[發(fā)明專利]分光傳感器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201280049230.6
• 申請日: 2012-09-10
• 公開（公告）號: CN103842784A
• 公開（公告）日: 2014-06-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 柴山勝己;笠原隆
• 申請（專利權(quán)）人: 浜松光子學(xué)株式會社
• 主分類號: G01J3/26
• 分類號: G01J3/26;G01J3/36
• 代理公司: 北京尚誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及分光傳感器。

背景技術(shù)

作為現(xiàn)有的分光傳感器，已知有具備對應(yīng)于光的入射位置而使規(guī)定的波長的光透過的干涉濾光（filter）部、使入射到干涉濾光部的光透過的光透過基板、檢測透過了干涉濾光部的光的光檢測基板的分光傳感器。在此，干涉濾光部有時(shí)通過經(jīng)由空腔層（cavity?layer）而使一對鏡層相對而被構(gòu)成為法布里-珀羅型（例如參照專利文獻(xiàn)1、2）。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2006-58301號公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本特表平2-502490號公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明所要解決的問題

然而，在以上所述那樣的分光傳感器中，因?yàn)榭涨粚邮菢O為精致的層（例如由樹脂材料構(gòu)成的數(shù)百nm以下的層），所以如果外力作用于空腔層的話，則會有干涉濾光部的特性發(fā)生劣化的擔(dān)憂。

因此，本發(fā)明的目的在于提供一種高可靠性的分光傳感器。

解決問題的技術(shù)手段

本發(fā)明的一個觀點(diǎn)的分光傳感器具備：具有空腔層以及經(jīng)由空腔層而相對的第1以及第2鏡層并且對應(yīng)于入射位置選擇性地使規(guī)定的波長范圍的光透過的干涉濾光部、被配置于第1鏡層側(cè)并且使入射到干涉濾光部的光透過的光透過基板、被配置于第2鏡層側(cè)并且檢測透過了干涉濾光部的光的光檢測基板；空腔層具有：被第1以及第2鏡層夾持的濾光區(qū)域、在從光透過基板與光檢測基板相對的方向看的情況下從濾光區(qū)域取得規(guī)定的距離來包圍濾光區(qū)域的環(huán)狀的包圍區(qū)域、連接濾光區(qū)域的光檢測基板側(cè)的端部和包圍區(qū)域的光檢測基板側(cè)的端部的環(huán)狀的連接區(qū)域。

在該分光傳感器中，在空腔層上濾光區(qū)域取得規(guī)定的距離而被環(huán)狀的包圍區(qū)域包圍，濾光區(qū)域的光檢測基板側(cè)的端部和包圍區(qū)域的光檢測基板側(cè)的端部被環(huán)狀的連接區(qū)域連接。由此，在垂直于光透過基板與光檢測基板相對的方向的方向上即使作用一些外力，該外力也會由包圍區(qū)域以及連接區(qū)域而被緩沖，因而能夠防止對濾光區(qū)域造成損壞。因此，該分光傳感器是可靠性高的分光傳感器。

在此，包圍區(qū)域的光透過基板側(cè)的端面與濾光區(qū)域中的第1鏡層的形成面中最接近于光透過基板的部分為大致相同高度，或者也可以比該部分更位于光透過基板側(cè)。由此，在平行于光透過基板與光檢測基板相對的方向的方向上即使作用一些外力，該外力也會由包圍區(qū)域而被擋住，能夠防止對濾光區(qū)域造成損壞。

另外，連接區(qū)域的光透過基板側(cè)的端面與濾光區(qū)域中的第1鏡層的形成面中最接近于光檢測基板的部分為大致相同高度，或者也可以比該部分更位于光檢測基板側(cè)。由此，在垂直于光透過基板與光檢測基板相對的方向的方向上即使作用一些外力，也能夠防止該外力直接作用于濾光區(qū)域中的第1鏡層的形成面。

另外，分光傳感器也可以進(jìn)一步具備以與第1鏡層相對的方式被形成于光透過基板上并且使規(guī)定的波長范圍的光透過的光學(xué)濾光層。由此，能夠效率良好地使規(guī)定的波長范圍的光入射至干涉濾光部。

發(fā)明的效果

根據(jù)本發(fā)明，能夠提供高可靠性的分光傳感器。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的一個實(shí)施方式的分光傳感器的縱截面圖。

圖2是圖1的分光傳感器的空腔層的平面圖。

圖3是用于說明圖1的分光傳感器的制造方法的縱截面圖。

圖4是用于說明圖1的分光傳感器的制造方法的縱截面圖。

圖5是用于說明圖1的分光傳感器的制造方法的縱截面圖。

圖6是用于說明圖1的分光傳感器的制造方法的縱截面圖。

圖7是用于說明圖1的分光傳感器的制造方法的縱截面圖。

圖8是用于說明圖1的分光傳感器的制造方法的縱截面圖。

圖9是用于說明圖1的分光傳感器的制造方法的縱截面圖。

圖10是用于說明圖1的分光傳感器的制造方法的縱截面圖。

圖11是用于說明圖1的分光傳感器的制造方法的縱截面圖。

圖12是用于說明圖1的分光傳感器的制造方法的縱截面圖。

圖13是用于說明圖1的分光傳感器的制造方法的縱截面圖。

圖14是用于說明圖1的分光傳感器的制造方法的縱截面圖。

圖15是用于說明圖1的分光傳感器的制造方法的縱截面圖。

圖16是用于說明圖1的分光傳感器的制造方法的縱截面圖。

圖17是用于說明圖1的分光傳感器的制造方法的縱截面圖。

圖18是用于說明圖1的分光傳感器的制造方法的縱截面圖。