[發(fā)明專利]沿著導(dǎo)電線的側(cè)壁間隔物

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201280053890.1
• 申請(qǐng)日: 2012-10-17
• 公開（公告）號(hào): CN104024143A
• 公開（公告）日: 2014-09-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 喬瓦·何;鐘帆
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 高通MEMS科技公司
• 主分類號(hào): B81B3/00
• 分類號(hào): B81B3/00;G02B6/00
• 代理公司: 北京律盟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287
• 代理人: 宋獻(xiàn)濤

1.一種包括機(jī)電系統(tǒng)裝置的設(shè)備，所述機(jī)電系統(tǒng)裝置包含：

襯底；

導(dǎo)電線，其在所述襯底上方；

可移動(dòng)層，其比所述導(dǎo)電線更遠(yuǎn)離所述襯底；及

側(cè)壁間隔物，其沿著所述導(dǎo)電線的至少一個(gè)側(cè)壁，其中所述側(cè)壁間隔物為斜面的使得所述側(cè)壁間隔物具有遠(yuǎn)離所述襯底減小的寬度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述機(jī)電系統(tǒng)裝置進(jìn)一步包含在所述可移動(dòng)層與所述導(dǎo)電線之間的氣隙。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其中所述機(jī)電系統(tǒng)裝置包含有源干涉式調(diào)制器像素，其中小于約1.5％的光在當(dāng)所述可移動(dòng)層在所述氣隙上塌縮時(shí)發(fā)生的暗狀態(tài)中被反射。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述導(dǎo)電線經(jīng)配置以將電信號(hào)路由到所述機(jī)電系統(tǒng)裝置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述導(dǎo)電線為干涉式黑色掩模的部分。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述側(cè)壁間隔物的所述寬度遠(yuǎn)離所述襯底線性地減小。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述機(jī)電系統(tǒng)裝置進(jìn)一步包含定位于所述導(dǎo)電線上方的支撐結(jié)構(gòu)，所述支撐結(jié)構(gòu)支撐所述可移動(dòng)層。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述可移動(dòng)層成形為自支撐的。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述機(jī)電系統(tǒng)裝置進(jìn)一步包含經(jīng)配置以防止背板接觸所述可移動(dòng)層的支座。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述機(jī)電系統(tǒng)裝置進(jìn)一步包含形成于所述側(cè)壁間隔物上方的緩沖物，其中所述緩沖物及所述側(cè)壁間隔物各自包含氧化硅、氧氮化硅及氮化硅中的一或多者。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述可移動(dòng)層包含經(jīng)配置以在間隙上塌縮的反射表面。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其進(jìn)一步包含具有沿著至少一個(gè)側(cè)壁的其它側(cè)壁間隔物的其它導(dǎo)電線，所述其它導(dǎo)電線從所述導(dǎo)電線垂直地位移。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的設(shè)備，其中所述其它導(dǎo)電線包含運(yùn)送線。

14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其進(jìn)一步包含：

顯示器，其包含所述機(jī)電系統(tǒng)裝置的陣列；

處理器，其經(jīng)配置以與所述顯示器通信，所述處理器經(jīng)配置以處理圖像數(shù)據(jù)；及

存儲(chǔ)器裝置，其經(jīng)配置以與所述處理器通信。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的設(shè)備，其進(jìn)一步包含：

驅(qū)動(dòng)器電路，其經(jīng)配置以將至少一個(gè)信號(hào)發(fā)送到所述顯示器；及

控制器，其經(jīng)配置以將所述圖像數(shù)據(jù)的至少一部分發(fā)送到所述驅(qū)動(dòng)器電路。

16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的設(shè)備，其進(jìn)一步包含：

圖像源模塊，其經(jīng)配置以將所述圖像數(shù)據(jù)發(fā)送到所述處理器。

17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的設(shè)備，其中所述圖像源模塊包含接收器、收發(fā)器及發(fā)射器中的至少一者。

18.根據(jù)權(quán)利要求14所述的設(shè)備，其進(jìn)一步包含：

輸入裝置，其經(jīng)配置以接收輸入數(shù)據(jù)并將所述輸入數(shù)據(jù)傳遞到所述處理器。

19.一種設(shè)備，其包括：

機(jī)電系統(tǒng)裝置，其包含：

導(dǎo)電線，其形成于襯底上方；

可移動(dòng)層，其懸置于所述襯底上面，所述可移動(dòng)層具有在所述導(dǎo)電線上方的第一區(qū)域及不在所述導(dǎo)電線上方的第二區(qū)域，其中所述第一區(qū)域鄰近于所述第二區(qū)域；及

用于使所述可移動(dòng)層中所述第一區(qū)域與所述第二區(qū)域之間的過渡平滑的裝置，所述用于平滑的裝置沿著所述導(dǎo)電線的邊緣而定位。

20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的設(shè)備，其中所述可移動(dòng)層包含經(jīng)配置以使所述可移動(dòng)層下方的間隙塌縮的鏡層。

21.根據(jù)權(quán)利要求19所述的設(shè)備，其中所述用于平滑的裝置避免所述可移動(dòng)層中所述第一區(qū)域與所述第二區(qū)域之間的所述過渡中的扭結(jié)。

22.根據(jù)權(quán)利要求19所述的設(shè)備，其中所述用于平滑的裝置在所述可移動(dòng)層中從所述第二區(qū)域到所述第一區(qū)域的所述過渡中形成斜面，其中所述可移動(dòng)層與所述襯底之間的距離在從所述第二區(qū)域到所述第一區(qū)域的所述過渡中增加。