[發(fā)明專利]包括利用原子層沉積而沉積有材料以用于增加剛度和強(qiáng)度的纖維的紡織物無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201280036124.4 | 申請日： | 2012-06-29 |
| 公開（公告）號： | CN103890228A | 公開（公告）日： | 2014-06-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 李相忍 | 申請（專利權(quán)）人： | 威科ALD有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/00 | 分類號： | C23C16/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律師事務(wù)所 11256 | 代理人： | 王茂華 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 包括 利用 原子 沉積 材料 用于 增加 剛度 強(qiáng)度 纖維 紡織 | ||
1.一種在纖維或含纖維材料上沉積材料的方法，包括：
將源前體注入到所述纖維或所述含纖維材料的表面上；
利用原子層沉積（ALD）將反應(yīng)物前體注入到所述纖維或所述含纖維材料的所述表面上，以沉積經(jīng)受張應(yīng)力的第一材料的層；以及
將所述層的至少外部部分轉(zhuǎn)換為與所述第一材料相比具有更大體積的第二材料，以在所述層中引起壓應(yīng)力。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述第一材料包括多晶材料，并且所述轉(zhuǎn)換包括氧化、硝化或碳化所述多晶材料的表面和晶界的至少部分。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中所述多晶材料包括半導(dǎo)體、金屬化合物或金屬中的至少一種。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中所述多晶材料包括TiN。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，還包括在所述第二材料的所述表面上沉積非晶態(tài)材料的層。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中所述非晶態(tài)材料包括Al2O3或SiO2中的至少一種。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述反應(yīng)物前體包括通過使氣體暴露于等離子體而生成的自由基。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述第一材料包括非晶態(tài)材料，并且所述轉(zhuǎn)換包括氧化、硝化或碳化所述第一材料的至少部分。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中所述非晶態(tài)材料包括Al2O3和SiN中的至少一種。
10.一種紡織物，包括：
多個(gè)纖維；
利用原子層沉積（ALD）在所述多個(gè)纖維中的每個(gè)纖維的表面上沉積的第一材料的層，所述層經(jīng)受張應(yīng)力；以及
在所述第一材料的至少表面上的第二材料，所述第二材料通過從所述第一材料轉(zhuǎn)換而形成，并且與所述第一材料相比具有更大的體積，以在所述層中引入壓應(yīng)力。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的紡織物，其中所述第一材料包括多晶材料，并且所述轉(zhuǎn)換包括氧化、硝化或碳化所述多晶材料的表面和晶界的至少部分。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的紡織物，其中所述多晶材料層包括半導(dǎo)體、金屬化合物或金屬中的至少一種。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的紡織物，其中所述多晶材料層包括TiN。
14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的紡織物，其中所述第二材料包括TiON或TiCN。
15.根據(jù)權(quán)利要求11所述的紡織物，還包括利用ALD在所述多晶材料與所述多個(gè)纖維之間、或者在所述第二材料的所述表面上沉積的非晶態(tài)材料的層。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的紡織物，其中所述非晶態(tài)材料包括Al2O3或SiO2中的至少一種。
17.根據(jù)權(quán)利要求10所述的紡織物，其中所述多個(gè)纖維包括碳纖維。
18.根據(jù)權(quán)利要求10所述的紡織物，其中所述第一材料通過在所述多個(gè)纖維中的每個(gè)纖維上注入源前體、并且然后在所述多個(gè)纖維中的每個(gè)纖維上沉積反應(yīng)物前體來沉積。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的紡織物，其中所述反應(yīng)物前體包括通過使氣體暴露于等離子體而生成的自由基。
20.根據(jù)權(quán)利要求10所述的紡織物，還包括利用ALD在所述多個(gè)纖維中的每個(gè)纖維上沉積的發(fā)射率降低層，所述發(fā)射率降低層具有比經(jīng)處理的所述層更低的發(fā)射率。
21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的紡織物，其中所述發(fā)射率降低層包括鋁。
22.根據(jù)權(quán)利要求10所述的紡織物，其中所述第二材料包括非晶態(tài)材料。
23.根據(jù)權(quán)利要去22所述的紡織物，其中所述非晶態(tài)材料包括Al2O3和SiN中的至少一種。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應(yīng)產(chǎn)物不留存于鍍層中的化學(xué)鍍覆，例如化學(xué)氣相沉積
C23C16-01 .在臨時(shí)基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機(jī)材料為特征的
