器(14c)，所述電子發(fā)射器(14c)形成在所述陰極直指狀端子(14b)上并且與所述陰極直指狀端子(14b)歐姆接觸；其中，每個電子發(fā)射器(14c)具有垂直于所述陰極平面的相應(yīng)主延伸方向；

所述器件(11,21)進(jìn)一步包括柵電極(15)，所述柵電極(15)位于平行于所述陰極平面并且與所述陰極平面間隔開的柵極平面上，所述柵電極(15)不與所述陰電極(14)重疊并且在所述有源區(qū)(11a)中包括柵極指狀結(jié)構(gòu)(15a)，所述柵極指狀結(jié)構(gòu)(15a)包括兩個或更多個柵極直指狀端子(15b)，每個所述柵極直指狀端子(15b)具有平行于所述第一參考方向(z)的相應(yīng)主延伸方向；其中，所述柵極直指狀端子(15b)與所述陰極直指狀端子(14b)交錯并且被設(shè)計為在使用中調(diào)制由所述電子發(fā)射器(14c)發(fā)射的電子束。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的器件，其中，所述陰電極(14)進(jìn)一步包括陰極導(dǎo)線(14e)，所述陰極導(dǎo)線(14e)連接至所述陰極指狀結(jié)構(gòu)(14a)、具有主延伸方向平行于所述第一參考方向(z)的直帶狀形狀并且相對于所述陰極的平行于所述第一參考方向(z)的對稱軸線是對稱的；

其中，所述陰極指狀結(jié)構(gòu)(14a)相對于所述陰極的所述對稱軸線是對稱的；

其中，所述柵電極(15)進(jìn)一步包括柵極導(dǎo)線(15d)，所述柵極導(dǎo)線(15d)連接至所述柵極指狀結(jié)構(gòu)(15a)、具有主延伸方向平行于所述第一參考方向(z)的直帶狀形狀并且相對于所述柵極的平行于所述第一參考方向(z)的對稱軸線是對稱的；

并且其中，所述柵極指狀結(jié)構(gòu)(15a)相對于所述柵極的所述對稱軸線是對稱的。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的器件，其中，所述陰電極(14)進(jìn)一步包括陰極主干線(14d)，所述陰極主干線(14d)：

·具有主延伸方向平行于第二參考方向(x)的直帶狀形狀，所述第二參考方向(x)與所述第一參考方向(z)正交；

·相對于所述陰極的所述對稱軸線是對稱的；并且

·被插入在所述陰極指狀結(jié)構(gòu)(14a)與所述陰極導(dǎo)線(14e)之間，從而將所述陰極導(dǎo)線(14e)連接至所述陰極指狀結(jié)構(gòu)(14a)；

并且其中，所述柵電極(15)進(jìn)一步包括柵極主干線(15c)，所述柵極主干線(15c)：

·具有主延伸方向平行于所述第二參考方向(x)的直帶狀形狀；

·相對于所述柵極的所述對稱軸線是對稱的；并且

·被插入在所述柵極指狀結(jié)構(gòu)(15a)與所述柵極導(dǎo)線(15d)之間，從而將所述柵極導(dǎo)線(15d)連接至所述柵極指狀結(jié)構(gòu)(15a)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的器件，其中：

·所述陰極指狀結(jié)構(gòu)(14a)從所述陰極主干線(14d)橫向延伸；

·所述陰極導(dǎo)線(14e)在相對于所述陰極指狀結(jié)構(gòu)(14a)所延伸的一側(cè)相反的一側(cè)上從所述陰極主干線(14d)橫向延伸；

·所述柵極指狀結(jié)構(gòu)(15a)從所述柵極主干線(15c)橫向延伸；并且

·所述柵極導(dǎo)線(15d)在相對于所述柵極指狀結(jié)構(gòu)(15a)所延伸的一側(cè)相反的一側(cè)上從所述柵極主干線(15c)橫向延伸。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的器件，其中：

·所述陰極指狀結(jié)構(gòu)(14a)直接從所述陰極導(dǎo)線延伸，從而直接連接至所述陰極導(dǎo)線；并且

·所述柵極指狀結(jié)構(gòu)(15a)直接從所述柵極導(dǎo)線延伸，從而直接連接至所述柵極導(dǎo)線。

6.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的器件，其中，對于每個陰極直指狀端子(14b)，所述相應(yīng)電子發(fā)射器(14c)相對于所述陰極直指狀端子(14b)位于中間。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的器件，其中，每個陰極直指狀端子(14b)包含在兩個柵極直指狀端子(15b)之間；并且其中，對于每個陰極直指狀端子(14b)，所述相應(yīng)電子發(fā)射器(14c)相對于兩個相鄰的所述柵極直指狀端子(15b)也位于中間。