[發明專利]光學標尺、光學標尺的制造方法以及光學式編碼器

有效

• 申請號: 201280053932.1
• 申請日: 2012-10-31
• 公開（公告）號: CN104024804B
• 公開（公告）日: 2016-10-12
• 發明（設計）人: 小口壽明;笹尾邦彥;杉田澄雄
• 申請（專利權）人: 日本精工株式會社
• 主分類號: G01D5/347
• 分類號: G01D5/347
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

1.一種光學標尺，透射或反射光源的光源光，該光學標尺的特征在于，

以不交叉且切線方向連續變化的方式配置了多個金屬細線。

2.根據權利要求1所述的光學標尺，其特征在于，

在相鄰的上述多個金屬細線的間隔相等的范圍內上述多個金屬細線的上述切線方向為相同的朝向，在上述間隔不同的范圍內上述多個金屬細線的上述切線方向的朝向不同。

3.根據權利要求1或2所述的光學標尺，其特征在于，

上述切線方向的變化是周期性的。

4.根據權利要求1～3中的任一項所述的光學標尺，其特征在于，

具備覆蓋上述金屬細線的保護層或基板。

5.根據權利要求1～4中的任一項所述的光學標尺，其特征在于，

在透射光或反射光入射的厚度方向上層疊有多個上述金屬細線。

6.一種光學式編碼器，其特征在于，包括：

光學標尺，其以不交叉且切線方向連續變化的方式配置了多個金屬細線；

光源；

光學傳感器，其包括第一偏振層、第二偏振層、第一受光部以及第二受光部，其中，上述第一偏振層在第一偏振方向上分離在上述光學標尺透射或反射上述光源的光源光而入射的入射光，上述第二偏振層在第二偏振方向上分離上述入射光，上述第一受光部接收由上述第一偏振層分離出的第一分離光，上述第二受光部接收由上述第二偏振層分離出的第二分離光；以及

運算單元，其根據上述第一分離光的光強度和上述第二分離光的光強度，來計算上述光學標尺與上述光學傳感器的相對的移動量。

7.根據權利要求6所述的光學式編碼器，其特征在于，

上述光學標尺在相鄰的上述多個金屬細線的間隔相等的范圍內上述多個金屬細線的上述切線方向為相同的朝向，在上述間隔不同的范圍內上述多個金屬細線的上述切線方向的朝向不同。

8.根據權利要求7所述的光學式編碼器，其特征在于，

上述光學傳感器將上述切線方向處于相同的朝向的多個上述金屬細線的一部分設為感測范圍，接收使上述光源光在上述感測范圍發生透射或反射而入射的入射光。

9.根據權利要求6～8中的任一項所述的光學式編碼器，其特征在于，

上述切線方向周期性地變化。

10.根據權利要求9所述的光學式編碼器，其特征在于，

上述光學標尺具備第一柵格圖案和第二柵格圖案，該第一柵格圖案具有上述切線方向周期性地變化的第一周期，該第二柵格圖案具有上述切線方向周期性地變化的第二周期，該第二周期的每旋轉一周的周期個數與上述第一周期的每旋轉一周的周期個數不同。

11.根據權利要求10所述的光學式編碼器，其特征在于，

上述第一周期的每旋轉一周的周期個數和上述第二周期的每旋轉一周的周期個數為互質數。

12.根據權利要求6～11中的任一項所述的光學式編碼器，其特征在于，

上述光學傳感器將上述第一受光部和上述第二受光部彼此隔開固定距離地交替地進行配置。

13.根據權利要求6～12中的任一項所述的光學式編碼器，其特征在于，

具備覆蓋上述金屬細線的保護層或基板。

14.根據權利要求6～13中的任一項所述的光學式編碼器，其特征在于，

在透射光或反射光入射的厚度方向上層疊有多個上述金屬細線。

15.一種光學標尺的制造方法，包括以下工序：準備基板，在上述基板的抗蝕層形成凹凸的圖案；以及沿著上述凹凸的圖案形成金屬，該光學標尺的制造方法的特征在于，

上述金屬以不交叉且切線方向連續變化的方式作為多個金屬細線配置在上述基板的表面上。

16.根據權利要求15所述的光學標尺的制造方法，其特征在于，

在相鄰的上述多個金屬細線的間隔相等的范圍內上述多個金屬細線的上述切線方向為相同的朝向，在上述間隔不同的范圍內上述多個金屬細線的上述切線方向的朝向不同。

17.根據權利要求15或16所述的光學標尺的制造方法，其特征在于，

在上述基板的抗蝕層形成凹凸的圖案的工序中，將模具按壓在上述抗蝕層上，來轉印模具的凹凸。

18.根據權利要求15～17中的任一項所述的光學標尺的制造方法，其特征在于，

在沿著上述凹凸的圖案形成金屬的工序中，通過電鍍或蒸鍍形成上述金屬細線。