[發明專利]產生少量金屬粉塵的波紋管焊接用冷卻環

有效

• 申請號: 201280045323.1
• 申請日: 2012-05-24
• 公開（公告）號: CN103857492A
• 公開（公告）日: 2014-06-11
• 發明（設計）人: 金允鎬
• 申請（專利權）人: 株式會社KSM
• 主分類號: B23K37/04
• 分類號: B23K37/04;F16J3/04;B23K31/02
• 代理公司: 北京中恒高博知識產權代理有限公司 11249
• 代理人: 夏晏平

技術領域

本發明涉及一種波紋管焊接用冷卻環，尤其涉及一種在焊接時不會產生高電導性金屬銅、鋁、金、銀等的金屬粉塵的波紋管焊接用冷卻環。

背景技術

波紋管是能夠保持內外部的氣密性的同時可進行伸縮運動的皺紋管，是多用于真空裝置、半導體制造設備、小型工業機器類、精密機械等上的部件。

圖1示出了波紋管100的一個例子。一般來說，上述波紋管100是以在兩端分別結合法蘭1的狀態下使用的。在將由第一隔膜10和與第一隔膜10對置配置的第二隔膜20成對的多對隔膜(10，20)排列成一列的狀態下，使相鄰的第一隔膜10和第二隔膜20交替連接，從而具有皺紋管形態。

進一步詳細描述制造波紋管100的方法。首先，沖壓加工金屬薄片，從而如圖3所示制造第一個隔膜10和第二隔膜20，之后，通過將各對的第一隔膜10和第二隔膜的內側端部相互焊接，如圖4所示形成內周面焊接部IW，在這樣通過焊接部IW焊接的多對隔膜(10，20)如圖5所示配置成一列的狀態下，如圖6所示，將相鄰對的上述第一隔膜10和第二隔膜20的外側端部相互焊接而形成外周面焊接部OW。

此時，為了形成上述外周面焊接部OW，使用具有圖7或圖8所示的平面形狀和圖6或圖9所示的截面形狀的金屬材質的焊接用冷卻環(30，130)。

將上述波紋管焊接用冷卻環30和130嵌入至上述各對第一隔膜10和第二隔膜20的外側端部之間，維持上述第一隔膜10和第二隔膜20的外側端部之間的距離一定，且使上述第一隔膜10和上述第二隔膜20彼此貼緊后夾緊，這是為了迅速散去形成上述外周面焊接部OW時產生的焊接熱。

然而，因為以往的波紋管焊接用冷卻環30和130是由軟材質金屬銅、銅合金、鋁、金、銀等金屬制造的，所以在使用后在波紋管100的外周面留下微細的銅粉塵或鋁粉塵，由于這種金屬粉塵導電性很好，在上述波紋管100用于半導體器件時，存在因上述金屬粉塵造成的短路而在半導體制造工藝中產生不良品的問題。

因此，當使用冷卻環30和130時，在把波紋管100安裝到半導體器件上之前，需要去除留在外周面上的金屬粉塵，如銅粉。特別是，由于銅的性質是化學穩定性很好且吸附性優良，所以即使噴射高壓空氣或化學清洗也很難從波紋管100的表面除去銅粉塵。因此，必須由作業人員通過手工的方式逐個除去殘留在上述波紋管100的外周面上的銅粉塵，非常不便。

發明內容

所要解決的技術問題

本發明是為了解決上述問題而做出的，其目的在于，提供一種在焊接時不產生高導電性的銅、鋁、金、銀等的金屬粉塵的、改良了結構的波紋管焊接用冷卻環。

技術方案

為了實現上述目的，本發明的波紋管焊接用冷卻環，該焊接用冷卻環用于制造波紋管，該波紋管包括多對隔膜，每對隔膜包括第一隔膜和與第一隔膜對置配置的第二隔膜，其特征在于，包括：含銅的圓弧形主體，配置成在與上述第一隔膜和上述第二隔膜中至少一個接觸的狀態下，使第一隔膜和第二隔膜彼此貼緊；以及鍍金層，鍍在上述主體上，上述鍍金層包括從由鎳和鉻構成的集合中選擇的至少一種。

在此，所述鍍金層中，相對于總重量比100％，鎳的重量比為99％以上。

在此，所述鍍金層中，相對于總重量比100％，鎳的重量比為99％以上。

為了實現上述目的，本發明的圓弧型狀的焊接用冷卻環，用于制造波紋管，該波紋管包括多對隔膜，每對隔膜包括第一隔膜和與第一隔膜對置配置的第二隔膜，其特征在于，配置成在與上述第一隔膜和上述第二隔膜中至少一個接觸的狀態下，使上述第一隔膜和上述第二隔膜彼此貼緊，包括從由鎢、鉬、鎳和鉻構成的集合中選擇的至少一種。

在此，相對于總重量比100％，鎢的重量比為99％以上。

在此，相對于總重量比100％，鉬的重量比為99％以上。

在此，相對于總重量比100％，鎳的重量比為99％以上。

在此，相對于總重量比100％，鉻的重量比為99％以上。

發明效果

根據本發明，由于包括含銅的圓弧形主體和鍍在上述主體上的鍍金層，具有在焊接時不會產生高導電性的金屬銅、鋁、金、銀等的金屬粉塵的效果。

附圖說明

圖1為普通波紋管的截面立體圖；

圖2為圖1所示的波紋管的II-II線截面圖；

圖3為示出將通過沖壓加工金屬薄板制造的第一個隔膜和第二隔膜彼此對置地配置的狀態的截面圖；

圖4為將圖3中所示的一對第一個隔膜和第二隔膜的內側端部彼此焊接而形成內周面焊接部的截面圖；