[發(fā)明專利]阻氣膜及器件無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201280037331.1 | 申請日： | 2012-07-25 |
| 公開（公告）號： | CN103732394A | 公開（公告）日： | 2014-04-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 中村修司;北口透 | 申請（專利權(quán)）人： | 株式會社大賽璐 |
| 主分類號： | B32B9/00 | 分類號： | B32B9/00;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105 | 代理人： | 張永新 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 阻氣膜 器件 | ||
1.膜，其在基體材料膜的至少一面上層疊由包含乙烯基化合物的聚合性組合物的固化物形成的錨固層，并在該錨固層上層疊有由氧化鋁構(gòu)成的蒸鍍層，其中，
在所述蒸鍍層的厚度方向的至少一部分區(qū)域中，氧化鋁(AlxOy)的組成比(y/x)的峰位于2.1～3.0。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的膜，其中，在由氧化鋁構(gòu)成的蒸鍍層的厚度方向的至少一部分區(qū)域中，氧化鋁的密度為3.4g/cm3以上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的膜，其中，在由氧化鋁構(gòu)成的蒸鍍層的厚度方向的至少一部分區(qū)域中，氧化鋁的密度為3.45～3.7g/cm3。
4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項所述的膜，其中，在由氧化鋁構(gòu)成的蒸鍍層的厚度方向的至少一部分區(qū)域中，氧化鋁的密度為3.5～3.6g/cm3。
5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項所述的膜，其中，在由氧化鋁構(gòu)成的蒸鍍層的厚度方向的至少一部分區(qū)域中，氧化鋁(AlxOy)的平均組成比(y/x)的峰位于2.2～2.8。
6.根據(jù)權(quán)利要求1～5中任一項所述的膜，其中，由氧化鋁構(gòu)成的蒸鍍層的厚度方向的至少一部分區(qū)域位于與錨固層的界面附近。
7.根據(jù)權(quán)利要求1～6中任一項所述的膜，其中，水蒸氣透過率為1×10-3g/m2/天以下。
8.根據(jù)權(quán)利要求1～7中任一項所述的膜，其中，由氧化鋁構(gòu)成的蒸鍍層的厚度為5～100nm。
9.根據(jù)權(quán)利要求1～8中任一項所述的膜，其中，錨固層的輪廓算術(shù)平均偏差為0.1～2.0nm。
10.根據(jù)權(quán)利要求1～9中任一項所述的膜，其中，在錨固層中存在硅原子。
11.根據(jù)權(quán)利要求1～10中任一項所述的膜，其中，基體材料膜為包含選自環(huán)狀聚烯烴、聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯及聚酰亞胺中的至少一種的膜。
12.根據(jù)權(quán)利要求1～11中任一項所述的膜，其中，對由氧化鋁構(gòu)成的蒸鍍層的未形成錨固層的面進行電暈處理或等離子體處理。
13.根據(jù)權(quán)利要求1～12中任一項所述的膜，其中，在由氧化鋁構(gòu)成的蒸鍍層上層疊由氧化硅構(gòu)成的蒸鍍層。
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