[發(fā)明專利]氣體采集裝置以及檢查裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201280054527.1
• 申請日: 2012-09-04
• 公開（公告）號: CN103998914A
• 公開（公告）日: 2014-08-20
• 發(fā)明（設計）人: 柏拉卡斯·斯里達爾·穆爾蒂;今井彰
• 申請（專利權(quán)）人: ATONARP株式會社
• 主分類號: G01N1/22
• 分類號: G01N1/22
• 代理公司: 北京林達劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

1.一種氣體采集裝置，具備：

空氣供給單元，其形成空氣幕，來覆蓋包含檢查的對象物的區(qū)域，形成與外界隔離的空間；

采樣單元，其采集上述隔離的空間內(nèi)的氣體；以及

擴散氣體供給單元，其向上述隔離的空間內(nèi)供給至少與上述采樣單元的采集量相等的量的擴散用的氣體，

其中，上述采樣單元包括配置在上述隔離的空間內(nèi)的立體地不同的位置的多個采樣噴嘴。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體采集裝置，其特征在于，

還具備第一驅(qū)動單元，該第一驅(qū)動單元使上述多個采樣噴嘴分別在上述隔離的空間內(nèi)隨機地或依照規(guī)定的算法移動。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的氣體采集裝置，其特征在于，

還具備第一流量控制單元，該第一流量控制單元隨機地或依照規(guī)定的算法控制上述多個采樣噴嘴各自的采集量。

4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中的任一項所述的氣體采集裝置，其特征在于，

上述空氣供給單元包括空氣吹出口，該空氣吹出口在輸送上述對象物的傳送帶上形成上述隔離的空間，

上述擴散氣體供給單元包括擴散氣體吹出口，該擴散氣體吹出口從上述傳送帶的下方或沿著傳送帶的輸送面向上述隔離的空間內(nèi)供給上述擴散用的氣體。

5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中的任一項所述的氣體采集裝置，其特征在于，

還具備溫度控制單元，該溫度控制單元直接或間接地對上述隔離的空間內(nèi)的上述對象物進行加熱。

6.一種檢查裝置，具備：

根據(jù)權(quán)利要求1～5中的任一項所述的氣體采集裝置；

傳感器，其檢測上述采樣單元所采集到的氣體中含有的化學物質(zhì)的至少一種；以及

配管系統(tǒng)，其將上述氣體采集裝置與上述傳感器相連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的檢查裝置，其特征在于，

還具備加熱器單元，該加熱器單元對上述配管系統(tǒng)進行加熱。

8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的檢查裝置，其特征在于，

還具備混合單元，該混合單元向上述傳感器供給將載氣和上述采樣單元所采集到的氣體混合所得的混合氣體。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的檢查裝置，其特征在于，

還具備濃度控制單元，該濃度控制單元將上述混合氣體的一部分作為上述載氣進行反饋來控制濃度。

10.根據(jù)權(quán)利要求6～9中的任一項所述的檢查裝置，其特征在于，

還具備第一反饋控制單元，該第一反饋控制單元根據(jù)上述傳感器的檢測結(jié)果改變上述多個采樣噴嘴各自的位置或動作。

11.根據(jù)權(quán)利要求6～10中的任一項所述的檢查裝置，其特征在于，

還具備第二反饋控制單元，該第二反饋控制單元根據(jù)上述傳感器的檢測結(jié)果改變上述多個采樣噴嘴各自的采集量。

12.根據(jù)權(quán)利要求6～11中的任一項所述的檢查裝置，其特征在于，

上述傳感器是離子遷移率傳感器。

13.一種檢查裝置的控制方法，檢查對象物的狀態(tài)，

上述檢查裝置具備：

采樣單元，其采集通過覆蓋上述對象物的空氣幕與外界隔離的空間內(nèi)的氣體；以及

傳感器，其檢測上述采樣單元所采集到的氣體中含有的化學物質(zhì)的至少一種，

其中，上述采樣單元包括配置在上述隔離的空間內(nèi)的不同位置的多個采樣噴嘴，

該控制方法包括改變上述多個采樣噴嘴各自的包含采集量、位置以及動作中的至少一個的采集條件的步驟。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的控制方法，其特征在于，

改變上述采集條件的步驟包括：隨機地或依照規(guī)定的算法改變上述多個采樣噴嘴的采集條件。

15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的控制方法，其特征在于，

改變上述采集條件的步驟包括：根據(jù)上述傳感器的檢測結(jié)果改變上述多個采樣噴嘴的采集條件。