[發明專利]濺射靶及其制造方法有效
| 申請號： | 201280047223.2 | 申請日： | 2012-09-12 |
| 公開（公告）號： | CN103827349A | 公開（公告）日： | 2014-05-28 |
| 發明（設計）人： | 長田健一;大月富男;岡部岳夫;牧野修仁;福島篤志 | 申請（專利權）人： | 吉坤日礦日石金屬株式會社 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34;H01L21/28;H01L21/285 |
| 代理公司： | 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219 | 代理人： | 王海川;穆德駿 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 濺射 及其 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種背襯板一體型濺射靶，其特征在于，背襯板一體型濺射靶中，凸緣部的維氏硬度Hv為90以上，且凸緣部的0.2%屈服應力為6.98×107N/m2以上。
2.根據權利要求1所述的背襯板一體型濺射靶，其特征在于，濺射靶和背襯板由Cu-Mn合金形成。
3.根據權利要求2所述的背襯板一體型濺射靶，其特征在于，濺射面的(111)取向率為50%以下。
4.一種背襯板一體型濺射靶的制造方法，其特征在于，在對靶材進行塑性加工后，進一步僅對凸緣部進行塑性加工。
5.根據權利要求4所述的背襯板一體型濺射靶的制造方法，其特征在于，濺射靶和背襯板由Cu-Mn合金形成。
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