[發明專利]管狀靶

有效

• 申請號: 201280051077.0
• 申請日: 2012-10-17
• 公開（公告）號: CN104040019A
• 公開（公告）日: 2014-09-10
• 發明（設計）人: 彼得·阿本廷;克里斯汀·林克;安德烈·德龍豪弗;哈特穆特·沃爾夫;托比亞斯·威爾;沃爾夫岡·科克
• 申請（專利權）人: 普蘭西歐洲股份公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;H01J37/34
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 張天舒;張杰

1.一種由耐火金屬或耐火金屬合金構成的管狀靶（100），所述耐火金屬合金具有≥50原子%的耐火金屬含量，所述管狀靶包含至少在若干區域中具有相對密度RDx的至少一管狀區段X（200、201）及至少在若干區域中具有相對密度RDy的至少一管狀區段Y（300），其中至少一管狀區段X（200、201）至少在若干區域中具有大于管狀區段Y（300）的至少若干區域的外徑的外徑，其特征在于

RDy-RDxRDy≥0.001.]]>

2.根據權利要求1所述的管狀靶，其特征在于至少一管狀區段X（200、201）至少在若干區域中具有外徑ADx，且至少一管狀區段Y（300）至少在若干區域中具有外徑ADy，其中

ADx-ADyADx≥0.01.]]>

3.根據權利要求2所述的管狀靶，其特征在于

4.根據前述權利要求的任意一項所述的管狀靶，其特征在于管的末端至少在若干區域中形成為管狀區段X（200、201），且至少一管狀區段Y（300）配置于所述等管狀區段X（200、201）之間，所述管狀區段Y在比所述管狀區段X（200、201）的軸向延伸的總和更長的區域上在軸向方向上延伸。

5.根據前述權利要求的任意一項所述的管狀靶，其特征在于區段Z（400、401）至少配置于管狀區段X（200、201）與管狀區段Y（300）的間，其中在所述區段Z（400、401）中的外徑自ADx改變至ADy。

6.根據前述權利要求的任意一項所述的管狀靶，其特征在于至少一管狀區段X（200、201）為圓錐形。

7.根據前述權利要求的任意一項所述的管狀靶，其特征在于所述管狀靶系借由粉末冶金生產。

8.根據前述權利要求的任意一項所述的管狀靶，其特征在于至少一管狀區段X（200、201）具有精細且均一的孔隙結構。

9.根據前述權利要求的任意一項所述的管狀靶，其特征在于所述管狀靶由來自由鉬、鉬合金、鎢、鎢合金、鉻及鉻合金組成的群組的材料組成。

10.根據前述權利要求的任意一項所述的管狀靶，其特征在于所有管狀區段X（200、201）及所有管狀區段Y（300）皆具有相同的材料組成。

11.根據前述權利要求的任意一項所述的管狀靶，其特征在于所述管狀靶以單件形式制造。

12.根據前述權利要求的任意一項所述的管狀靶，其特征在于至少一管狀區段Y（300）具有99%至100%的相對密度。

13.根據前述權利要求的任意一項所述的管狀靶，其特征在于至少一管狀區段X（200、201）至少在若干區域中在50mm的軸向方向長度上具有平均密度RDxm，且至少一管狀區段Y（300）至少在若干區域中在50mm的軸向方向長度上具有平均相對密度RDym，其中

RDy-RDxRDy≥0.001.]]>

14.根據權利要求13所述的管狀靶，其特征在于群組及的至少其中一個比率≥0.01。