[發(fā)明專利]薄膜形成方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201280047881.1
• 申請(qǐng)日: 2012-09-20
• 公開（公告）號(hào): CN103906576A
• 公開（公告）日: 2014-07-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鈴木啟裕;甲斐智洋;小谷雅幸
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 凸版印刷株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B05D1/26
• 分類號(hào): B05D1/26;B05D3/00
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 楊宏軍

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及薄膜形成方法，更具體而言，涉及能夠在有機(jī)電致發(fā)光（EL）元件的功能層的形成中利用的薄膜形成方法。

背景技術(shù)

近年來(lái)，關(guān)注利用了噴墨法的成膜技術(shù)。噴墨法能夠根據(jù)所使用的頭的分辨率而將微量的墨水（ink）噴出至期望的位置，因此具有容易形成微細(xì)的圖案、容易形成具有期望膜厚的薄膜的優(yōu)點(diǎn)。利用該優(yōu)點(diǎn)，噴墨法能夠利用于需要微細(xì)的分色涂布的有機(jī)EL元件、彩色濾光片（colour?filter）的制造等。另外，提出了如下技術(shù)：將糊狀的功能性材料從具有微小的單個(gè)或多個(gè)噴出口的噴嘴連續(xù)地噴出，在基板上形成規(guī)定的圖案。

在將噴墨法或噴嘴法應(yīng)用于有機(jī)EL元件的制造的情況下，具有如下優(yōu)點(diǎn)：通過(guò)使所需要的量的EL材料分散或溶解于規(guī)定的溶劑中而將其墨水化，與蒸鍍法或?yàn)R射法相比，能夠提高EL材料的利用率。

然而，在噴嘴法中，在通過(guò)一個(gè)噴嘴進(jìn)行涂布的情況下，基板尺寸越大產(chǎn)距時(shí)間（takt?time）越長(zhǎng)，因此生產(chǎn)率降低。雖然可通過(guò)使用多個(gè)噴嘴來(lái)縮短產(chǎn)距時(shí)間而提高生產(chǎn)率，但若各個(gè)噴嘴的噴出量產(chǎn)生偏差，則所形成的功能膜的膜厚產(chǎn)生偏差，在有機(jī)EL元件的情況下，成為發(fā)光不均的原因。

作為調(diào)節(jié)多個(gè)噴嘴的各自的噴出量的方法，提出有如下方法：將蓄留在一個(gè)供給源中的功能液向多個(gè)噴嘴分支供給，從各個(gè)噴嘴向基材上同時(shí)涂布，由此在多個(gè)位置同時(shí)涂布功能液。為了從噴嘴噴出準(zhǔn)確的噴出量，需要對(duì)從噴嘴噴出的實(shí)際噴出流量進(jìn)行測(cè)量和管理。例如，從噴嘴噴出的實(shí)際噴出流量通過(guò)從該噴嘴向規(guī)定容器內(nèi)噴出的、單位噴出時(shí)間內(nèi)的噴出到該容器內(nèi)的重量而測(cè)定（例如，參見(jiàn)專利文獻(xiàn)1）。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2006－205024號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

但是，在從多個(gè)噴嘴同時(shí)噴出的涂布裝置的情況下，需要在每個(gè)噴嘴系統(tǒng)中進(jìn)行上述的實(shí)際噴出流量的測(cè)定，并分別導(dǎo)出關(guān)系式。另外，為了導(dǎo)出高精度的關(guān)系式，需要對(duì)一個(gè)噴嘴系統(tǒng)進(jìn)行流量不同的多個(gè)點(diǎn)的實(shí)際噴出流量的測(cè)量。另外，在具有多個(gè)噴嘴的涂布裝置中，在改變所涂布的功能液的情況下，在改變功能液后也需要進(jìn)行實(shí)際噴出流量的測(cè)定，因此涂布裝置的流量管理工時(shí)增大。另外，若涂布裝置的實(shí)際噴出流量測(cè)量時(shí)間變長(zhǎng)，則存在由于噴出到容器內(nèi)的功能液中的溶劑蒸發(fā)而導(dǎo)致實(shí)際噴出流量變動(dòng)的情況，從而有可能難以測(cè)量準(zhǔn)確的實(shí)際噴出流量。

