[發明專利]用于經由化學氣相沉積處理的材料生產的筒形反應器

無效

• 申請號: 201280042405.0
• 申請日: 2012-07-01
• 公開（公告）號: CN103998648A
• 公開（公告）日: 2014-08-20
• 發明（設計）人: 卡甘·塞蘭
• 申請（專利權）人: 太陽能技術綠色團體有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;C23C16/00
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 蘇娟;尹景娟

1.一種用于經由化學氣相沉積處理生產材料的方法，包括：

a.提供能夠與周圍自由空間密封的容器；

b.提供能夠被加熱并能夠設置在所述容器內部的沉積表面；

c.提供沉積氣體混合物進入所述容器的流動，同時避免沉積氣體混合物在所述容器周圍的自由空間內的流動；

d.提供排出氣體流出所述容器的流動，同時避免排出氣體在所述容器周圍的自由空間內的流動；

e.將所述沉積表面設置在所述容器內、與所述周圍自由空間密封所述容器、加熱所述沉積表面、使沉積氣體混合物流入所述容器、并使排出氣體流出所述容器，使得材料硬皮沉積到所述沉積表面上并且充分填充所述容器的空隙容積；

f.停止并洗滌進入所述容器的沉積氣體混合物流，并以如下任意方式持續生產周期：

i.在所述沉積表面由與所述沉積材料相同的材料構成的情況下，簡單地開啟所述容器，并回收由用于進一步處理的所述材料硬皮充分填充的所述容器；

ii.在所述沉積表面與待生產的材料相比由具有更高熔融溫度的材料或材料組合構成、并且固體產品為所需的情況下：

1.將所述沉積表面進一步加熱至所述材料的所述熔融溫度或在所述熔融溫度之上，使得所述沉積表面界面處的薄層材料液化，并且材料硬皮脫落；

2.開啟所述容器并使所述受熱的沉積表面與所述容器中脫落的材料硬皮分離；

3.回收由用于進一步處理的材料硬皮充分填充的所述容器；

iii.在所述沉積表面與待生產的材料相比由具有更高熔融溫度的材料或材料組合構成、并且熔融產品為所需的情況下：

1.將所述沉積表面進一步加熱至所述材料的所述熔融溫度或在所述熔融溫度之上，并保持所述沉積表面與所述材料接觸直至所述材料熔融；

2.開啟所述容器并使所述受熱的沉積表面與所述容器中的熔融材料分離；

3.回收由用于進一步處理的熔融材料充分填充的所述容器；

iv.在所述沉積表面與待生產的材料相比由具有更高熔融溫度的材料或材料組合構成、并且結晶產品為所需的情況下：

1.將所述沉積表面進一步加熱至所述材料的所述熔融溫度或在所述熔融溫度之上，并保持所述沉積表面與所述材料接觸直至所述材料熔融；

2.開啟所述容器并使所述受熱的沉積表面以可控的速率與熔融材料分離，從而發生材料的特定冷卻和結晶；

3.回收由用于進一步處理的結晶材料充分填充的所述容器。

2.一種用于經由化學氣相沉積處理生產材料的方法和反應器，包括：

a.提供能夠與周圍自由空間密封的反應器；

b.提供能夠設置在所述反應器內部并能夠與所述反應器內部的其余自由空間密封的容器；

c.提供能夠被加熱并能夠設置在所述容器內部的沉積表面；

d.提供沉積氣體混合物從所述反應器外部進入所述反應器內的所述容器內部的流動，同時避免沉積氣體混合物在所述反應器內部的其余自由空間中的流動；

e.提供排出氣體從所述反應器內的所述容器內部到所述反應器外部的流動，同時避免排出氣體在所述反應器內部的其余自由空間中的流動；

f.將所述容器設置在所述反應器內部并將所述反應器與周圍自由空間密封；

g.將所述沉積表面設置在所述容器內部，并將所述容器從所述反應器內部的其余自由空間密封；

h.加熱所述沉積表面、使沉積氣體混合物流入所述容器，并使排出氣體流出所述容器，使得材料硬皮沉積在所述沉積表面上并充分填充所述容器的空隙容積；

i.停止并洗滌進入所述容器的沉積氣體混合物流，并以如下任意方式持續生產周期：

i.在所述沉積表面由與所述沉積材料相同的材料構成的情況下，簡單地開啟所述容器，開啟所述反應器，并回收由用于進一步處理的材料硬皮充分填充的所述容器；

ii.在所述沉積表面與待生產的材料相比由具有更高熔融溫度的材料或材料組合構成、并且固體產品為所需的情況下：

1.將所述沉積表面進一步加熱至所述材料的所述熔融溫度或在所述熔融溫度之上，使得所述沉積表面界面處的薄層材料液化，并且材料硬皮脫落；

2.開啟所述容器并使所述受熱的沉積表面與所述容器中脫落的材料硬皮分離；

3.開啟所述反應器并回收由用于進一步處理的材料硬皮充分填充的所述容器；

iii.在所述沉積表面與待生產的材料相比由具有更高熔融溫度的材料或材料組合構成、并且熔融產品為所需的情況下：

1.將所述沉積表面進一步加熱至所述材料的所述熔融溫度或在所述熔融溫度之上，并保持所述沉積表面與所述材料接觸直至所述材料熔融；

2.開啟所述容器并使所述受熱的沉積表面與所述容器中的熔融材料分離；

3.開啟所述反應器并回收由用于進一步處理的熔融材料充分填充的所述容器；

iv.在所述沉積表面與待生產的材料相比由具有更高熔融溫度的材料或材料組合構成、并且結晶產品為所需的情況下：

1.將所述沉積表面進一步加熱至所述材料的所述熔融溫度或在所述熔融溫度之上，使得所述沉積表面界面處的薄層材料液化并且材料硬皮脫落；

2.以如下任意方式熔融所述材料：

a.通過保持受熱的沉積板與所述材料接觸直至材料熔融，從而使用所述沉積表面進行熔融；

b.使用在所述容器外部但在所述反應器內部的加熱器進行熔融，其包括：

i.開啟所述容器，并將受熱的沉積表面與所述容器內脫落的材料硬皮分離；

ii.使用所述加熱器對所述容器內的材料進行熔融，所述加熱器位于所述容器外部但位于所述反應器內部；

3.以如下任意方式使所述熔融材料結晶：

a.開啟所述容器并以可控速率使受熱的沉積表面與所述熔融材料分離，從而發生材料的特定冷卻和結晶；

b.以可控速率提供來自所述加熱器的加熱，該加熱器位于所述容器外部但位于所述反應器內部，從而發生材料的特定冷卻和結晶；

c.提供冷卻器，該冷卻器位于所述容器外部但位于所述反應器內部，并以可控速率提供來自所述冷卻器的冷卻，從而發生材料的特定冷卻和結晶；

d.提供旋轉拉桿，該旋轉拉桿以可控速率浸入熔融材料并從熔融材料拉出，從而發生材料的結晶；

4.開啟所述反應器并回收由用于進一步處理的結晶材料充分填充的所述容器。