[發明專利]線寬測量系統

無效

• 申請號: 201280048336.4
• 申請日: 2012-09-13
• 公開（公告）號: CN104040323A
• 公開（公告）日: 2014-09-10
• 發明（設計）人: 喬軼;邁克爾·W·多萊扎爾;大衛·L·霍費爾特;杰克·W·萊;凱瑟琳·P·塔爾諾夫斯基
• 申請（專利權）人: 3M創新有限公司
• 主分類號: G01N21/89
• 分類號: G01N21/89;G01B11/25
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 梁曉廣;關兆輝

1.一種方法，包括：

使詢問光束穿過傅里葉變換透鏡并且到達材料的表面上，以形成所述材料的一個或多個表面特征的夫瑯和費衍射圖案；

形成所述衍射圖案的圖像；以及

處理所述衍射圖案的圖像，以確定所述特征的尺寸。

2.根據權利要求1所述的方法，其中所述特征的尺寸由所述衍射圖案中的中央級光束和第一最小衍射之間的距離確定。

3.根據權利要求1所述的方法，其中所述衍射圖案的圖像由CCD攝像機捕獲。

4.根據權利要求1所述的方法，其中所述衍射圖案的圖像通過將詢問光束反射離開所述材料的表面并且到達屏幕或透鏡上來形成。

5.根據權利要求1所述的方法，其中所述衍射圖案的圖像通過將所述詢問光束透射穿過所述材料的表面并且到達屏幕或透鏡上來形成。

6.根據權利要求4所述的方法，其中所述衍射圖案的圖像通過將詢問光束反射到屏幕上來形成。

7.根據權利要求1所述的方法，其中所述詢問光束是準直的。

8.根據權利要求1所述的方法，其中所述表面位于所述傅里葉變換透鏡和所述傅里葉變換透鏡的焦點之間。

9.根據權利要求1所述的方法，其中所述材料的表面是柔性的。

10.根據權利要求9所述的方法，其中所述材料的表面是非靜止的。

11.一種設備，包括：

光源，將詢問光束發射到傅里葉變換透鏡中并且到達表面上，以形成所述表面上的特征的夫瑯和費衍射圖案，其中所述透鏡和所述表面以逆傅里葉變換模式布置；

圖像采集裝置，捕獲所述表面上的特征的夫瑯和費衍射圖案的圖像；和

處理器，用于確定所述衍射圖案的大小，并且計算所述表面上的特征的尺寸。

12.根據權利要求11所述的設備，其中所述圖像采集裝置包括CCD攝像機。

13.根據權利要求11所述的設備，其中所述處理器在所述圖像采集裝置內。

14.根據權利要求11所述的設備，其中所述光源是準直的。

15.根據權利要求12所述的設備，其中所述光源是激光器。

16.根據權利要求11所述的設備，還包括位于所述光源和所述傅里葉變換透鏡之間的光束擴展器。

17.根據權利要求11所述的設備，其中所述詢問光束反射離開所述表面并且到達屏幕或透鏡上。

18.根據權利要求11所述的設備，其中所述詢問光束透射穿過所述表面并且到達屏幕或透鏡上。

19.一種用于監控材料的表面上選定特征的尺寸的系統，包括：

光源，鄰近所述表面定位，其中所述光源發射詢問光束穿過傅里葉變換透鏡并且到達所述表面上，以形成所述表面上的一個或多個特征的夫瑯和費衍射圖案，其中所述表面位于所述傅里葉變換透鏡和所述傅里葉變換透鏡的焦點之間；

圖像采集裝置，用于捕獲所述表面上的所述特征的夫瑯和費衍射圖案的圖像；和

處理器，用于測量所述夫瑯和費衍射圖案的大小，以確定陣列中選定特征的尺寸。

20.根據權利要求19所述的系統，其中所述材料的表面是非靜止的。

21.根據權利要求19所述的系統，其中所述光源在所述材料的表面之上掃描。

22.根據權利要求19所述的系統，其中所述光源是激光器。

23.根據權利要求19所述的系統，其中所述夫瑯和費衍射圖案的圖像在離開所述材料的表面的反射中獲得。

24.根據權利要求19所述的系統，其中所述夫瑯和費衍射圖案的圖像經由穿過所述材料的表面的透射獲得。

25.根據權利要求19所述的系統，其中所述光源位于所述材料的表面上方。