因此，本發(fā)明的目的在于提供一種薄膜形成方法，該方法能夠容易地調(diào)節(jié)從各個(gè)的多個(gè)噴嘴噴出的液體的噴出量。

本發(fā)明涉及一種薄膜形成方法，其中，使用多個(gè)噴嘴對(duì)在基材上劃分出的多個(gè)區(qū)域涂布墨水而形成薄膜。本發(fā)明的薄膜形成方法包括如下步驟：使多個(gè)噴嘴的噴出口接近試驗(yàn)用基材的表面，一邊使試驗(yàn)用基材與多個(gè)噴嘴相對(duì)移動(dòng)，一邊從多個(gè)噴嘴噴出墨水而進(jìn)行試驗(yàn)涂布的步驟；在試驗(yàn)涂布時(shí)，測(cè)定通過(guò)各個(gè)的多個(gè)噴嘴而描繪的軌跡的線寬的步驟；一邊使供給至各個(gè)的多個(gè)噴嘴的墨水的流量變化，一邊重復(fù)進(jìn)行試驗(yàn)涂布的步驟、和測(cè)定線寬的步驟，并求出使通過(guò)各個(gè)的多個(gè)噴嘴而描繪的軌跡的線寬相同那樣的、供給至各個(gè)的多個(gè)噴嘴的墨水流量的組合的步驟；以及使多個(gè)噴嘴接近基材的表面，一邊使基材與多個(gè)噴嘴相對(duì)移動(dòng)，一邊使用在求出流量的組合的步驟中求出的流量的組合而從多個(gè)噴嘴向基材上噴出墨水的步驟。

或者，本發(fā)明的薄膜形成方法包括如下步驟：使多個(gè)噴嘴的噴出口接近試驗(yàn)用基材的表面，一邊使試驗(yàn)用基材與多個(gè)噴嘴相對(duì)移動(dòng)，一邊從多個(gè)噴嘴噴出墨水而進(jìn)行試驗(yàn)涂布的步驟；在試驗(yàn)涂布時(shí)，測(cè)定通過(guò)各個(gè)的多個(gè)噴嘴而描繪的軌跡的線寬的步驟；一邊使多個(gè)噴嘴與試驗(yàn)用基材的相對(duì)移動(dòng)速度變化，一邊重復(fù)進(jìn)行試驗(yàn)涂布的步驟、和測(cè)定線寬的步驟，并求出使通過(guò)各個(gè)的多個(gè)噴嘴而描繪的軌跡的線寬相同那樣的、多個(gè)噴嘴的相對(duì)移動(dòng)速度的組合的步驟；以及使多個(gè)噴嘴接近基材的表面，一邊以在求出相對(duì)移動(dòng)速度的組合的步驟中求出的相對(duì)移動(dòng)速度使多個(gè)噴嘴與基材相對(duì)移動(dòng)，一邊從多個(gè)噴嘴向基材上噴出墨水的步驟。

根據(jù)本發(fā)明，在使用多個(gè)噴嘴涂布墨水而形成薄膜時(shí)，基于涂布于試驗(yàn)涂布部上的涂布軌跡的線寬，調(diào)節(jié)各噴嘴的噴出量，由此能夠減少所形成的薄膜的膜厚不均。

附圖說(shuō)明

圖1是實(shí)施方式的有機(jī)EL元件基板的剖視圖。

圖2是使用了噴嘴涂布法的薄膜形成裝置的概略圖。

圖3是噴嘴頭截面的詳細(xì)圖。

圖4是試驗(yàn)噴出裝置的概略圖。

圖5是表示線寬與流量之間的關(guān)系（調(diào)節(jié)前）的圖。

圖6是表示線寬與流量之間的關(guān)系（調(diào)節(jié)后）的圖。

圖7是表示速度與噴出量之間的關(guān)系的圖。