[發明專利]具有緊湊后焦距的光學系統

有效

• 申請號: 201280044374.2
• 申請日: 2012-07-16
• 公開（公告）號: CN103827745A
• 公開（公告）日: 2014-05-28
• 發明（設計）人: M·H·舒克
• 申請（專利權）人: 瑞爾D股份有限公司
• 主分類號: G03B21/14
• 分類號: G03B21/14;G03B35/22;G02B27/22
• 代理公司: 北京嘉和天工知識產權代理事務所(普通合伙) 11269
• 代理人: 嚴慎;支媛

1.一種光學系統，所述光學系統包括：

可操作來輸出光的成像源；

可操作來從所述成像源接收所述光的中繼部件；以及

投影透鏡；

其中所述中繼部件被配置來形成中間圖像，所述中間圖像具有鄰近所述投影透鏡的進入表面的焦點，所述中間圖像的所述焦點和所述投影透鏡的所述進入表面在所述中間圖像的所述焦點和所述投影透鏡的所述進入表面之間限定后焦距；并且

其中所述投影透鏡可操作來投影所述中間圖像。

2.如權利要求1的光學系統，其中所述光學系統還包括偏振轉換系統，所述偏振轉換系統可操作來將包括所述中間圖像的光轉換為基本上單一偏振態并且沿第一和第二光路輸出轉換的光。

3.如權利要求1的光學系統，還包括偏振分束器組件和第二投影透鏡，其中所述投影透鏡和所述第二投影透鏡分別被設置為鄰近所述偏振分束器組件的第一和第二射出端口，并且其中所述中繼部件被配置來形成第二中間圖像，所述第二中間圖像具有鄰近所述第二投影透鏡的進入表面的焦點，所述第二中間圖像的所述焦點和所述投影透鏡的所述進入表面在所述第二中間圖像的所述焦點和所述投影透鏡的所述進入表面之間限定后焦距。

4.如權利要求1的光學系統，其中所述中繼部件被配置來補償像差。

5.如權利要求1的光學系統，其中所述投影透鏡被配置來補償像差。

6.如權利要求1的光學系統，其中所述中繼部件和所述投影透鏡被配置來合作以補償總體像差。

7.如權利要求1的光學系統，其中所述成像源包括空間光調制器。

8.如權利要求1的光學系統，其中所述成像源包括反射微鏡裝置。

9.如權利要求1的光學系統，其中所述成像源通過激光光源、燈源或者包括發光二極管的源來照明。

10.如權利要求1的光學系統，其中所述投影透鏡包括變焦透鏡或者固定焦距透鏡。

11.如權利要求1的光學系統，其中所述成像源是第一成像源，所述中繼部件是第一中繼部件，并且所述投影透鏡是第一投影透鏡，并且其中所述第一成像源、所述第一中繼部件以及所述第一投影透鏡被包括在第一投影子系統中，并且所述光學系統還包括第二投影子系統，所述第二投影子系統包括：

可操作來輸出光的第二成像源；

可操作來從所述第二成像源接收所述光的第二中繼部件；以及

第二投影透鏡；

其中所述第二中繼部件被配置來形成第二中間圖像，所述第二中間圖像具有鄰近所述第二投影透鏡的進入表面的焦點，所述第二中間圖像的所述焦點和所述第二投影透鏡的所述進入表面在所述第二中間圖像的所述焦點和所述第二投影透鏡的所述進入表面之間限定后焦距；并且

其中所述第二投影透鏡可操作來投影所述第二中間圖像。

12.一種光學系統，所述光學系統包括：

可操作來輸出光的成像源；

可操作來從所述成像源接收所述光的中繼部件；

偏振分束器組件；以及

分別被設置為鄰近所述偏振分束器組件的第一和第二出射端口的第一和第二投影透鏡；

其中所述中繼部件被配置來形成第一中間圖像，所述第一中間圖像具有介于所述偏振分束器組件的所述第一出射端口和所述第一投影透鏡之間的焦點，所述第一中間圖像的所述焦點和所述第一投影透鏡的進入表面在所述第一中間圖像的所述焦點和所述第一投影透鏡的所述進入表面之間限定第一后焦距；

其中所述中繼部件被配置來形成第二中間圖像，所述第二中間圖像具有介于所述偏振分束器組件的所述第二出射端口和所述第二投影透鏡之間的焦點，所述第一中間圖像的所述焦點和所述第二投影透鏡的進入表面在所述第一中間圖像的所述焦點和所述第二投影透鏡的所述進入表面之間限定第二后焦距；

其中所述第一和第二投影透鏡可操作來分別投影所述第一和第二中間圖像。

13.如權利要求12的光學系統，其中所述偏振分束器組件包括：

偏振分束器；

奇數個反射器，所述奇數個反射器在第一輸出光路中在光學上處于所述偏振分束器之后；以及

偶數個反射器，所述偶數個反射器在第二輸出光路中在光學上處于所述偏振分束器之后。