[發(fā)明專利]加速度傳感器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201280049163.8 | 申請日： | 2012-11-12 |
| 公開（公告）號： | CN103842830A | 公開（公告）日： | 2014-06-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 坂上智;矢尾博信;木代雅巳;鈴木健 | 申請（專利權(quán)）人： | 富士電機株式會社 |
| 主分類號： | G01P15/125 | 分類號： | G01P15/125;G01P15/18;H01L29/84 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務(wù)所有限公司 31100 | 代理人： | 宋俊寅 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 加速度 傳感器 | ||
1.一種加速度傳感器，其特征在于，包括SOI基板，該SOI基板通過在硅支承層上形成氧化硅層，并在該氧化硅層上形成活性硅層而獲得，
在所述SOI基板的活性硅層上形成有由彈性梁部支承的錘部所構(gòu)成的可動電極、以及與該可動電極的周邊相對面地固定配置的固定電極，
所述可動電極的與所述彈性梁部相連的外周部的內(nèi)側(cè)的整個面上形成有在Z軸方向上貫通的貫通孔。
2.如權(quán)利要求1所述的加速度傳感器，其特征在于，所述貫通孔分割配置在塊狀區(qū)域。
3.如權(quán)利要求2所述的加速度傳感器，其特征在于，所述塊狀區(qū)域呈柵格狀排列。
4.如權(quán)利要求2或3所述的加速度傳感器，其特征在于，所述貫通孔具有將第一塊狀區(qū)域與第二塊狀區(qū)域二維地交替配置而成的結(jié)構(gòu)，該第一塊狀區(qū)域中平行地形成有規(guī)定塊數(shù)的貫通長孔，該第二塊狀區(qū)域在與該第一塊狀區(qū)域的貫通長孔正交的方向上平行地形成有規(guī)定塊數(shù)的貫通長孔。
5.如權(quán)利要求2或3所述的加速度傳感器，其特征在于，所述貫通孔具有將第一塊狀區(qū)域、第二塊狀區(qū)域以及第三塊狀區(qū)域二維地交替配置而成的結(jié)構(gòu)，該第一塊狀區(qū)域中平行地形成有規(guī)定塊數(shù)的貫通長孔，該第二塊狀區(qū)域在與該第一塊狀區(qū)域的貫通長孔正交的方向上平行地形成有規(guī)定塊數(shù)的貫通長孔，該第三塊狀區(qū)域中未形成貫通長孔。
6.如權(quán)利要求3至5的任一項所述的加速度傳感器，其特征在于，所述第一塊狀區(qū)域及所述第二塊狀區(qū)域中的貫通長孔間的連接部的寬度比開口率達到50%時的寬度要寬。
7.如權(quán)利要求1至6的任一項所述的加速度傳感器，其特征在于，在所述可動電極的下表面?zhèn)鹊乃鐾庵懿啃纬捎邢蛳路窖由斓闹箘硬俊?/p>
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