[發明專利]用于檢查工件的方法和設備

有效

• 申請號: 201280044062.1
• 申請日: 2012-08-09
• 公開（公告）號: CN103827623A
• 公開（公告）日: 2014-05-28
• 發明（設計）人: 凱文·巴里·喬納斯;利奧·克里斯托弗·薩默維爾
• 申請（專利權）人: 瑞尼斯豪公司
• 主分類號: G01B5/00
• 分類號: G01B5/00;G01B21/04
• 代理公司: 北京金思港知識產權代理有限公司 11349
• 代理人: 邵毓琴

1.一種在測量設備上進行的測量方法，所述測量方法包括：

以參考工件形式提供標準制品，所述參考工件是待測量的一系列名義相同的工件中的一個工件，所述標準制品具有從所述測量設備的外部來源獲知的度量，

在兩個或者更多個溫度于所述設備上測量所述標準制品，并產生所述標準制品在相應溫度時的兩組或者更多組對應的測量度量值，

測量在所述標準制品被測量時的所述溫度，

生成將所述標準制品的所述測量度量值與所述標準制品的已知度量相關聯的一個或者多個誤差圖或者查找表或者函數，所述或者每個誤差圖、查找表或函數依賴于所述標準制品被測量時的所述相應溫度。

2.根據權利要求1所述的測量方法，其中，一個誤差圖或者查找表或者函數在多個所述相應溫度將所述標準制品的所述測量度量值與所述標準制品的所述已知度量相關聯。

3.根據權利要求1所述的測量方法，其中，相應的誤差圖或者查找表或者函數在相應的所述溫度將所述標準制品的所述測量度量值與所述標準制品的所述已知度量相關聯。

4.根據前述權利要求中任一項所述的測量方法，所述測量方法進一步包括：

在所述設備上測量生產工件以獲得測量工件度量值，并測量獲得所述工件度量值時的溫度，以及

采用源自于所述誤差圖、查找表或函數的校正值來校正所述工件度量值，

其中，所述校正值根據獲得所述工件度量值時的溫度來確定。

5.一種在測量設備上進行的測量方法，所述方法包括：

以參考工件形式提供標準制品，所述參考工件具有從所述測量設備的外部來源獲知的度量，

在第一溫度于所述設備上測量所述參考工件，并產生所述參考工件在所述第一溫度時得到的第一組測量度量值，

生成將所述參考工件在所述第一溫度時的所述測量度量值與所述參考工件的已知度量相關聯的至少一個誤差圖或者查找表或者函數，

在所述設備上測量生產工件以獲得測量工件度量值，并測量獲得所述工件度量值時的溫度，以及

采用源自于所述誤差圖、查找表或函數的校正值來校正所述工件度量值，

其中，所述校正值根據獲得所述工件度量值時的溫度來確定。

6.根據權利要求4或權利要求5所述的方法，所述方法包括檢查測量或者準備測量生產工件時的溫度是否在預定的公差內對應于所述誤差圖或者查找表或者函數的溫度，并且如果對應，則采用源自于對應的誤差圖或者查找表或者函數的校正值校正所述工件度量值。

7.根據權利要求4、權利要求5或權利要求6所述的方法，所述方法包括檢查測量或者準備測量生產工件時的溫度是否在預定的公差內對應于所述誤差圖或者查找表或者函數的溫度，并且如果不對應，則重新測量所述標準制品并產生所述標準制品在相應溫度時的另一組測量度量值。

8.根據權利要求4至7中任一項所述的方法，其中，所述生產工件是一系列名義相同的工件中的一件工件。

9.根據前述權利要求中任一項所述的方法，其中，所述測量設備被確認為不是絕對式測量系統。

10.根據前述權利要求中任一項所述的方法，其中，所述測量設備被確認為是絕對式測量系統。

11.根據前述權利要求中任一項所述的方法，其中，已知的標準制品度量是通過校準所述標準制品來獲得的。

12.根據權利要求11所述的方法，其中，所述標準制品在獨立的測量系統上校準，所述獨立的測量系統被確認為是絕對式測量系統。

13.根據權利要求1至10中任一項所述的方法，其中，形成所述標準制品的所述工件的所述已知度量從該工件的設計數據獲得。

14.根據前述權利要求4至8中任一項所述的測量方法，其中，所述校正值根據獲得所述工件度量值時的溫度從所述一個或者多個誤差圖、查找表或函數通過外推法或者內插法得到。

15.根據權利要求14所述的方法，其中，所述校正值采用源自于兩個或者更多個誤差圖或者查找表的函數通過內插法得到。

16.根據前述權利要求中任一項所述的方法，其中，所述測量度量值是所述制品或者工件的表面上的各個點的坐標測量結果。