[發(fā)明專利]聚硅氧烷的制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201280045961.3
• 申請日: 2012-12-26
• 公開（公告）號: CN103842412A
• 公開（公告）日: 2014-06-04
• 發(fā)明（設計）人: 小倉絹子;北村昭憲
• 申請（專利權）人: 東亞合成株式會社
• 主分類號: C08G77/06
• 分類號: C08G77/06;C08G77/20
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 賈成功

技術領域

本發(fā)明涉及具有碳-碳不飽和鍵及氫化甲硅烷基的可以氫化硅烷化反應的聚硅氧烷的制造方法。

背景技術

在半導體相關制品、液晶相關制品中，為了應對高集成化、高速化、多功能化等的要求，謀求在用于配設半導體元件或液晶元件的基板上所形成的圖案的微細化、多層化，在制造時將基板表面的凹凸平坦化的工序是不可缺少的。而且，作為半導體元件或液晶元件用的基板制造中的平坦化膜、層間絕緣膜，經(jīng)常使用被稱為“SOG(旋涂玻璃)”的、在固化后形成二氧化硅系的覆膜的涂布液。其為如下方法：通過將含有烷氧基硅烷的水解物等的涂液在基材上通過旋涂法等而涂布之后、將涂膜進行加熱處理而燒掉揮發(fā)性成分，殘留Si-O-Si鍵而形成二氧化硅系覆膜。

這樣的平坦化膜、層間絕緣膜，大多在基板的制造工序中受到加熱處理，因此，認為需要耐熱性更高的樹脂。例如，作為耐熱性樹脂原料，在專利文獻1中提出了一種具有碳-碳不飽和鍵及氫化甲硅烷基的可以氫化硅烷化反應的聚硅氧烷。在該文獻中，關于溶解聚硅氧烷的介質，記載有可以使用各種有機溶劑。但是，在實施例中記載有：雖然使用了甲苯及乙醇的混合溶劑作為反應溶劑，但甲苯不能單獨溶解生成的聚硅氧烷。而且，關于根據(jù)反應溶劑的種類而在制造中、制造后的聚硅氧烷的保存穩(wěn)定性上出現(xiàn)差異，既沒有記載，也沒有啟示。

對于具有可以氫化硅烷化反應的結構的、在有機溶劑中可溶的聚硅氧烷，在專利文獻2中也有記載。在該文獻中，作為在使原料單體進行水解、縮聚反應的工序中可以使用的反應溶劑，記載有芳香族烴、醚類及酯類。而且，有可以與這些非極性溶劑一起并用甲醇、乙醇、2-丙醇等低級醇的記載。但是，在實施例中，用作反應溶劑的是在二甲苯中添加有2-丙醇的混合溶劑，在該文獻中，關于根據(jù)反應溶劑的種類而在制造中、制造后的聚硅氧烷的穩(wěn)定性上出現(xiàn)差異，既沒有記載，也沒有啟示。

另一方面，在專利文獻3中,公開有固化性涂布組合物，其含有具有可以氫化硅烷化反應的結構的聚硅氧烷和不具有羥基、且沸點為80℃～130℃的有機溶劑。而且，記載有：有機溶劑含有羥基的情況下，發(fā)生在保存中聚硅氧烷的分子量增大、或涂布組合物凝膠化、或在涂膜上產(chǎn)生涂裝顆粒(paint?coat?particle)等不良。

如上所述，已知有在制造具有碳-碳不飽和鍵及氫化甲硅烷基的可以氫化硅烷化反應的聚硅氧烷的情況下，具備供于原料單體的水解、縮聚反應的工序的制造方法。而且，已知有使用各種有機溶劑作為反應溶劑，但關于根據(jù)有機溶劑的種類而防止制造中的凝膠化、在制造后的聚硅氧烷的保存穩(wěn)定性上出現(xiàn)差異，尚未得知。另外，已知有在含有具有碳-碳不飽和鍵及氫化甲硅烷基的可以氫化硅烷化反應的聚硅氧烷的固化性涂布組合物含有具有羥基的有機溶劑的情況下，損害組合物的保存穩(wěn)定性而引起聚硅氧烷的分子量增大、凝膠化。因此，在聚硅氧烷的制造方法中，對于防止聚硅氧烷的凝膠化、分子量增大而有效地制造品質一致的制品的課題，選擇反應溶劑的方法尚未得知，另外，已知有假設即使進行選擇，作為組合物中所含的溶劑，含有羥基的有機溶劑也不優(yōu)選，因此，對于上述的課題，使用含有羥基的有機溶劑可以具有阻礙理由。

現(xiàn)有技術文獻

專利文獻

專利文獻1:WO2005/010077國際公開小冊子

專利文獻2:WO2009/066608國際公開小冊子

專利文獻3:日本特開2011-52170號公報

發(fā)明內容

發(fā)明要解決的課題

如上所述，具有碳-碳不飽和鍵及氫化甲硅烷基的可以氫化硅烷化反應的聚硅氧烷已經(jīng)得到廣泛使用，需要有效地制造品質穩(wěn)定了的制品。本發(fā)明的目的在于，提供抑制制造中的凝膠化、制造后的聚硅氧烷的分子量增大、凝膠化等的聚硅氧烷的制造方法。

用于解決課題的手段

本發(fā)明人等發(fā)現(xiàn)：為了制造由下述通式(1)表示的、具有碳-碳不飽和鍵及氫化甲硅烷基的可以氫化硅烷化反應的聚硅氧烷，作為使特定的原料單體進行水解、縮聚反應的反應溶劑，通過含有作為極性溶劑的、選自碳原子數(shù)4～6的仲醇及碳原子數(shù)4～6的叔醇中的至少1種(以下，稱為“本發(fā)明所述的醇”)，不僅可以防止反應中的凝膠化，而且，在制造后的保存穩(wěn)定性試驗中，不易產(chǎn)生聚硅氧烷的高分子量成分的增大、凝膠化。