[發明專利]樹脂組合物及使用其的膜形成方法

無效

• 申請號: 201280047281.5
• 申請日: 2012-09-24
• 公開（公告）號: CN103842409A
• 公開（公告）日: 2014-06-04
• 發明（設計）人: 清水崇文;藤冨晉太郎;宮木伸行;江利山祐一
• 申請（專利權）人: JSR株式會社
• 主分類號: C08G73/10
• 分類號: C08G73/10;C08J5/18
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 臧建明

1.一種樹脂組合物，含有聚酰亞胺前驅物及以非酰胺系溶劑作為主成分的溶劑，所述聚酰亞胺前驅物具有含有下述式(2)所表示的結構單元且由下述式(1)所表示的結構單元，

[化1]

(式(1)中，R獨立地表示氫原子或一價有機基，R¹獨立地表示二價有機基，R²獨立地表示四價有機基，n表示正整數；其中，R¹或R²的至少一個含有鹵素原子或鹵化烷基)；

[化2]

(式(2)中，多個R⁵分別獨立地表示碳數1～20的一價有機基，m表示3～200的整數)。

2.根據權利要求1所述的樹脂組合物，其中所述R¹含有選自下述式(3)所表示的組群中的基團，

[化3]

(式(3)中，R³獨立地表示含有醚鍵、硫醚基、酮基、酯鍵、磺酰基、亞烷基、酰胺基或硅氧烷基的基團、氫原子、鹵素原子、烷基、羥基、硝基、氰基或磺基，所述含亞烷基的基團及烷基的任意的氫原子可經鹵素原子取代；其中，一個基團中所含的多個R³中的至少一個含有鹵素原子或鹵化烷基；a1表示1～3的整數，a2表示1或2，a3獨立地表示1～4的整數，e表示0～3的整數)。

3.根據權利要求1或2所述的樹脂組合物，其中所述溶劑為包含兩種以上的溶劑的混合溶劑。

4.根據權利要求3所述的樹脂組合物，其中相對于所述混合溶劑總量100重量％，所述溶劑含有20重量％以上的在所述混合溶劑中沸點最高的溶劑。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的樹脂組合物，其中所述聚酰亞胺前驅物的重量平均分子量為10000～1000000。

6.根據權利要求1至5中任一項所述的樹脂組合物，其中所述樹脂組合物中的所述聚酰亞胺前驅物的濃度為3質量％～60質量％。

7.根據權利要求1至6中任一項所述的樹脂組合物，其中使用E型粘度計(25℃)測定的粘度在500mPa·s～50000mPa·s的范圍內。

8.根據權利要求1至7中任一項所述的樹脂組合物，其為膜形成用。

9.一種膜形成方法，包括：

將如權利要求1至8中任一項所述的樹脂組合物涂布在基板上而形成涂膜的工序；

使所述溶劑從所述涂膜中蒸發的工序；以及

對所述前驅物進行酰亞胺化的工序。