[發明專利]用于特征化對象并監視制造過程的方法與設備

無效

• 申請號: 201280037171.0
• 申請日: 2012-07-25
• 公開（公告）號: CN103733020A
• 公開（公告）日: 2014-04-16
• 發明（設計）人: 強納森·D·哈德曼;席亞朗·約翰·派崔克·歐康納;杰·威爾金斯
• 申請（專利權）人: 伊雷克托科學工業股份有限公司
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00;G01N21/00
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;黃燦

1.一種方法，其包括：

判定在對象內的量測點處依據該對象內深度的該對象的組成；以及

基于該判定，定量估計該對象與該量測點相鄰的區域內該對象的至少一個特性。

2.如權利要求1所述的方法，其進一步包括判定該對象內復數個離散量測點處依據該對象內深度的該對象的該組成。

3.如權利要求2所述的方法，其進一步包括基于該判定，定量估計該對象與該復數個量測點相鄰的區域內該對象的至少一個特性。

4.如權利要求1所述的方法，其中該對象包括基板。

5.如權利要求4所述的方法，其中該對象包括安置于該基板上的至少一層。

6.如權利要求5所述的方法，其中該至少一層為磊晶層。

7.如權利要求1所述的方法，其中判定該量測點處依據該對象內深度的該對象的該組成包括：

獲得該對象的樣本；以及

分析該樣本的該組成。

8.如權利要求7所述的方法，其中判定該量測點處依據該對象內深度的該對象的該組成進一步包括：

自該對象內的不同深度獲得復數個離散樣本；以及

分析該復數個離散樣本中的至少兩者的該組成。

9.如權利要求7所述的方法，其中獲得該對象的該樣本包括將雷射能量脈沖導向該對象上。

10.如權利要求7所述的方法，其中移除該對象的該部分包括在曝露于介于0.1atm至5atm之間的壓力時移除該對象的該部分。

11.如權利要求7所述的方法，其中分析該對象的該移除部分的該組成包括藉由質譜法（MS）分析該組成。

12.如權利要求7所述的方法，其進一步包括判定該對象內借以獲得該樣本的至少一部分處的深度。

13.如權利要求1所述的方法，其中定量估計該至少一個特性包括定量估計選自由以下各者組成的群組的至少一個特性：該對象的組成、該對象的電學特性、該對象的光學特性、該對象的熱特性、該對象的機械特性及該對象的磁特性。

14.一種監測制造制程的方法，該制造制程由包括至少一個制程設備的制造系統實施，該方法包括：

判定在對象內的量測點處依據該對象內深度的該對象的組成；

基于該判定，定量估計該對象與該量測點相鄰的區域內該對象的至少一個特性；

基于該定量估計來生成區域特性數據；以及

將估計出的該特性數據提供至控制器，該控制器耦接至經配置以制造該對象或修改該對象的該制造系統的制程設備。

15.如權利要求14所述的方法，其中該對象具有至少50mm的最大尺寸。

16.如權利要求14所述的方法，其中該對象具有至少150mm的最大尺寸。

17.如權利要求14所述的方法，其中該判定系于該制造系統的制程設備外部執行。

18.如權利要求17所述的方法，其進一步包括在判定該對象的該組成之前，自該制造系統的第一制程設備接收該對象，其中該第一制程設備經配置以制造該對象。

19.如權利要求18所述的方法，其進一步包括在判定該對象的該組成之后，將該對象傳送至該制造系統的第二制程設備，其中該第二制程設備經配置以修改該對象。

20.如權利要求14所述的方法，其中提供估計出的該特性數據報括將估計出的該特性數據提供至耦接到經配置以制造該對象的該制造系統的制程設備的控制器，其中該制程設備為有機金屬化學氣相沈積設備。

21.一種方法，其包括：

提供計量工具，該計量工具包括：

量測區域，對象至少部分地安置于內；

控制器，其經配置以指定該量測區域內的一區作為量測點；以及

量測系統，其耦接至該控制器，其中該量測系統經配置以執行占據該量測點的材料的組成分析；

將對象的至少一部分安置于該量測區域內，其中該對象包括特征；

將該特征與該量測區域內該量測點的位置相對于彼此對準；以及

執行占據該量測點的已安置的該對象的該部分的組成分析。