[發(fā)明專利]金屬電鍍設(shè)備中的部件清潔

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201280048276.6
• 申請日: 2012-08-24
• 公開（公告）號: CN103857834A
• 公開（公告）日: 2014-06-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 丹尼爾·J·伍德拉夫
• 申請（專利權(quán)）人: 應(yīng)用材料公司
• 主分類號: C25D21/08
• 分類號: C25D21/08;C25D7/12
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;趙靜

1.一種電鍍設(shè)備，所述電鍍設(shè)備包含：

容器，所述容器用于容納一槽的電鍍液；

頭部，所述頭部適于在所述容器中保持工件；

設(shè)備部件，所述設(shè)備部件位于所述頭部上；以及

部件清潔組件，所述部件清潔組件包括：

臂；

部件接觸器，所述部件接觸器位于所述臂上；以及

臂致動器，所述臂致動器與所述臂連接，用于從第一位置和第二位置移動所述臂，在所述第一位置所述接觸器與所述部件間隔開，在所述第二位置所述接觸器與所述部件物理接觸。

2.如權(quán)利要求1所述的電鍍設(shè)備，進(jìn)一步包含流體導(dǎo)管，所述流體導(dǎo)管位于所述臂中，所述流體導(dǎo)管通向所述接觸器。

3.如權(quán)利要求2所述的電鍍設(shè)備，進(jìn)一步包含噴嘴，所述噴嘴位于所述接觸器處，所述流體導(dǎo)管與所述噴嘴連接。

4.如權(quán)利要求3所述的電鍍設(shè)備，所述接觸器具有中心開口，所述噴嘴位于所述中心開口內(nèi)。

5.如權(quán)利要求1所述的電鍍設(shè)備，進(jìn)一步包含：

頭部升降機(jī)，所述頭部升降機(jī)附接至所述頭部，用于升降所述頭部；

旋轉(zhuǎn)器，所述旋轉(zhuǎn)器位于所述頭部中，所述部件包含位于所述旋轉(zhuǎn)器上的環(huán)狀部件；

以及在所述臂上的所述接觸器具有相對于所述容器的固定垂直位置。

6.如權(quán)利要求1所述的電鍍設(shè)備，進(jìn)一步包含回流導(dǎo)管，所述回流導(dǎo)管位于所述臂中。

7.如權(quán)利要求1所述的電鍍設(shè)備，所述接觸器在所述臂的外端上，所述臂的內(nèi)端在所述容器的一側(cè)樞軸地附接至框架。

8.如權(quán)利要求7所述的電鍍設(shè)備，所述框架包含液體收集開口，所述液體收集開口與真空源連接，以及所述臂的所述第一位置至少部分位于所述液體收集開口內(nèi)。

9.如權(quán)利要求1所述的電鍍設(shè)備，其中所述接觸器包含毛刷(bristle?brush)。

10.如權(quán)利要求1所述的電鍍設(shè)備，其中所述接觸器包含海綿、毛氈(felt)墊、塑料或橡膠葉片(blade)或杯、或纖維網(wǎng)墊。

11.如權(quán)利要求1所述的電鍍設(shè)備，進(jìn)一步包含液體捕獲杯，所述液體捕獲杯附接至所述臂。

12.如權(quán)利要求1所述的電鍍設(shè)備，進(jìn)一步包含接觸器旋轉(zhuǎn)(spin)電動機(jī)，所述接觸器旋轉(zhuǎn)電動機(jī)位于所述臂之上或之內(nèi)并且附接至所述接觸器。

13.一種用于在電鍍設(shè)備中清潔密封件的設(shè)備，所述設(shè)備包含：

清洗環(huán)；

樞軸臂，所述樞軸臂具有外端，所述樞軸臂可從所述清洗環(huán)呈弧形水平移動至所述密封件之下的位置；

樞軸臂致動器，所述樞軸臂致動器附接至所述樞軸臂；

洗滌器，所述洗滌器位于所述臂的外端上；

流體出口，所述流體出口位于所述臂上，所述流體出口與所述洗滌器相關(guān)聯(lián)；以及

流體收集器，所述流體收集器位于所述臂上。

14.如權(quán)利要求13所述的設(shè)備，所述流體收集器包含回流導(dǎo)管，所述回流導(dǎo)管從鄰近于所述流體出口的位置通向所述清洗環(huán)。

15.一種清潔電鍍設(shè)備的部件的方法，所述方法包含：

移動部件清潔接觸器以與所述部件接觸；

將清潔液施加至鄰近于密封件接觸器的密封件上；

收集使用過的清潔液；

當(dāng)所述密封件與所述密封件接觸器接觸時(shí)旋轉(zhuǎn)所述密封件；以及

移動所述密封件接觸器遠(yuǎn)離所述密封件。

16.如權(quán)利要求15所述的方法，其中所述接觸器包含刷子，以及進(jìn)一步包含使用所述刷子刷洗所述部件。

17.如權(quán)利要求15所述的方法，進(jìn)一步包含經(jīng)由鄰近于所述接觸器的檢測器檢測所述部件的狀況。